• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:

    公开号:WO1991006115A1
    申请号:PCT/JP1990/001338
    申请日:1990-10-17
    公开日:1991-05-02
    发明作者:Motoki Iijima；Akira Kani；Sumihito Sagou；Tatsumasa Yokoi；Magonori Kamiya；Hideyuki Asai；Shinji Senda；Naoya Kikuchi
    申请人:Noritake Co., Limited；
    IPC主号:H01J17-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書
    [0002] プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ルお よ びそ の製造方法
    [0003] [技術分野 ]
    [0004] 本発明 は、 有孔金属板を隔壁ゃ スぺー サ と し て用 い た プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ルおよ びそ の製造方法に関す る
    [0005] [背景技術 ]
    [0006] 最近の プ ラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ノレ （以下、 P D P と い う ） に お い て は、 ノ、 °ネ ノレを フ ラ ッ ト 型にす る た め、 2 枚の基板を適当な 間隔を設けて重ね、 周 囲を封止ガラ ス で シ ー ル し た外囲器を構成 し 、 ガス を封入す る タ イ プが 主流であ る 。 2枚の基板の う ち前面はガラ ス板が必要で あ り 、 も う 一つ の背面板 も 安価な こ と か ら 、 同種の ガ ラ ス板が使用 さ れる 。 従 っ て、 以下、 こ の よ う な タ イ プの P D P に つ い て説明す る 。
    [0007] P D P の製造に おい ては、 ガス封入に先立 ち、 排気を 行な う が、 こ の時、 外囲器内外の圧力差は最大 に達す る 。 こ の圧力差に よ り 、 2枚の ガラ ス基体は変形す る 。 外囲 気内の吸着ガ ス を放出 さ せ る た め加熱す る の で こ の変形 は よ り 大 き く な る 。 こ の変形を無視で き る 程度 に抑え る に は ガラ ス板の厚みを大 き く す る か、 パネ ノレを小 さ く す る 必要力《あ る 。 2枚の ガラ ス板の 間 に ス ぺー サ を設 けれ — ば こ の よ う な制約 はな く な る ので、 大型の表示パネ ルに は ス ぺ 一 サ は不可欠の も の であ る 。
    [0008] ま た、 一般に、 複数の放電セ ルを配置 し た P D P にお い て は、 A C 型ま た は D C 型 と い っ た放電形式に拘 ら ず、 適切な放電ギ ャ ッ プを確保す る た め、 ま た は隣接セ ルへ の ク ロ ス ト ー ク を防止す る ため、 隔壁ま た はス ぺー サを 必要 と す る 。
    [0009] と こ ろ で、 P D P の放電セ ルの配置 は、 そ の使用 目 的 に よ り 決定 さ れ、 例え ば 7セ グメ ン ト の 8の字表示、 5 X 7 ド ッ ト の キ ャ ラ ク タ表示、 640 X 48 0 ド ッ ト の フ ル ド ッ 卜 表示等があ る 。
    [0010] 第 1 〜 5 図 に、 こ れ ら の P D P の放電セル配置例を示 す。 な お、 第 1 〜 5 図において、 1 は前面ガラ ス板、 3 は隔壁、 5 は背面ガ ラ ス板、 6 は陽極、 7 は陰極をそれ ぞれ示す。 こ れ ら の図 に示 さ れる よ う に、 様々 な形状、 配列のセ ル穴を有す る 隔壁ゃスぺーサ （以下、 場合に よ り 隔壁 と 総称す る ） が用 い られる 。 いずれの セ ル配置に 対 し て も 同一の方法で隔壁を作 る こ と がで き 、 現在ま で に様々 な方法が試み られてお り 、 例え ば以下に示すよ う な も の 力《 あ る 。
    [0011] A 法 ： 厚膜法 （ ス ク リ ー ン 印刷の多層印刷）
    [0012] B 法 ： 感光性板ガ ラ ス の エ ッ チ ン グ加工
    [0013] C 法 ： 扳ガ ラ ス の機械加工
    [0014] こ の う ち 、 A法 は安価で量産性に優れた方法であ る が、 — 多数回印刷を重ね な ければ、 充分な放電ギ ャ ッ プが得 ら れな い と い う 欠点力《あ る 。 ま た 、 特に フ ノレ ド ッ 卜 表示 P D P で は、 ド ッ ト ピ ッ チ の高精細度化 （例え ば ド ッ ト ビ ツ チ 0.2顧） は重要課題であ る が、 ス ク リ ー ン 印刷で は 対応が難 し い。 第 2 図 に示 し た よ う な ス ト ラ イ プ形状で は実現 さ れた例があ る 力《 ( Y . Araano ： SI D 1 nt Syinp . Di g. Tech. Paper . p.160 (1982 ) ) 、 第 1 ， 4 図 に示 し た よ う な 、 放電セ ルを周 囲か ら完全に取 り 囲む よ う な 隔壁に は 特に対応が難 し く 、 非常に高度な技術を要 し実用 的でな い o
    [0015] 上記 し た よ う に、 放電セ ルを周囲か ら完全 に取 り 囲む 隔壁 （以下、 完全閉鎖隔壁 と い う ） と 、 ス ト ラ イ プ形状 の よ う に、 一方向で も 隣接セル と の間 に隔壁が存在 し な い部分があ る 場合 （以下、 不完全閉鎖隔壁 と い う ） と で は、 以下の よ う な意味で、 大 き な違いがあ る 。
    [0016] 例え ば、 ネ オ ン ガス の放電に よ る オ レ ン ジ発光色の P D P の よ う に、 希ガス 自 身の発光色を利用す る 場合 は、 そ の発光は選択セ ルの電極近傍のみ に制限 さ れ る た め、 不完全閉鎖隔壁で も実用化 さ れて い る 。 し か し 、 発光セ ル間隔が小 さ く なれば隣接セ ルが誤放電をお こ し 易 く な る 。 ま た 、 マ ルチ カ ラ ー ま た は フ ルカ ラ ー P D P を考え る 場合に は、 放電に伴な う 紫外線に よ っ て蛍光体を励起 発光 さ せ る 方法を取 る た め、 不完全閉鎖隔壁で は紫外線 が漏れ る こ と に よ り 、 隣接セ ルの蛍光体を励起発光 さ せ て し ま う こ と 力 あ る 。 すな わ ち 、 ク ロ ス ト ー ク ま た は色 滲みが避け ら れず、 色再現性お よ び解像性が阻害 さ れ、 デ ィ ス プ レ イ と し ての価値が下力 る 結果と な る 。 そ の点， A 法は高精細な完全閉鎖隔壁を作 る の に不向 き で、 カ ラ - P D P に対応 さ せ る に は実用 的でな い。
    [0017] B 法は高精細度化への対応は比較的容易 と考え ら れ る が、 極めて特殊な感光性ガラ ス を材料 と す る た め高価で あ り 、 経済性に劣 る 。 ま た、 厚 さ 力《 0 . 1〜 0 . 5腿 と い う 薄い ガラ ス板を組立て る こ と は、 ガラ スが脆 く て実用 的 に困難であ る 。
    [0018] C 法につ い ては、 一般ガラ スが使用で き る も の の、 高 精細セ ル ピ ッ チ の機械加工をす る の は困難であ り 、 組立 も 同様に困難であ る。
    [0019] 従 っ て、 従来に お い ては、 P D P の高精細度化に対応 で き 、 かつ適切な放電空間を確保で き 、 さ ら に は比較的 安価で量産性に も 優れ る 隔壁ゃ ス ぺー サ は未だ見い 出 さ れてい な い。
    [0020] 本発明 は、 かか る 従来技術の課題に鑑みな さ れた も の で、 高精細度化に対応で き 、 し か も経済性、 量産性に優 れた P D P お よ びそ の製造方法を提供す る こ と を 目 的 と す る も のであ る 。
    [0021] [発明 の開示 ]
    [0022] 本発明 の上記 目 的 は、 有孔金属板を隔壁ま た は ス ぺ 一 サ と し て用 い 、 かつ該有孔金属扳 と 電極間 に絶縁層を設 け る こ と に よ っ て達成 さ れ る 。
    [0023] すな わ ち 本発明 の P D P は、 厚 さ 0.01〜 1.0顧 の有孔 金厲扳を隔壁ゃ ス ぺー サ と し て用 い、 さ ら に前面板お よ びノ ま た は背面板上の放電電極 と 該有孔金属板 と を電気 的 に絶縁 さ せ る 絶縁層を有す る こ と を特徴 と す る 。
    [0024] [図面の簡単な説明 ]
    [0025] 第 1 図 は、 X — Y マ ト リ ッ ク ス配列に お け る 格子形状 隔壁を使用 し た P D P の一例。
    [0026] 第 2 図 は、 X — Y マ ト リ ッ ク ス配列 に お け る ス ト ラ イ プ形状隔壁を使用 し た P D P の一例。
    [0027] 第 3 図 は、 X — Y マ ト リ ッ ク ス配列に お け る 円形隔壁 を使用 し た P D P の一例。
    [0028] 第 4 図 は、 デルタ 配列の隔壁を使用 し た P D P の一例。 第 5 図 は、 7セ グ メ ン ト 形式の隔壁を使用 し た P D P の一例。
    [0029] 第 6 図は、 本発明 の一例であ る D C 型 P D P の構成部 品 と そ の組立途中図。
    [0030] 第 7 図 は、 本発明 の他の例であ る D C 型 P D P の構成 部品 と そ の組立途中図、
    [0031] 第 8 図 は、 P D P 組立後の平面図、
    [0032] 第 9 図 は、 第 8 図の A — A ' 断面がセ ル空間 を切 る 場 合の垂直断面図。 第 10図 は、 第 8 図の A — A ' 断面が隔壁を切 る場合の 垂直断面図。
    [0033] 第 11図 は、 本発明の さ ら に他の例であ る D C 型 P D P の構成部品 と組立図。
    [0034] 第 12図は、 第 11図の P D P の 1セ ルの構造断面図。 第 13図は、 本発明の さ ら に別の例であ る D C 型 P D P の構成部材 と 組立図。
    [0035] 第 14図 は、 第 13図の P D P の陽極方向 に添 っ たセ ル断 面図。
    [0036] [発明を実施す る た めの最良形態 ]
    [0037] こ の よ う な本発明の一例であ る D C 型 P D P の構成部 α と組立途中図を第 6 図 に示す
    [0038] 同図に おい て、 前面ガラ ス扳 1 に は陽極 6が、 ま た背 面ガラ ス板 5 に は陰極 7 がそれぞれ設け られてい る 。 ま た前面ガ ラ ス板 1 と背面ガラ ス板 5 の 間 に は有孔金属板 か ら な る 格子状隔壁 4 が配置 さ れ、 さ ら に 陽極 6 や陰極 7 と 格子状隔壁 4 を電気的に絶縁さ せ る ベ く 、 絶緣層 2 が前面ガ ラ ス板 1 や背面ガラ ス板 5 と格子状隔壁 4 の間 に位置 し てい る 。
    [0039] ま た、 本発明 の他の例であ る D C 型 P D P の構成部 口 と 組立途中図を第 7 図 に示す と 共に、 組立後の平面図を 第 8 図に 、 第 8 図の A - A ' 断面がセ ル空間を切 る 場合 の垂直断面図を第 9 図に、 第 8 図の A — A ' 断面が隔壁 を切 る 場合の垂直断面図を第 10図 に そ れぞれ示す。 第 7 ~ 10図の符番は、 第 6 図 と 同様であ る 。 但 し 、 有孔金属 か ら な る 格子状隔壁 4 に は誘電体層が被着 さ れ、 絶縁層 を形成 し て い る 。 ま た、 8 は ス ぺー サ、 9 は シ 一 ノレガラ ス を それぞれ示す。
    [0040] 本発明 に お い て、 隔壁ゃ スぺー サ と な る 有孔金属板の 金属材料組成 と し て は、 F e , C o , N i , C r 力、 ら選 ばれ る 少な く と も 1種の元素を含む合金で、 線熱膨張係 数が 40〜 100 X 10— 7 Z （ 25〜 500で） であ る も のが好 ま し い。 こ れ ら金属板の 肉厚は 0.01〜 1.0臁 、 好 ま し く は 0.05〜 0.1廳 の も のが使用で き る 。
    [0041] と こ ろ で、 隔壁や ス ぺ一 サは 2枚の ガラ ス板に挟ま れ て内部 に ガス を封入す る た め周囲を封止ガ ラ ス で シ ー ル さ れ る 。 従 っ て、 隔壁 （スぺ一 サ） 、 2枚の ガラ ス板、 封止ガラ ス の各 々 の線熱膨張係数は概略同一ま た は近似 し てい な ければな ら な い。 さ も な ければ シ ー ル以後の冷 却過程 に お い てガラ ス に応力が過大にか力、 り 破損に至 る 力、 ら であ る 。
    [0042] —般に 2枚の ガラ ス板が軟質ガラ ス の場合、 金属板の 線熱膨張係数 は、 こ れに合わせて、 80〜 100 X 10— 7Zで ( 25〜 500。C ) であ る こ と 力 望 ま し い。 こ れに適合す る 金属材料組成 と し て は、 42重量％ N 〗 一 6重量％ C r ― F e 合金、 50重量％ N i — F e 合金等が例示 さ れ る 。 ガ ラ ス板が硬質ガ ラ ス の場合、 金属板の線熱膨張係数は 、 こ れ に 合せ て 40〜 60 X 10 7Z °C ( 25〜 500 °C ) であ る こ と が望 ま し い。 こ れに適合す る 金属材料組成 と し て は、 20重量％ N i - 17重量％ C o - F e 合金が例示で き る 。 も ち ろ ん使用す る ガ ラ ス部材の線熱膨張係数が前記 と 異 な る も の を使用す る 場合は、 こ れに合わせて隔壁の材料 を選定すれば良い。
    [0043] 金属材料組成の選定に は、 上記線熱膨張係数の他に、 価格や加工性、 機械特性 も勘案 さ れる が、 前記封止工程 での耐熱性が必要であ る 。 通常封止工程は 400〜 5 ϋ 0で で行な われる が、 前記例示 し た合金は こ の温度に対 し て 充分使用で き る 。 封止工程は空気雰囲気で行な う のが簡 便であ る 。 こ の場合、 金属材料の耐酸化性が問題 と な る が、 前記例示の合金は充分使用で き る 。 耐酸化性に問題 があ る 金属材料において も 、 封止雰囲気を非酸化性にす る こ と に よ り 、 ま た よ く 知 ら れた金属表面処理に よ り 耐 酸化膜を形成す る こ と に よ り 使用で き る 。
    [0044] 上記金属板に所定の有孔パ タ ー ンを加工す る 方法と し て は、 プ レ ス に よ る 打ち抜 き 加工法、 レ ー ザー加工法、 メ ツ キ法、 溶接法、 エ ッ チ ン グ法、 等が使用でき る 。 加 ェ歪、 加工精度、 加工 コ ス ト 等を考慮 し て一番有利な加 工法を用 いれば良いが、 一般的 に はエ ツ チ ン グ法が好ま し く 用 い ら れ る 。 有孔金属板の抜 き 穴形状 ♦ 配列は任 意であ り 、 例え ば第 1 〜 5 図 に示 さ れる 格子形状、 ス ト ラ イ プ形状、 円形、 デル 夕 配列、 7セ グ メ ン ト 形式等力 例示 さ れ る が、 本発明では第 1 ， 4 図 に示 さ れ る 高精細 な完全閉鎮隔壁 と な る よ う な形状が好 ま し く 、 特 に第 1 図 に示 さ れ る 格子形状が好ま し い。
    [0045] と こ ろ で、 ド ッ ト ピ ッ チ力《 0.6咖以下の高精細パネ ル に おい て は、 隔壁に よ り 表示無効部が増大す る ので表示 セ ルの開 口率が問題であ る。 高精细パネ ルに お い て は通 常隔壁高 さ は 100〜 の も のが使用 さ れ る 。 こ れ は、 前述 し た よ う に現実的な隔壁作成法、 つ ま り 厚膜印 刷法が適用 し 得 る 範囲であ る 。 lOO ^ m よ り 低い と D C 型の場合陰極 スパ ッ 夕 の影響が大 き く な り 、 ま た一般に 放電特性を多数セ ル に わ た り 、 均一化す る の に不利 と な る 。 200 ra よ り 高い も の は印刷回数が増え コ ス ト 高 と な る 。 開 口率に影響す る 隔壁巾 は隔壁が高い程狭 く す る こ と が困難 と な る 。 隔壁の高さ 程度を考え た時、 厚膜印刷で形成で き る 最小の隔壁 巾 は ス ト ラ イ プ形状 に おい て 80 m 程度、 格子形状に おい て は 150 in 程度で あ る 。 本発明 の有孔金属板を使用 し た完全閉鎖隔壁 に お い て、 最小隔壁 巾 は、 厚み 50 /z m 程度で約 20 ra 、 ま た 厚み lOO ^ m 程度で約 30 ^ ai がそれぞれ前述の エ ツ チ ン グで達成 さ れ る 。 従 っ て、 高 さ が 100 in の完全閉鎖隔 壁で ϋ .6廳 ピ ッ チ の正方格子形状で比較 し た開 口率は、 厚膜印刷法で は約 56 %、 一枚の有孔金属板で は約 90 % と な り 、 約 1.6倍の開 口率を有す る 。 こ れは ド ッ ト ピ ッ チ が小 さ く な る 程 さ ら に大 き く な る 。 ま た 、 有孔金属板を - - 薄 く し て組合せればよ り 開 口率の大 き な も のが形成で き る o
    [0046] 本発明では、 こ の よ う に し て 目 的の形状に加工 さ れた 有孔金属扳を隔壁 と し て用 い る の であ る が、 こ の際、 前 面板お よ び Z ま た は背面板上に は、 放電電極が配置 さ れ てお り 、 A C 型 P D P の よ う に電極が誘電体で被覆 さ れ て い る 場合は良いが、 D C 型 P D P の よ う に 、 電極が放 電空間に露出 し てい る場合は、 前面板 と背面板 と の 間 に、 そ の ま ま 有孔金属板 （隔壁） を挟んで、 シー ルすれば各 々 の電極と 有孔金属板 （隔壁） が電気的 に短絡 さ れる こ と と な る。
    [0047] すな わ ち 、 P D P の陽極相互間、 陰極相互間お よ び陽 極 - 陰極間が電気的に短絡さ れて し ま い、 放電発光が起 き 得な い状態に な っ て し ま う 。 そ こ で、 本発明では有孔 金属板 （隔壁） と放電電極 と の間に絶縁層を設け る こ と に よ っ て以上の よ う な 問題を解決す る こ と がで き る 。
    [0048] こ の絶縁層 は、 前面板お よ び背面板の電極上に形成 し て も良い し、 有孔金属板 （隔壁） の電極 と接す る 表面上 に形成 し て も 良い し 、 ま た は、 そ の両方に形成 し て も良 い。 さ ら に は、 有孔金属板そ の も の に絶縁層を設けて も よ い。 '
    [0049] 絶縁層を被着す る方法は、 ス プ レ ー法、 印刷法、 静電 塗装法、 デ ィ ッ ビ ン グ法、 陽極酸化法、 熱酸化法、 ス パ ッ タ 法、 溶射法、 電着法等各種の技術が適用で き 、 コ ス 一 一 卜 お よ び性能等を勘案 し て選択すればよ い。 次の 2方法 力《好 ま し い。
    [0050] すな わ ち 、 第 1の方法 は電着法であ り 、 こ れ に よ り 有 孔金属板の ほぼ全表面を誘電体で被覆 し 、 絶縁層を形成 で き る 。 電着法は、 有孔金属板を 1つ の電極 と し て、 ガ ラ ス お よ びガラ ス を含む誘電体粉体を電解質を含む溶液 中 に分散 さ せ電界を印加す る こ と に よ り 達せ ら れ る 。 粉 体粒径は要求 さ れ る 絶縁層 に よ り 異な る が 0 .！〜 5 m が好適 に使用で き る 。 分散液 と し て はイ ソ プ ロ ピルア ル コ ー ノレ 、 電 解 質 と し て は 、 A J 2 ( N 0 3 ) 3 、 B a ( N O 3 ) 2 等が例示で き る が、 公知の多 く の も のか ら 選択で き る 。 粉体を電着後加熱 し てガ ラ ス を溶融 し 、 有 孔金属板の ほぼ全面に緻密な絶縁層が固着 さ れ る 。 絶縁 層の厚みが大 き い と放電セ ル空間を小 さ く す る ので好 ま し く な い。 通常絶縁層の厚み は l〜 1 0 ;/ ffl で好適 に使用 で き る 。 絶緣層が有孔金属板の ほぼ全表面に施 さ れ る と 放電電極 と の絶縁が取れ、 さ ら に次の利点を有す る 。 通 常隔壁が誘電体の みで構成 さ れれば、 放電に よ っ て導電 物質がス パ ッ タ さ れ、 誘電体上に被着 さ れて も そ の量 は 少な い の で、 電極間の短絡は問題 と な ら な い。 し 力、 し 、 本発明 の ご と く 有孔金属板を隔壁 と し て使用 し 、 かつ電 極 と 有孔金属板 と の絶縁距離が短い と 短絡の危険がそ れ だけ増す こ と に な る 。 上記電着法 に よ れば、 隔壁を誘電 体で形成す る 従来の構成 と 同様 に で き 短絡の危険がな い - こ と と な る 。
    [0051] ま た、 第 2の方法は圧力 あ る い は熱 と 圧力 を利用 し 、 絶緣層 を有孔金属板表面に転写す る 方法であ る 。 こ の方 法 自 体は公知の技術で各種の材料が使用で き る が、 次の よ う な も のが例示で き る 。 剥離性基体 と し て は シ リ コ ー ン膜が形成 さ れた ポ リ エ ス テルフ ィ ルム を用 い、 感圧ぁ る い は感熱圧ィ ン ク と し て はァ ク リ ル樹脂を ブチ ルカ ル ビ ト ー ノレァ セ テ一 ト 等の溶剤に溶力、 し た ビ ヒ ク ノレを、 ガ ラ ス お よ びガラ ス を含む誘電体粉体 と共に混練 し た も の が使用で き る 。 粉体粒径は Q . 1〜 5 // m が好適に使用で き る 。 こ の イ ン ク を剥離性基体上に例え ばス ク リ ー ン 印 刷 し て絶縁層を成膜 し て乾燥す る。 こ の膜上へ有孔金属 板を載置 し て、 両者を常温あ る い は加熱 し て圧力を加え、 絶縁層を有孔金属板の表面パ タ ー ン と し て接着 し 、 基体 を剥離すれば転写で き る 。 こ の転写は有孔金属板の片面 あ る い は両面に施す こ と がで き る 。 転写 さ れた状態で加 熱 し 、 ガラ ス を溶融 さ せ る こ と に よ り 、 絶縁層が有孔金 属板に 固着 さ れる 。 こ の 固着をパネ ルの ガラ ス基体上に 接 し て施せば、 ガラ ス基体への隔壁固着 も 同時に達成で き 便利であ る 。
    [0052] 上述 し た転写法の利点は、 高精細パネ ル、 特に隔壁巾 が小 さ い も の に大 き い。 第 1の方法の ご と く 隔壁の側面 に も絶縁層を設ければ、 例え そ の絶縁層が薄 く て も放電 セ ル面積を減ず る こ と に な る 。 有孔金属板の表面の み に 絶縁層を設け る 場合、 転写法以外の方法、 例え ばス ク リ ― ン 印刷等を用 いれば、 高精細パ タ ー ン の 印刷が難 し い こ と 、 寸法ズ レが発生 し易 い こ と 、 ま た 印刷力くで き て も イ ン ク の ダ レ に よ り 隔壁側面に イ ン ク が広力 { る こ と 等の 問題があ る 。 隔壁 巾 1 0 0 m 以下、 セ ノレ ピ ッ チ 2 0 0 ^ m 以下の高精細パネ ルを想定すれば、 そ の困難 さ が理解で さ る o
    [0053] さ ら に第 2の方法の ご と く 、 放電空間 に隔壁 と な る 金 属が露出 し て い る 場合、 放電電極上の 問題はが生 じ る 可 能性があ る 。 し 力、 し な 力《 ら 、 よ く 知 ら れて い る よ う に D C 型 P D P に お い て電圧降下が大 き い の は陰性の極 く 近 傍の みであ る 。 従 っ て放電電極近傍の みが絶縁 さ れてい れば、 途中 に導電部分が存在 し て も 、 放電パネ ルは充分 に動作す る こ と を、 本発明者等は実験的 に知見 し た。 実 験に よ れば電極 と 隔壁金属 と の絶縁距離 は数 m 、 安全 を見積 っ て も 1 0 m 程度あれば問題な い こ と が判明 し た 従 っ て、 かか る 距離を実現で き る 絶縁層厚み を適用す る こ と が有効であ る 。
    [0054] こ の よ う に し て、 有孔金厲板に形成 さ れた絶縁雇 （誘 電体層） の厚み は 1〜 1 0 0 m であ る 。
    [0055] —方、 完全閉鎖隔壁を構成す る 平行表面を有す る 有孔 金属板を 2枚の ガ ラ ス 板で挾ん だパネ ルを考え る と 、 放 電ガ ス の封入や そ れに先立つ排気に 問題が考え ら れ る 。 特 に 、 各放電セ ル の上下四周 がガ ラ ス の融着の ご と く 気 - - 密 にパネ ルガラ ス基体 に固着さ れ る 場合は問題であ る 。 こ の時は封入ガスが充満す る装置内で固着がな さ れ る 必 要があ り 、 装置上の工夫が要 る 。 し か し 、 各セ ルが排気 孔に連通す る 間隙を有すれば通常の装置が適用で き る 。 実験的 に本発明者等が知見す る と こ ろでは、 上記間隙、 つ ま り 有孔金属板 と パネ ルガラ ス間に おいて、 数 // m 、 安全を見積 っ て も Ι Ο /Κ ΐπ 程度の ガス拡散用 の溝を有すれ ばガス封入に支障がな い こ と が判明 し た。
    [0056] こ の様な 間隙は、 パネ ルガラ ス上に形成す る 電極膜や パネ ル上あ る い は有孔金属板上に形成す る絶縁層の膜形 成 に起因す る 凹凸や、 パ タ ー ン に起因す る 凹凸に よ っ て 必然的 に形成 さ れ る こ とが多い。 さ ら に確実に ガス拡散 用 の溝を形成す る に は次の方法か ら選択 し 、 ま た組合せ て も よ い。 第 1は電極膜厚を例えば厚膜技術を用 いて大 き く す る こ と であ る 。 第 2は電極 と有孔金属板の 間の絶 縁層 と し て ス ト ラ イ プ形状の誘電体を採用 し て所定の厚 みを も たせ る こ と であ る 。 第 3は有孔金属板表面に溝を 形成 し てお く こ と であ る 。 溝形成に は有孔パ タ ー ン の加 ェで説明 し た エ ッ チ ン グ法を用 い る のが好ま し く 、 こ れ に よ れば有孔パ タ ー ン加工 と 同時一括処理 も可能であ る 。
    [0057] 上記 し た第 2の方法の よ う に、 ス ト ラ イ プ形状の誘電 体を用 い た 、 D C 型 P D P の構成部品 と 組立図を第 1 1図 に、 そ の P D P の 1セ ルの構造断面図を第 1 2図 に それぞ れ示す。 第 1 1〜 1 2図の符番は、 第 6 図 と 同様であ る 。 但 - - し 、 有孔金属板か ら な る 格子状隔壁 4 に は第 7 図 と 同様 に誘電体層が被着 さ れ、 絶縁層を形成 し て い る 。 ま た 、 10は ス ト ラ イ プ形状の誘電体、 11は蛍光体を それぞれ示 す。 こ の よ う な、 絶縁層 に用 い ら れ る 誘電体材料は、 有機物、 結晶性無機物、 ガ ラ ス の 中か ら選択 さ れた少な く と も 1種以上の も のが使用で き る。 更に詳 し く は一般 的 に はガラ ス 、 ま た はガラ ス を含ん だ結晶性無機物が汎 用 さ れ c
    [0058] 具体 的 な ガ ラ ス 組成 を 例 に 挙 げ る と 、 P b 0 - B 2 03 一 S i 0 2 , P b 0 - B 2 03 , Ζ η Ο - Β 2 Ο 3 一 S i Ο 2 等が好適で あ る 。 こ れ ら ガ ラ ス の 軟化点 は
    [0059] 350〜 1000で、 ガ ラ ス の粒度は 1~ 5 πι 程度がそれぞ れ好ま し い。 こ こ に用 い ら れ る ガラ ス は、 P D P の シ ー ル工程に おいて、 封止ガラ ス フ リ ッ ト が軟化溶融す る 温 度 （封着温度） ま で昇温 さ れ、 こ の温度で再溶融 し て は な ら な い 。 通常、 ガラ ス フ リ ツ 卜 の封着温度は、 軟化点 よ り 程度高い。 ま た、 P D P の封着温度 と し て は、
    [0060] 400〜 450て程度が適当であ り 、 従 っ て、 誘電体材料中 に含 ま れ る ガラ ス の軟化点は 350で以上であ る こ と が望 ま し い。
    [0061] ま た軟化点の上限は、 有孔金属板表面上に形成す る と 考えれば、 金属が変形 し な い こ と 、 金属 と 誘電体が多量 に化学反応を起 こ さ な い こ と を条件に決め ら れ、 そ の温 度 は 100 Qて以下であ る こ と が望 ま し い。 - - ま た、 結晶性無機物 と し て はア ル ミ ナ （ A J 2 O 3 ) フ オ ノレス テ ラ イ ト （ 2M g O — S i O 2 ) 等の セ ラ ミ ツ ク ス が使用 さ れ、 さ ら に 、 無機顔料 （ F e 0 - C r 2
    [0062] O 3 , C o Ο - A i 2 O 3 等） も使用可能であ る。 こ の 結晶性無機物の粒度と し ては 1〜 5 μ πι 程度が好ま し い。
    [0063] ま た、 有機物につ い て も最終的に無機化で き る の であ ればいずれ も 使用で き る 。
    [0064] 一般的パネ ル封止方法 （封止ガラ ス に よ つ て シ ー ルす る ） で は、 そ の封止温度に耐え 、 線熱膨張係数が、 2枚 の ガラ ス板、 封止ガラ ス、 隔壁 と概略同 じでな ければな ら な い。 こ の よ う な観点か ら上記の よ う な材料が適宜選 択さ れ る 。
    [0065] ま た有孔金属板は導電性であ る ので電極 と し ての使用 が可能であ る 。 こ の電極は多数のセ ル間で電気的 に連結 さ れて い る ので表示セルの選択電極と し ての使用 に は有 利でな い。 し 力、 し、 D C 型 P D Ρ におい て補助放電を採 用す る も の が提案 さ れて い る （特開昭 54- 11506Q 号公報、 特開 昭 58- 30038号公報、 お よ びテ レ ビ ジ ョ ン学会誌、 vol .40 , No.10 , p. 953 , 1986 年） 。 こ れ ら の補助放電 は全セ ル同時に起す こ と も有効な の で、 こ の補助放電電 極 と し て、 上記有孔金属板を使用で き る 。
    [0066] こ の よ う に有孔金厲板を補助放電電極 と し た P D P の 構成部材 と組立図を第 13図 に、 ま た そ の 陽極方向 に添 つ た セ ル断面図を第 14図 に それぞれ示す。 第 13〜 14図の符 • - 番 は、 第 6 図 と 同様であ る 。 但 し 、 有孔金属か ら な る 格 子状隔壁 4 に は第 7 図 と 同様に誘電体層が被着 さ れ、 絶 縁層を形成 し て い る 。 ま た、 1 2は第 3 電極 （陽極） 、 1 3 は第 2 電極群 （陰極） お よ び 1 4は第 1 電極 （ ト リ ガー 電 極） をそれぞれ示す。
    [0067] こ の時、 捕助放電空間 と し て必要な ら ば、 第 1 3〜 1 4図 に示 さ れ る よ う に有孔金属板を複数使用す る こ と も 可能 であ る 。 例え ば略同一の有孔パ ー タ ン を有す る 有孔金属 板を 2枚同 じ位置 に重ね、 1枚を補助放電電極 と し て、 他の 1枚を放電空間を形成す る 隔壁 と すれば補助放電電 極が表示の妨げをす る こ と な く 形成で き る 。 こ れ ら複数 の有孔金属板間の絶縁が必要であれば、 前述の絶縁層形 成 と 同様の方法がで き る 。 補助放電電極は公知の よ う に 金属が露出 し た状態で も 、 ま た誘電体層で被覆 さ れた状 態で も 可能であ る 。 ま た そ の位置等 も パネ ルの電極構造 や形状構造に合せて、 適宜設計 さ れ る も のであ る 。 前述 し た有孔金属板を複数使用す る こ と は対向型電極に お い て電極間距離の設計 自 由度を大 き く し 、 ま た 同 じ隔壁高 さ の設計に お い て、 薄い金属板が使用で き る こ と か ら 、
    [0068] 1枚の時よ り 微細な セ ル ピ ッ チ の も のが形成可能であ り 、 同 じ セ ノレ ピ ッ チ な ら ば、 よ り 隔壁巾 の小 さ な従 っ て開 口 率の大 き な も の が形成で き る利点があ る 。
    [0069] こ れ ら の こ と は、 有孔金属板が金属 な ので例え薄い も の であ っ て も 操作が容易であ っ て初め て可能で あ る 。 こ 一 - の利点は次の場合に も有効であ る。
    [0070] すな わ ち 、 カ ラ ー P D P にお い て は、 一般に放電に よ つ て紫外線を発生 さ せ、 こ の紫外線に よ り 蛍光体を励起 発光 さ せ る 。 通常 こ の蛍光体は前面ガラ ス板あ る い は背 面ガラ ス板に被着 さ れる 。 発光輝度は被着蛍光体の面積 が多 い程大 き い。 従 っ て隔壁側面すな わ ち有孔金属板の 穴内面に も蛍光体を被着す る こ と が望ま し い。 従来の誘 電体で形成 さ れた隔壁において も 同様の設計が提案 さ れ てい る （坂井 ： 放電表示素子の二， 三の実験と そ の応用、 テ レ ビ学会画像表示研究会資料 1 3 - 1 ( M a r . , 1 9 7 5 )お よ び 特開昭 5 1 - 3 8 9 9 6号公報） 。 しか る にガラ ス を使用 し た有 孔板で は、 セル ピ ッ チ 0 . 6驄以下で表示面積の大 き な も の は取扱いが困難であ り 、 ま たパネ ル基体上へ例え ば厚 腠印刷等で形成 さ れた隔壁側面へ多色の蛍光体を塗 り 分 け る に は高度な技術を必要 と す る 。 本発明の有孔金属板 は それ単独での取扱いが容易であ り 、 高精度の有孔パ 夕 一 ン の形成がで き る ので、 次の よ う な方法が実施 し得 る 。
    [0071] 一般に蛍光体は粉体であ る ので厚膜ィ ン ク が調整で き る 。 こ の イ ン ク を使用 し て有孔部へ蛍光体を印刷す る の であ る が、 こ の ま ま では、 穴の奥ま でイ ン ク が届かな か つ た り 、 届 いて も 穴を塞いで し ま う 。 そ こ で穴の 印刷面 反対側か ら イ ン ク を吸引すれば、 穴内面に イ ン ク の粘性 に応 じ た厚み の蛍光体が塗布 さ れ、 余分な ィ ン ク は穴外 へ排出 さ れ る 訳であ る 。 こ の手法に よれば、 0 . 3臓以下 の セ ル ピ ッ チ を持つ金属有孔扳の穴内面へ も 多色の蛍光 体が塗 り 分 け可能であ る 。 本発明の隔壁 は完全閉鎖型 に で き る の で、 不完全閉鎖隔壁よ り も蛍光体被着面積が大 き い。
    [0072] 本発明 は、 P D P に お いて用 い ら れ る セ ル隔壁を形成 す る に あ た り 、 従来よ り 用 い ら れてい た誘電体 （ガラ ス ま た はガラ ス を含む無機材料等） 隔壁 と は異な る 有孔金 厲板力、 ら な る 隔壁を用 い る も のであ る 。 従 っ て、 セ ル形 状、 サ イ ズ、 配列 ピ ッ チ と い っ た形状 は金属薄板の加工 精度に依 る と こ ろ が大 き く 通常の ド ッ 卜 マ ト リ ッ ク ス表 示を行な う A C 型およ び D C 型 P D P で求め ら れ る ド ッ ト サイ ズおよ び ド ッ ト ピ ッ チを形成す る の に、 十分満足 で き る 精度を有 し てい る。 ま た、 絶縁層を設 け る こ と に よ っ て、 前面板や背面板上の電極 と 有孔金属板 と を電気 的に絶縁 さ せ る こ と がで き る 。
    [0073] 以上説明 し た よ う に 、 有孔金属板を隔壁に用 い 、 かつ 絶縁層を設け た本発明の P D P は、 高精細 な セ ル ピ ッ チ に対応で き 、 かつ ク ロ ス ト ー ク 特性に優れてい る 。 ま た、 陽極一陰極間等で電気的短絡が生 じ る こ と も な い。
    [0074] [本発明 の好ま し い実施例 ]
    [0075] 以下、 本発明を実施例等に よ り さ ら に詳 し く 説明す る 実施例 1
    [0076] 隔壁 と な る 有孔金属板の金属材料組成 と し て、 線熱膨 - - 張係数が 92 x 10— 7ノ °C で あ る 42重量％ N i 一 6重量％ C r - F e 合金を使用 し た。 金属板厚み は 0.1廳 、 抜 き 穴の配列 は、 正方形を縦横等 ピ ッ チで多数並べた格子形 状 と し 、 そ の ピ ッ チ は 0.2臁 、 抜き穴サイ ズ は 0.15 X 0. 15臁 と し 、 エ ッ チ ン グ加工に よ り 、 多数の抜 き 穴を形成 し 、 有孔金属板 と し た。
    [0077] P D P は、 第 6 図 に示 さ れ る よ う に、 前面ガラ ス板に は陽極と し ての透明導電膜 （ I T O ) 、 ま た背面ガラ ス 板に は、 陰極 と し て N i がそれぞれ設け ら れてい る 。 さ ら に、 前面ガラ ス扳お よ び背面ガラ ス板の電極上に、 表 示セル領域を避けて、 ス ト ラ イ プ状の誘電体層をス ク リ 一 ン 印刷で形成 し絶縁層 と し た。
    [0078] 次に、 有孔金属板 （隔壁） を前面板およ び背面板の 間 に挟んで、 周囲を封止ガラ スで シ 一 ル し て、 X — Y マ ト リ ッ ク ス の D C 型 P D P を形成 し た。
    [0079] 比較例 1
    [0080] 実施例 1 で示 し た D C 型 P D P の隔壁を厚膜印刷で形 成 し た。
    [0081] ま ず、 ド ッ ト ピ ッ チ 1.0臟 、 抜き 穴サイ ズ 0.8 X 0.8 咖の隔壁を作成 し た。 8回 にお よ ぶ重ね印刷で隔壁の高 さ は 0.15 eraに形成 し た。
    [0082] 次に、 実施例 1 で示 し た も の と 同一精度の ド ッ ト ピ ッ チ 0.2顧 、 抜 き 穴サ イ ズ 0.15 X 0.15廳 の隔壁を作成 し よ う と し た。 1.0廳 ピ ッ チで は、 殆ど無視で き た微妙な ァ - ラ イ メ ン 卜 のずれ、 ま た は印刷ペー ス 卜 の だれ等が無視 で き ず、 製造 は技術的 に困難であ り 、 歩留 ま り 率は実施 例 1 に比 し て は る かに悪か っ た。 ま た良好に製造で き た も の につ い て も 、 上記の よ う な理由で十分な セ ル開 口率 が得 ら れな か っ た。 そ の一例を示す と 、 0 . 2臓 ピ ッ チ に 対 し て抜 き 穴サ イ ズは 0 . 1 X 0 . 1顧で開 口率は 2 5 %であ つ た 。 上記 し た 実施例 1 で は 、 抜 き 穴 サ イ ズ は 0 · 1 5 X 0 . 1 5顺で開 口率 は 5 6 % と な り 、 明 ら か に実施例 1 が有利 であ っ た。
    [0083] 比較例 2
    [0084] 実施例 1 で示 し た D C 型 P D P の隔壁を感光性板ガラ ス の エ ッ チ ン グ加工に よ り 作成 し た。 し 力、 し 、 こ の材料 は前記の よ う に価格的 に極めて高価であ り 、 かつ薄い板 ガラ ス であ る ゆえ非常に脆 く 、 組立加工性の点で も 実施 例 1 よ り 劣 っ て い た。
    [0085] 比較例 3
    [0086] 一般の ソ ー ダ石灰ガラ ス等に穴あ け加工を し て、 比較 例 2 の よ う な D C 型 P D P の隔壁を作成 し た し 力、 し 、 こ の方法で 0 . 2應程度の高精細な ピ ッ チ の多数の穴あ け加 ェをす る の で は、 比較例 2 と 比べて寸法精度はかな り 低 下す る 。 ま た 、 薄板ガラ ス の脆 さ か ら 考え て、 加工性、 組立加工性の点で比較例 2 よ り 劣 り 、 従 っ て実施例 1 よ り 力、な り 劣 っ て い た。 比較例 4
    [0087] 前面ガラ ス板お よ び背面ガラ ス板上に絶縁層を設けず に、 有孔金属板を単独で隔壁 と し てそ の ま ま 使用 し た。 そ の結果、 陽極 - 陰極間で電気的短絡が起 こ り 、 点灯 し な力、 つ た り 、 場合に よ っ ては、 陽極同士の み、 ま た は陰 極同士の みが短絡 し て非選択セ ルが発光す る と い ぅ 不都 合が生 じ P D P の隔壁 と し ての意味がな さ なか っ た。 実施例 2
    [0088] 実施例 1 で用 い た格子状の有孔金属板を用 い、 こ れに 誘電体を被着 さ せて絶縁層 と し た。
    [0089] 誘電体材料 と し ては、 軟化点 6 0 0で、 平均粒径 2〜 3 m の Z n 0 - B 2 0 3 一 S i O 2 系ガラ ス粉末およ び A 1 2 0 3 、 F e O · C r 2 O 3 等の無機フ ィ ラ ーを使 用 し た。 誘電体の被着は電着液中 にて、 格子状の有孔金 属扳を陰極 と し、 こ れ と 同 じ材質、 同程度の面積の金属 板を陽極 と し て電着を し た。 使用電圧 は直流 2 0 0ボル ト 一定 と し た。
    [0090] こ の結果、 電着状態や電着層強度 も極めて良好であ つ た。
    [0091] こ の サ ン プルを大気中 にてガラ ス粉末の軟化点 6 0 0。C よ り 高い温度で焼成 し 、 誘電体層を緻密な膜に仕立て上 げて、 表面が誘電体で被着 さ れた所望の格子状の有孔金 厲板が得 ら れた。
    [0092] 次に 、 こ の表面が誘電体で被着 さ れた格子状の有孔金 - - 属扳を隔壁 に用 い た D C 型 P D P を下記 に示す通 り 作成 し た。
    [0093] すな わ ち 、 第 7 〜 10図 に示すよ う に 、 隔壁 4 と し て表 面が誘電体で被覆 さ れた格子状の有孔金属板、 ス ぺー サ — 8 と し て隔壁 4 よ り 程度厚い ガラ ス を用 い た。 こ の隔壁 3 と ス ぺー サ 一 8 を、 予め電極の形成 し て あ る 2枚の前面ガラ ス扳 1 と 背面ガラ ス板 5 の間 に挟んで周 囲を封止ガ ラ ス 9 で シ 一 ノレ し て X — Y マ 卜 リ ッ ク ス の D C 型 P D P を形成 し た。
    [0094] こ の D C 型 P D P の封止状況は良好で、 応力歪に よ る 破損等の 問題は発生 し な か っ た。 こ の時、 スぺー サ一 は P D P の表示領域外に位置 し 、 隔壁の あ る 表示領域に お い て は常に 3 ϋ m 程度の ガス導入空間が存在 し 、 管内排 気お よ びガス封入が、 表示領域全域に渡 っ て確実に行な 実施例 3
    [0095] 実施例 2 で用 い た表面が誘電体で被着 さ れた格子状の 有孔金属板 と ス ト ラ イ プ状の誘電体を隔壁 に用 い た D C 型 P D P を下記 に示す通 り 作成 し た。
    [0096] すな わ ち 、 ス ト ラ イ プ形状の誘電体は、 フ ォ ー ト イ ン シ ュ レ ー タ ー （東京応化工業㈱製） を用 い て、 背面ガラ ス 板上に 、 膜厚 δϋ ^ πι 、 ピ ッ チ 0.2顧、 形成ラ イ ン幅 50 m の誘電体層を形成 し た。
    [0097] 次 に 、 第 11〜 12図 に示す よ う に 、 前面ガ ラ ス 板 1 と 背 一 - 面ガラ ス板 5 の 間に、 誘電体を被着 し た格子状の有孔金 属扳 4 と ス ト ラ イ プ形状の誘電体 10を挾み、 こ れを隔壁 と し 、 低融点ガラ ス フ リ ッ ト で シ ー ル し 、 チ ッ プ管を通 し て真空排気お よ びガス封入 し た後、 チ ッ プ管を封 じ 切 り 、 D C 型 P D P を作成 し た。 こ の D C 型 P D P は、 第 11〜 12図 に示 さ れ る よ う に、 前面ガラ ス板 1 に は陽極 6 が設け ら れてお り 、 ま た前面ガラ ス板 1 内面に は蛍光体 11が塗布 さ れて い る 。 一方、 背面ガ ラ ス板 5 に は陰極 7 が設け られてい る 。 そ し て、 陽極 6 と 陰極 7 と は直交 し て ド ッ ト マ ト リ ッ ク ス を形成す る よ う に な っ て い る 。 こ の よ う に し て形成 ド ッ ト 数 100 X 100の D C 型 P D P 力く 得 ら れ た 。 な お 、 封入 ガ ス は H e - X e ( 2% ) 300 T orr を用 い た。
    [0098] こ の よ う に し て得 られた D C 型 P D P は、 高精細度化 への適応性、 加工性、 放電電圧特性の均一性、 ク ロ ス ト ー ク 特性の いずれに も 優れてい た。
    [0099] 実施例 4
    [0100] 実施例 2 で用 い た表面が誘電体で被着さ れた格子状の 有孔金属板を隔壁に用 い た D C 型 P D P を下記に示す通 り 作成 し た。
    [0101] すな わ ち 、 第 13〜 14図 に示 さ れる よ う に、 第 1 電極 14と し て薄膜 A を 0.2顧 ピ ッ チ で、 ラ イ ン幅 0.1顧の ス ト ラ イ プ形状に形成 し 、 そ の上に誘電体層 2 と し て Z n 0 - B 2 0 3 — S i O 2 系ガ ラ ス粉末に A J 2 0 3 を少量 一 - 混合 し た粉末を、 ビ ヒ ク ル と 混練 し てペ ー ス ト 化 し 、 ス ク リ ー ン 印刷法でベ タ 印刷 し 、 580 に て焼成 し た。 次 に誘電体層上に第 1 電極 14と 直交す る 向 き に 、 第 2 電極 13と し て N i ペー ス ト を用 い、 ス ク リ ー ン 印刷法 に よ り 0.2顧 ピ ッ チで ラ イ ン幅 0.1臓の ス ト ラ イ プ形状 に形成 し 、 580で に て焼成 し た。
    [0102] 第 3 電極 12と な る 有孔金属板電極は、 有孔金属板か ら な る 隔壁 4 の基体金属 と 同 じ材質、 同 じ形状の金属板を 使用 し た。 な お、 こ の隔壁 4 は有孔金属板 2枚か ら形成 さ れて い る 。
    [0103] 次に背面ガラ ス板 5 上に、 上述の よ う に し て得 ら れた 有孔金属板か ら な る 隔壁 4 を置 き 、 さ ら に第 3 電極 12の 配置 さ れた前面ガラ ス板 1 で挟み、 低融点ガラ ス フ リ ツ 卜 で シ ー ル し 、 チ ッ プ管を通 し て真空排気およ びガス封 入 し た後、 チ ッ プ管を封 じ 切 り 、 D C 型 P D P を作成 し た。 な お封入ガス は N e - A r ( 0.5% ) 350 T orr を 用 い た。 こ の よ う に し て得 ら れた D C 型 P D P は、 陰 極の耐スパ ッ タ 性、 陰極の電流密度、 放電維持電圧、 加 ェ性 （量産性） の いずれに も 優れてい た。
    [0104] 実施例 5
    [0105] 隔壁 と な る 有孔金属板 と し て 、 線熱膨脹係数が 92 X 10— 7ノ。〇 で あ る 42重量％ N i - 6重量％ C r — F e 合金 を使用 し た。 金属板厚み は 75 / πι 、 抜 き 穴の配列は、 正 方形を縦横等 ピ ッ チで多数並べた格子形状 と し 、 そ の ピ ツ チ は 0.2醒、 抜き 穴サ イ ズは 0.17 X 0.17臓 と し 、 エ ツ チ ン グ加工に よ り 、 多数の抜き 穴を形成 し、 有孔金属板
    [0106] ( A タ イ プ） と し た。 さ ら に、 同様の有孔金属板と し て、 扳圧 75 ίί πι 、 セ ノレ ピ ッ チ 0.15廳 、 抜 き 穴サ イ ズ 0.12 X 0.12鯽 も の （ Β タ イ プ） と 2種類用意 し た。
    [0107] 誘電体材料 と し ては、 軟化点 800で 、 平均粒径 2〜 3 β to の Ζ η Ο — Β 2 0 3 0 2 系ガ ラ ス粉末およ び A 2 0 3 , F e 2 0 3 * C r 2 0 3 等の無機フ イ ラ 一 を使用 し た。 熱間圧着性を有す る ア ク リ ル樹脂を B C A (プチ ル カ ノレ ビ ト ー ノレア セ テー ト ） あ る い は、 ノ、' イ ン オ イ ノレ等 の有機溶剤に溶か し て、 転写印刷用 ビ ヒ ク ル と し た。 こ の ビ ヒ ク ル は、 樹脂分 5〜 20重量部 と溶剤分 80〜 95重量 部力、 ら成 る 。 次に こ の ビ ヒ ク ノレ 20〜 40重量部に対 し て、 ガ ラ ス粉末お よ び無機フ ィ ラ ー 60〜 80重量部を混練 し、 転写印刷用ペー ス ト と し た。 こ のペー ス ト を剥離基体の ポ リ エ ス テノレ フ ィ ルム上に、 ス ク リ ー ン 印刷法に よ り 、 ベ タ 印刷 し 、 90で で十分乾燥 さ せ る 。 乾燥 し た転写 シ ー ト を熱間 口 一 ラ ー あ る い は熱間平型プ レ ス に よ り 、 有孔 金属板に圧着 さ せた。 圧着後、 転写 シー ト を剥が し、 誘 電体層が形成 さ れた有孔金属板を大気中 におい て 600〜 680°Cで焼'成 し、 誘電体層を完全に無機質でかつ緻密な 膜に仕立て挙げ、 有孔金属板表面に絶縁層が得 ら れた。
    [0108] 次に、 こ の有孔金属板を隔壁に用 い た D C 型 P D P を 下記に示す通 り 作成 し た。 すな わ ち 、 第 6 図 に示すよ う - - に 、 隔壁 4 と し て有孔金属板を用 い、 こ の隔壁 4 を予め 電極の形成 し てあ る 2枚の前面ガラ ス板 1 と 背面ガ ラ ス 板 5 の 間 に挟んで周囲を封止ガ ラ ス で シー ル し て、 X — Yマ ト リ ッ ク ス の D C 型 P D P を形成 し た。
    [0109] こ の D C型 P D P の封止状況は良好で、 応力歪に よ る 破損等の 問題 は発生 し な か っ た。
    [0110] こ の よ う な D C型 P D P は、 セ ノレ ピ ッ チ の異な る A 夕 イ ブ、 B タ イ プどち ら につ いて も 開口率を下げ る こ と な く 良好な結果が得 ら れた。
    权利要求:
    Claims求 の 範 囲
    1. ス ぺ ー サ お よ びノ ま た は放電隔壁 と し て、 厚 さ
    0.01〜 1.0腿 の有孔金厲板を使用 し 、 該有孔金属板 と 放 電電極 と を電気的 に絶縁す る絶縁層を有す る こ と を特徴 と す る プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ル。
    2. 表示 ド ッ ト 最小 ピ ッ チが 0.6卿以下であ る 請求項 1 に記載の プラ ズマ ディ ス プ レ イ ノ、。ネ ル。
    3. 前記有孔金属板に絶縁層が被着 さ れる 請求項 1 お よ び 2 に記載の プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ノレ 。
    4. 前記有孔金属板に ガス拡散用 の溝を設け る 請求項 1 〜 3 の いずれ力、に記載の プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ル，
    5. 前記有孔金属板を放電電極の一部 と し て使用す る 請求項 1 〜 4 の いずれかに記載の プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ ノヾ ネ ノレ 。
    6. 前記有孔金属板を複数枚使用す る 請求項 1 〜 5 の いずれ力、に記載の プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ノレ 。
    7. 前記有孔金属板の穴内面に蛍光体が被着さ れ る 請 求項 1 〜 6 の いずれかに記載の プラ ズマ ディ ス プ レ イ パ ネ ル。
    8. 前記有孔金属板 の 材質が、 F e , C o , N i , C r か ら選ばれ る 少な く と も 1種の元素を含む合金で、 線熱膨張係数が 40〜 100 X 10 _ 7 /。C ( 25〜 500 °C ) であ る 請求项 1 〜 7 の いずれかに記載の プラ ズマ デ ィ ス プ レ ィ パ ネ ノレ。
    9. 前記絶緣層が、 軟化点 350〜 1000 の範囲 に あ る ガ ラ ス あ る い は ガラ ス を含む誘電体材料力、 ら な る 請求項 1 〜 8 の いずれかに記載の プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ル。
    10. 絶縁層 と な る 厚 さ 1〜 ΙΟΟ ^ πι の誘電体層で表面 が被覆 さ れた プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ の隔壁 ま た は ス ぺ一 ザ と し て用 い ら れ る 有孔金属板。
    11. ス ぺ ー サ お よ び Z ま た は 放電隔 壁 と し て、 厚 さ 0.01〜 1.0卿の有孔金属板を使用す る プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ルに お いて、 該有孔金属扳を 1つ の電極 と な し 、 ガ ラ ス お よ びガ ラ ス を含む誘電体粉体が懸濁す る 液体中 で、 該粉体を有孔金属板に電着 し 、 そ の後、 加熱 し てガ ラ ス を溶融 さ せて絶縁層を有孔金属板に 固着す る こ と を 特徵 と す る プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パ ネ ルの製造方法。
    12. ガ ラ ス お よ びガ ラ ス を含む誘電体粉体を、 剥離性 基体上に成膜 し 、 該誘電体膜 と 有孔金属板の片面あ る い は両面を重ね た状態で、 室温あ る い は加熱 し て加圧 し た 後、 剥離性基体を除去す る こ と に よ り 、 誘電体膜を有孔 金属板表面 に転写 し 、 そ の後、 加熱 し てガラ ス を溶融 さ せ て、 絶縁層を有孔金属板 に 固着す る こ と を特徴 と す る プラ ズマ デ ィ ス プ レ イ パネ ノレ の製造方法。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
    US8421356B1|2013-04-16|Microshell gas discharge device
    US5674351A|1997-10-07|Self supporting flat video display
    US7064493B2|2006-06-20|Cold cathode electric field electron emission display device
    EP1308982B1|2007-01-24|Plasma display panel and manufacturing method thereof
    US6008576A|1999-12-28|Flat display and process for producing cathode plate for use in flat display
    EP0545642B1|1998-05-20|Display discharge tubes
    CN100380563C|2008-04-09|等离子显示板及其制造方法
    US7067979B2|2006-06-27|Gas-discharge display device and its manufacturing method
    JP4110912B2|2008-07-02|冷陰極電界電子放出表示装置
    US6703779B2|2004-03-09|Image-forming apparatus with lead wiring connected to image-forming substrate through corner of electron source substrate
    US20050174055A1|2005-08-11|Plasma display device having barrier ribs
    KR101093837B1|2011-12-13|표시용 패널 및 표시 장치
    US5747931A|1998-05-05|Plasma display and method of making same
    KR20010078093A|2001-08-20|소비전력 억제효과가 뛰어난 면방전형 표시장치
    KR100769414B1|2007-10-22|전자 방출성 박막, 이를 이용한 플라즈마 디스플레이 패널및 이들의 제조 방법
    US3886395A|1975-05-27|Flat, gaseous discharge, phosphor display panel with offset subsidiary electrodes
    US6870314B2|2005-03-22|Panel assembly for PDP and manufacturing method thereof
    US7095169B2|2006-08-22|Flat panel display device
    US7153177B2|2006-12-26|Flat-panel display and flat-panel display cathode manufacturing method
    KR20040055567A|2004-06-26|냉음극형 플랫 패널 디스플레이
    JP4449835B2|2010-04-14|平面型表示装置用のアノードパネルの製造方法
    KR100767904B1|2007-10-17|화상표시장치
    US7105200B2|2006-09-12|Method of producing thick-film sheet member
    JP2003242914A|2003-08-29|電界放出表示装置及びその製造方法
    US3743879A|1973-07-03|Cold cathode display panel having a multiplicity of gas cells
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    EP0448727B1|1998-01-28|
    AU638288B2|1993-06-24|
    EP0448727A4|1992-12-09|
    AU6531890A|1991-05-16|
    AT162907T|1998-02-15|
    DE69032003T2|1998-06-18|
    EP0448727A1|1991-10-02|
    CA2044267C|1999-04-20|
    US5264758A|1993-11-23|
    CA2044267A1|1991-04-19|
    DE69032003D1|1998-03-05|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    JPS4751538B1|1968-10-09|1972-12-25|||
    JPS566622B2|1976-01-08|1981-02-12|||
    JPS5814020B2|1977-10-11|1983-03-17|Intaanashonaru Bijinesu Mashiinzu Corp||
    JPS5528252A|1978-08-18|1980-02-28|Matsushita Electric Ind Co Ltd|Method of manufacturing control electrode of flat plate- like picture display unit|US6414435B1|1997-12-01|2002-07-02|Hitachi, Ltd.|AC drive type plasma display panel having display electrodes on front and back plates, and image display apparatus using the same|
    EP1600999A2|2004-05-26|2005-11-30|Pioneer Corporation|Plasma display panel|US3842308A|1970-12-12|1974-10-15|Philips Corp|Gas discharge panel with apertured center plate having an oxidized surface|
    FR2134895A5|1971-04-23|1972-12-08|Thomson Csf||
    JPS5511262B2|1974-05-21|1980-03-24|||
    JPS5351538A|1976-10-21|1978-05-11|Toshihiko Sakurai|Device for tracing sun|
    EP0012140B1|1978-12-15|1982-07-21|International Business Machines Corporation|Gaseous discharge display devices|
    NL7907489A|1979-10-10|1981-04-14|Philips Nv|Gasontladingsbeeldweergeefpaneel met holle kathoden.|
    US4352040A|1980-07-14|1982-09-28|Burroughs Corporation|Display panel with anode and cathode electrodes located in slots of base plate|JP2593761B2|1992-02-06|1997-03-26|株式会社ノリタケカンパニーリミテド|プラズマディスプレイパネル|
    US5672460A|1994-06-10|1997-09-30|Nippon Hoso Kyokai|Method for forming conductive or insulating layers|
    US6159066A|1996-12-18|2000-12-12|Fujitsu Limited|Glass material used in, and fabrication method of, a plasma display panel|
    JP2663915B2|1995-05-31|1997-10-15|日本電気株式会社|プラズマディスプレイパネル|
    US6373452B1|1995-08-03|2002-04-16|Fujiitsu Limited|Plasma display panel, method of driving same and plasma display apparatus|
    TW353762B|1996-10-21|1999-03-01|Dainippon Printing Co Ltd|Transfer sheet, and pattern-forming method|
    JP3520396B2|1997-07-02|2004-04-19|セイコーエプソン株式会社|アクティブマトリクス基板と表示装置|
    EP0940797B1|1997-08-21|2005-03-23|Seiko Epson Corporation|Active matrix display|
    JP3580092B2|1997-08-21|2004-10-20|セイコーエプソン株式会社|アクティブマトリクス型表示装置|
    US6286204B1|1998-03-09|2001-09-11|Sarnoff Corporation|Method for fabricating double sided ceramic circuit boards using a titanium support substrate|
    US6184163B1|1998-03-26|2001-02-06|Lg Electronics Inc.|Dielectric composition for plasma display panel|
    US6439943B1|1998-05-12|2002-08-27|Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.|Manufacturing method of plasma display panel that includes adielectric glass layer having small particle sizes|
    KR100662061B1|1998-09-29|2006-12-27|가부시끼가이샤 히다치 세이사꾸쇼|플라즈마 디스플레이 패널 및 기판 구조체의 제조 방법|
    CN1108599C|1999-08-03|2003-05-14|东南大学|一种交流等离子体显示板|
    JP2002287694A|2001-03-26|2002-10-04|Hitachi Ltd|プラズマディスプレイパネルの駆動方法、駆動回路及び画像表示装置|
    JP4177969B2|2001-04-09|2008-11-05|株式会社日立製作所|プラズマディスプレイパネル|
    WO2003032356A1|2001-10-02|2003-04-17|Noritake Co., Limited|Gas discharge display device and its manufacturing method|
    KR100444512B1|2002-01-25|2004-08-16|엘지전자 주식회사|플라즈마 디스플레이 패널의 불순물 제거방법|
    TW540746U|2002-07-18|2003-07-01|Delta Optoelectronics Inc|Vacuum device|
    US6825609B2|2002-10-21|2004-11-30|Hon Hai Precision Ind. Co., Ltd.|Sealed housing for field emission display|
    JP2004179052A|2002-11-28|2004-06-24|Pioneer Electronic Corp|ディスプレイパネルおよびその製造方法ならびにディスプレイパネル用隔壁|
    KR100932975B1|2003-03-27|2009-12-21|삼성에스디아이 주식회사|다층 구조의 그리드 플레이트를 구비한 전계 방출표시장치|
    KR20040087905A|2003-04-09|2004-10-15|파이오니아 가부시키가이샤|플라즈마 디스플레이 패널|
    KR100525888B1|2003-06-23|2005-11-02|엘지전자 주식회사|화이트백 형성용 페이스트 조성물 및플라즈마디스플레이패널의 하판제조방법|
    KR20050096532A|2004-03-31|2005-10-06|삼성에스디아이 주식회사|전자 방출 소자 및 이를 이용한 전자방출 표시장치|
    JP4401905B2|2004-09-03|2010-01-20|株式会社日立製作所|プラズマディスプレイパネル及びそれを用いた画像表示システム。|
    KR100683749B1|2005-01-05|2007-02-15|삼성에스디아이 주식회사|플라즈마 디스플레이 장치용 섀시 베이스 및 이를 구비한플라즈마 디스플레이 장치|
    US20060290256A1|2005-01-31|2006-12-28|Tdk Corporation|Panel|
    KR20060095331A|2005-02-28|2006-08-31|삼성에스디아이 주식회사|전자 방출 소자|
    法律状态:
    1990-10-17| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 2044267 Country of ref document: CA |
    1991-05-02| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AU CA US |
    1991-05-02| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE DK ES FR GB GR IT LU NL SE |
    1991-06-13| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1990915195 Country of ref document: EP |
    1991-06-18| ENP| Entry into the national phase in:|Ref country code: CA Ref document number: 2044267 Kind code of ref document: A Format of ref document f/p: F |
    1991-10-02| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1990915195 Country of ref document: EP |
    1998-01-28| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1990915195 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP1/269153||1989-10-18||
    JP26915389||1989-10-18||
    JP1290027A|JPH0770288B2|1989-11-09|1989-11-09|気体放電型パネル|
    JP1/290027||1989-11-09||
    JP2025981A|JP2741418B2|1989-10-18|1990-02-07|メタルコアリブおよびその製造方法、並びに該メタルコアリブを用いたプラズマディスプレイパネル|
    JP2/25981||1990-02-07||
    JP2027193A|JPH03233832A|1990-02-08|1990-02-08|Plasma display panel comprising porous metal plate as common cathode|
    JP2/27193||1990-02-08||
    JP2120048A|JP2532970B2|1990-05-11|1990-05-11|有孔金属板を隔壁に用いたプラズマディスプレイパネルおよびその製造方法|
    JP2/120048||1990-05-11||
    JP2247433A|JP2525280B2|1990-09-19|1990-09-19|隔壁中の有孔金属板を電極としたプラズマディスプレイパネル|
    JP2/247433||1990-09-19||
    JP2270610A|JPH04147535A|1990-10-11|1990-10-11|Method of forming insulating layer of porous metal plate|
    JP2/270610||1990-10-11||DE1990632003| DE69032003T2|1989-10-18|1990-10-17|Plasmaanzeigetafel und herstellungsverfahren derselben|
    EP90915195A| EP0448727B1|1989-10-18|1990-10-17|Plasma display panel and method of manufacturing the same|
    [返回顶部]