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    公开号:WO1990005326A1
    申请号:PCT/JP1989/001041
    申请日:1989-10-11
    公开日:1990-05-17
    发明作者:Tadahiro Furukawa；Toshiaki Kikuchi；Hitoshi Konno
    申请人:Kyodo Printing Co., Ltd.；
    IPC主号:G03F1-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 パ タ ー ン の 修 正 方 法
    [0002] 技 術 分 野
    [0003] こ の発明は、 基板の一面に形成した、 一部に欠陥をもつパ タ ーン を修正する技術に関 し、 特に、 ノ、 °タ ーンの厚さ が、 た とえば 0 . 5 〜 1 . .5 m程度、 あるいはそれ以上の比較的 に厚いものの修正に有効に利用する こ と ができる技術に関す る。 したがっ て、 この発明は、 半導体装置等の製造に用い ら れる フ ォ ト マ ス ク よ り も 、 たとえば、 カ ラ 一液晶表示パネル におけるカ ラーフィ ルタ な どの修正によ り好適な技術である 背 景 技 術
    [0004] 一般に、 フォ トマスク上の欠陥を修正する と い う考え方は 周知である。 その修正の必要性は、 フ ォ トマスク が大面積に なる につれて高 く なっ ている。
    [0005] このフォ トマズク上のパタ ーンを修正する という考え方は. また、 関連する他の分野、 たとえばカ ラー液晶表示パネルに おけるカ ラーフイ ノレタ などの修正にも適用されている。 しか し、 それ らの各技術は、 基板の一面に形成した、 一部に欠陥 をもつパタ ーン の修正という点で、 いずれも共通 している。
    [0006] たとえば、 特開昭 5 4 - 3 2 9 7 8号の公報では、 主と し て フ ォ トマスク のパタ ーン欠陥を修正する に際 し、 レーザ光 の照射に先立ち基板表面の少な く と もパタ ー ン表面上に保護 膜を形成し、 基板表面を保護した状態で レーザ光の照射を行 なう こ と によっ て、 レーザ光によっ て除去したものが他の部 分に飛散して付着し、 新たな欠陥になること を防止する技術 を示している。 また、 特開昭 6 2 - 1 9 1 8 0 4号の公報で は、 カラーフィルタ に付着している異物を、 波長 l m以下 の レ一ザ光を照射することによって、 異物の近く のカラーフ ィルタ の構成物質と ともに除去する技術を示している。
    [0007] と ころで、 異物などを除去した部分をそのままにしたので は、 それが白抜け状態となって、 別の欠陥になってしまう 。 そのため、 白抜けの部分をパタ ーン材料あるいはその他の修 正用材料によって埋め込むことが必要である。 特に、 カラ一 フィルタ の修正においては、 埋め込んだ修正用材料の膜厚を、 元のパターンつま リ本来のパターンの厚さ と揃えることを考 慮に入れなければならない。
    [0008] この点、 特開昭 6 1 - 1 2 2 6 0 5号の公報は、 カラ一フ ィルタ の色素の欠落部を修正あるいは修復する技術と して、 まず色素層を含む基板の全面にフォ ト レジス 卜を塗布し、 つ いでレーザの照射によ り色素の欠落部を含む色素層の一部を フォ ト レジス トと共に除去して基板を露出させ、 ついで基板 に色素層を蒸着によって形成し、 その後残留フォ ト レジス ト を溶解除去する方法を示している。 この方法によれば、 修正 のための色素層を修正すべき元の色素層と同じ条件で蒸着形 成する こ とによって、 修正した部分の色素層の厚さを、 元の ノ、 °ターンの厚さ とほぼ同じにすることができる。
    [0009] しかし、 そう したカラーフィルタ の修正技術では、 色素の 欠落部の修正を各色ごと、 すなわち、 一色目のパターンを形 成し、 その後その一色目のパターンの修正、 ついで二色目の ノヽ。タ ーンを形成し、 その後その二色目のパターンの修正、 · · · という よう に、 修正をも色の数だけ行なわねばな らない。
    [0010] 本発明者等は、 カ ラ一フィ ルタ のよう に複数種のパタ ーン をもつものについての修正をよ り簡便に行なう方法について 種々検討した。
    [0011] その結果、 複数種のパタ ーンをすベて形成した後、 それら の各パターンについて一度に修正する方法に着目 した。 この 一度に修正する方法では、 修正すべき複数の部分、 それも場 所によっては互いに異なる種類のパタ ーン部分に、 各々部分 的に修正用材料を埋める手法を採る。
    [0012] 第 2図は、 異物などを除去し、 基板 1の一面が露出した修 正すべき部分に、 修正用材料 2を塗布した状態を示している。 修正用材料 2は、 パタ ーン 3の欠陥部分を埋める と ともに、 —部は修正用保護膜 4の内周および修正用保護膜 4の上面に も付着する。
    [0013] 修正用保護膜 4上の材料 2 aは、 保護膜 4を除去する こ と によって取 り除く こ とができるが、 保護膜 4の内周の部分の 材料 2 bは除去する こ とが困難である。 その結果、 その内周 部分の材料 2 bが、 欠陥部分を埋めた材料 2 cの周縁部分に 突起状に残り、 新たな欠陥になるおそれがある。 この点は、 修正用保護膜 4を厚く 、 具体的には 1 . 5 μ ιη以上に形成し た場合、 内周部分に残る材料 2 bの高さが高く なるので、 力 ラーフィ ルタ のよ う にノヽ。タ ーン 3の厚さ 自体がフォ トマスク の場合などに比べて厚いものではそう した問題がよ り顕著で ある。 また、 カラーフィ ルタ の場合には、 そのような突起に よ り表示品質の低下を招き、 その影響は大きい。
    [0014] 発 明 の 開 示
    [0015] この発明は、 以上の点を考慮してなされたものであ り、 修 正のためパターンの欠陥部分に部分的に埋め込んだインキ等 の修正用材料の周緣部分に突起状のものを生じにく く し、 修 正を有効に行なう ことができる技術を提供する ことを 目的と する。
    [0016] この発明では、 一部に欠陥をもつパターンを修正する方法 と して、
    [0017] ( a ) パターンを含む基板の一面を修正用保護膜で被う 第 1工程、 - ( b ) 欠陥のある部分について、 基板の一面を露出する 第 2工程、
    [0018] ( c ) 露出した基板の一面の部分を修正用材料で埋める 第 3工程、
    [0019] ( d ) 修正用保護膜を除去する第 4工程、
    [0020] を各々含み、 しかも、 修正用保護膜および修正用材料のいず れか一方が水溶性材料で、 他方が油溶性材料で形成される、 技術を採用する。
    [0021] そして、 修正用保護膜および修正用材料が、 たとえば前者 が撥油性で、 後者が油溶性と した場合、 修正用材料を塗布す ると、 その材料が保護膜の内周に付着しにく く、 したがって、 前記した突起状のものが残り にく くなる。
    [0022] この際、 修正用保護膜はできるだけ薄く形成することが望 ま しい。 たとえば、 カラ一フィノレタの修正においては、 保護 膜がパタ ーン上の全面を被うため、 その膜厚を 0 . 5〜 2 . 0 m、 特に好ま し く は 0 . 5〜 1 . 5 μ ιηの範囲とす るのが良い。 この範囲にあれば、 突起部分の高さ を 1 . 0 m以下に抑える ことが可能となる。
    [0023] 図面の簡単な説明
    [0024] 第 l a図〜第 l e図は、 この発明の一実施例を示すプロセ ス図、 そ して、
    [0025] 第 2図は、 この発明が解決する問題点を説明するための部 分的な断面図である。
    [0026] 発明を実施するための最良の形態
    [0027] 工程順に示す第 l a図〜第 l e図を参照しながら、 この発 明をよ り詳し く説明する。
    [0028] 第 1 a 図
    [0029] 修正すべき対象は、 カ ラーフィ ルタ l Oである。 カ ラーフ ィルタ 1 Oは、 透明なガラス板などからなる支持基板 1 2の 平坦な一面に、 三原色である赤（R)、 緑（G)、 青（B )の三色 の色画素 20 (勿論、 場合によって各色画素の境の部分に黒 色などの遮光パターンを含むこ ともある。 ） を有する。
    [0030] 色画素 2 0には、 三種類の欠陥が見られる。 一つは、 異物 による欠陥 30であ り、 また一つは、 混色による欠陥 40、 さ らに一つは、 白抜けの欠陥 50である。 第 1 の欠陥 30の 原因は異物 2 2であ り 、 この異物 2 2は、 カ ラ一フイ ノレタ 1 Oの製造途中で入 り込むち り、 あるいは樹脂のかけらなど で、 その大きさは数 i m〜数十 である。 これによる欠陥 3 Oがある と、 液晶表示パネルの表示品質が低下したり、 さ らに、 高さ が液晶セルのギャ ップ以上になると、 ショー トの 原因にもなる。 また、 第 2の欠陥 40は、 カラ一フ ィ ルタ の 製造のためのフォ トマ スク、 あるいは印刷版の汚れなどによ リ、 必要とする部分以外に他色が転写されて生じる欠陥であ る。 だとえば、 赤（R)の色画素 20の上に、 青（B )の色画素 2 Oがー部载つた状態である。 こう した欠陥 40が、 たとえ ば径 2 0 m以上のものになると、 目視で確認することがで き、 それが大きければ大きいほど表示品質は低下する。 さ ら に、 第 3 の白抜けの欠陥 50は、 カラーフィルタ用樹脂、 あ るいはフォ ト レジス トなどの転写不良によって生じる欠陥で あ り、 これも表示品質の低下をもたらす。
    [0031] したがって、 こう した欠陥 30， 40， 50はカラ一フィ ルタ l Oの歩留ま り を低下させる。 そこで、 歩留ま りの向上 のために、 あるいは高品質の製品を得るために、 修正の技術 が用いられる。 なお、 カラーフ ィ ルタ l Oは、 高分子物質か らなる材料を、 染料あるいは顔料で着色して作られたも ので あ り、 公知の各手法、 たとえば染色法、 印刷法、 あるいは着 色層をパタ ー ン化する方法など、 いずれの方法によって作ら れたものでも良い。
    [0032] 第 1 b 図
    [0033] 修正するに際し、 まず、 前記した各欠陥 30， 4 O , 5 O を含むカ ラー フ ィ ルタ l Oの表面を修正用保護膜 60で被う c 保護膜 S Oの材料と して、 後で述べる修正用材料（イ ンキ）に 侵されないものを用いる。
    [0034] 修正甩材料と して、 油溶性の修正用イ ン キを用いる場合は. 保護膜 6 Οには水溶性の樹脂を用いる。 たとえば、 着色ポリ イ ミ ド系の修正用イ ンキを用いる場合、 保護膜 60には、 ゼ ラチン、 カゼイ ン、 Ρ V A、 アラ ビアゴムな どが良い。 溶剤 タ イ プのフ ォ ト レジス トは不適当である。 そ して、 この保護 膜 60 を形成するための材料の中に、 撥油剤を添加する こ と も効果的である。 さ らに、 レーザ光の感度あるいは吸収性を 増すために、 場合によって染料、 あるいは化合物を添加する。
    [0035] また、 水溶性の修正用イ ンキを用いる場合には、 保護膜 6 Oには油溶性の樹脂を用いる。 たとえば、 ゼラチン系の染 色カラ一フ ィ ルタ を染料を混入したゼラチンで修正する場合、 保護膜 6 Oには、 O B C (東京応化社、 商品名） 、 あるいは S I L I T E C T ( Trylaner Technologies Inc. , 商品名；） などが良い。 油溶性の保護膜のう ち、 特に撥水性の高い材料 と して S I L I T E C Tが良い。 この場合にも、 保護膜 60 を形成する材料の中に、 撥水剤を添加する こ とも効果的であ る。
    [0036] 修正用保護膜 60は塗布によって形成する こと ができ、 塗 布方法と して、 スピンコ一ティ ング、 ロールコーティ ング、 はけ塗り、 印刷、 あるいはスプレー吹き付けなど種々の方法 を利用する こ と ができ る。 また、 保護膜 60は全面を被う よ う に しても良く 、 欠陥の周 り を部分的に被う よ う に しても良 い
    [0037] 第 1 c 図
    [0038] ついで、 修正用保護膜 60で被っ たカ ラ一フィ ルタ l Oの 上部から、 レーザ光を照射する こ と によっ て、 各欠陥 30 ， 4 O , 5 Oの部分の支持基板 1 2の表面、 つま りガラスを露 出させる。
    [0039] これに用いる レ一ザと しては、 炭酸ガスレーザ （波長
    [0040] 1 0 . 6 μ m . または、 Y A G : N d レーザの第二高調波 (波長 0 . 5 3 ii m)あるいはキセ ノ ンレ一ザなどの可視域の レ一ザ、 さ らには、 エキシマレーザなどの紫外域のレ一ザが ある。 それらの中でも、 可視域おょぴ紫外域の レ一ザが好ま しい。 炭酸ガスレ一ザの場合には、 カラーフィルタ l Oの支 持基板 1 2の表面部分でエネルギーが吸収されて熱をもち、 色画素 20および修正用保護膜 60が部分的に剥がれる。 こ れに対し、 可視域おょぴ紫外域のレーザの場合には、 各色画 素 20がレーザ光のエネルギーを吸収しやすく、 色画素 20 および保護膜 60の除去効率が良い。 したがって、 修正用保 護膜 60 と しても、 用いる レーザ光の波長部分に吸収性を有 するよう にする ことが良い。 なお、 異物 2 2による欠陥 30 の部分は、 表面が異物 2 2を中心に山状になっているので、 周辺部を含むかな り広い面積を取り除く よう にするのが好ま しい。
    [0041] なお、 レーザ光を用いる方法ほど高精度ではないが、 針な どで物理的に取り除く方法も簡便な手法と して利用するこ と ができる。
    [0042] 第 I d 図
    [0043] 支持基板 1 2の表面が露出した修正すべき部分に、 赤、 緑、 青などの修正用イ ンキを塗布し、 その部分を埋める。 このと き、 修正すべき部分はかな リ小さい面積であるので、 必然的 に修正用保護膜 6 0の上にも修正用イ ンキの層 7 0は形成さ れる。 しかし、 修正用保護膜 6 0を薄く形成した り、 あるい は修正用保護膜 6 0の材料が修正用イ ンキの層 7 0を弾く よ うな性質をもたせる こ と によって、 保護膜 6 0の内周部分の イ ンキ付着量をかな り少なくするこ と ができ る。 また、 支持 基板 1 2 と してはガラス板が一般的であるが、 レーザ光で穴 をあけた部分にただ修正用イ ンキを埋めた場合、 六の底のガ ラス面と修正用保護膜 6 0の上とで修正用ィ ンキのぬれ性が 異なるため、 修正用イ ンキが修正すべき部分に均一な厚さ に 付着しない場合もある。 そう いう場合には、 修正用イ ンキの 塗布に先立ち、 修正用イ ンキの希釈液、 あるいは、 修正用ィ ンキの樹脂分を希釈した液、 または、 支持基板 1 2 と修正用- イ ンキ と の接着性を向上させる樹脂の希釈液で前処理するよ う にする と良い。
    [0044] 修正用材料であるイ ンキ と しては、 基本的に、 修正すべき 各色画素 2 O と同材質のものを選ぶのが良い。 しかし、 材質 は必ずしも同じものに限らない。 色もできるだけ同一にする のが好ま しいが、 ほぼ同じよう にすれば問題はない。 複数個 所ある修正部分を、 たとえばブラ ック系の一色のイ ンキ、 あ るいはク ロムなどの金属で埋める ことによって、 修正工程を 簡略化するこ ともできる。
    [0045] 修正用イ ンキの埋め込み法と しては、 はけ塗り、 印刷、 ス プレー、 あるいはスピンコーティ ングなど種々の方法を用い ることができる - その中でも、 スピンコーティ ング法は、 埋 め込み部分の膜厚を色画素 2 0の厚さ と揃える こ と ができる 点で最も適している。 このスピンコーティ ング法では、 たと えば注射針などを用いて埋め込み部分に所定量の修正用イ ン キを滴下した後、 支持基板 1 2を回転させる こ と によって、 埋め込み部分の修正用インキの厚さを色画素 2 0の厚さ と揃 えるよう にする。 なお、 修正部分はごく小さい領域であるの で、 修正用イ ンキは部分的に塗布することができ、 したがつ て数色を一度に処理することもできる。 勿論、 色画素 2 0の 大きさに比べて面積が小さ く、 品質上問題とならないような 部分は、 修正を必要と しない。
    [0046] 第 1 e 図
    [0047] そして、 修正用保護膜 6 0を除去することによって、 修正 すべき部分にのみ修正用イ ンキ 7 0を残す。 保護膜 6 0を除 去する方法と しては、 溶剤あるいは水で洗い落とす方法、 あ るいは物理的な手段で表面から引き剥がす方法などを用いる ことができる。
    [0048] また、 レ一ザ光の照射によって支持基板 1 2の表面を露出 させるとき、 エッジ部分が盛り上がり、 場合によっては修正 部分のエッジの高さが液晶パネルのセルギヤ ップ、 たとえば 5 μ ιηを越えるよう になってしまう ことがある。 そのような 場合には、 エッジの高い部分に再度レーザ光を照射し、 高い 部分を取 y除く よう にするのが良い。 レ一ザ光をたとえば 2
    [0049] 〜 3 A m程度のスポッ 卜に絞り込めば、 レーザ光による除去 面積も小さ く 、 実用上何ら問題はない。
    [0050] なお、 修正用材料と して被染色性の感光性樹脂を用いる こ ともできる。 その場合、 修正すべき個所に埋め込んだ感光性 樹脂をスポッ ト露光する こ と によって、 欠陥部分にのみ感光 性樹脂を残すこ とができる。 その後、 残した感光性樹脂を染 色し、 ついで修正用保護膜を除去する こ と によっ て修正を完 了する。
    [0051] さ らに、 ポリ イ ミ'ド等の樹脂の中に染料、 顔料等の着色材 を混入 したものをパターン材料および修正用材料と して用い る場合、 修正用保護膜の材料と して、 有機 -無機系の透明コ
    [0052] —ティ ング材、 たとえば J H R (日本合成ゴム株式会社、 商 品名） を用いること ができる。 この J H Rは、 基板のガラス に対して密着性が良いのに対し、 着色ポリ イ ミ ド等に対して は密着性が悪い。 そこで、 修正用材料を埋.め込んだ後、 粘着 テープなどを用いて修正用保護膜をきれいに除去する こ とが できる。
    [0053] 以上のよう に、 この発明によれば、 修正用保護膜 6 Oおよ ぴ修正用材料 7 Oのいずれか一方が水溶性材料で、 他方が油 溶性材料で形成されているので、 修正部分に埋め込んだイ ン キ等の修正用材料の周縁部分に、 背の高い突起状のものを残 すこ と がな く修正部分の膜厚を 自由に調整してパタ ーンを有 効に修正する ことができる。 特に、 この発明は、 ノ、。ターンの 膜厚が大きいもの、 たとえば、 カラ一液晶表示パネルに用い るカラ一フィルタ に適用する こ と によって、 よ り顕著な効果 を得る こ と ができる。 そしてまた、 この発明は、 カラーフ ィ ルタ のよ う に複数種のパターンをもつものの修正に適用 した 場合、 複数種のパタ ーンを一度の修正処理によ り同時に修正 する こ と ができ る という効果をも得る。 実 施 例 1 ： 着色ポリ イ ミ ドを用いたカラーフィルタ の修正
    [0054] カラ一フィ ルタ上に、 少量のァシッ ドローダミ ン： B を溶解 させた P V A (ポリ ビニルアルコール） の 1 0 %水溶液をス ピンコーティ ングによ り塗布し、 つづいて、 それを 1 2 0 °C で 5分間べ一キングする こ と によって、 1 · 5 mの厚さの 修正用保護膜を形成した。
    [0055] この後、 欠陥のある修正部分に、 Y A G : N d レーザの第 二高調波をパルス照射し、 修正用保護膜およびカラ一フ ィ ル タ に穴をあけガラス面を露出させた。 その部分に赤用のポリ ィ ミ ド系の油溶性の修正用イ ンキを一滴たら し、 スピンコ一 ティ ングによって平滑にした。 つづいて、 1 5 0 °Cでべ一キ ングして修正用イ ンキを粳化させた後、 水洗した。 する と、 修正個所だけに平滑な赤のイ ンキ層が残り 、 他の部分は保護 膜と ともに洗い流された。 これをさ らに 2 5 0 °Cでべ一キン グする こ とに 'よって、 ポリ イ ミ ドの修正部分を完全に硬化さ せ、 修正作業を終了しすこ。
    [0056] 実 施 例 2 ： ゼラチン系の染色カラ一フイ ノレタ の
    [0057] 修正
    [0058] カ ラ一フィ ノレタ上に、 S I L I T E C Tをスプレーで塗り 付けた。 その後、 欠陥のある修正部分に、 キセ ノ ン レーザを 照射して穴をあけ、 ガラスの面を露出させた。
    [0059] その部分に、 ゼラチン水溶液に青の染料を加えた青用の修 正用イ ンキの層をスピンコーティ ングによ り形成した。 風乾 後、 S I L I T E C Tの層を粘着テープを用いてカ ラ一フ ィ ルタ の層上から剥離した。 この剥離時、 余分なイ ンキ層も一 緒に取 り 除かれた。 そ して、 1 6 0 °Cでべ一キングする こ と によって修正用イ ンキを硬化させ、 修正作業を終了 した。
    [0060] この際、 S I L I T E C Tはスプレー法で塗布 したため、 膜厚がかな り厚く なつ たが、 S I L I T E C T 自体が撥水性 を有するため、 修正パタ ーンの周緣部分での突起の問題は生 じなかっ た。
    [0061] 産業上の利用可能性
    [0062] 以上のよ う に、 この発明は、 フォ トマスクやカ ラーフィ ル タ な どにおける、 パタ ーンの修正技術と して有用であ り、 特 に、 カ ラ ー フ ィ ノレタ の よ う にパタ ーンの膜厚が比較的に厚く 、 しかも複数種のパタ ーンをもつものの修正に好適である。
    权利要求:
    Claims

    請 求 の 範 囲 . 基板の一面に形成した、 一部に欠陥をもつパターンの修 正方法であって、
    ( a ) パタ ーンを含む基板の一面を修正用保護膜で被う 第 1工程、
    ( b ) 欠陥のある部分について、 基板の一面を露出する 第 2工程、
    ( c ) 露出した基板の一面の部分を修正用材料で埋める 第 3工程、
    ( d ) 修正用保護膜を除去する第 4工程、
    を各々含み、 しかも、 修正用保護膜および修正用材料のい ずれか一方が水溶性材料で、 他方が油溶性材料で形成され ている こ と を特徴とする、 パターンの修正方法。
    . 修正用保護膜を形成する水溶性材料が撥油性を有する、 請求項 1 に記載したパターンの修正方法。
    . 修正用保護膜を形成する油溶性材料が撥水性を有する、 請求項 1 に記載したパターンの修正方法。
    . 修正用保護膜を形成する水溶性材料を撥油剤を含む材料 によって形成し、 しかも、 修正用材料と して油溶性のもの を用いる、 請求項 1 に記載したパターンの修正方法。
    . 修正用保護膜を形成する油溶性材料を撥水剤を含む材料 によって形成する、 請求項 1 に記載したパタ ーンの修正方 法。
    . 第 3工程を、 修正用材料を部分的に塗布するこ と によつ て行なう、 請求項 1 に記載したパタ ーンの修正方法。
    . 修正用材料を塗布する場合、 まず、 修正用材料を基板の 所定部分に付着させ、 ついで、 基板を回転させる こ と によ つて、 付着させた修正用材料の厚さ を制御する、 請求項 6 に記載したパタ ーンの修正方法。
    . 修正用材料を塗布する前に、 露出 した基板の一面の部分 に対し、 修正用材料と基板との接着性を増す前処理を施す、 請求項 6 に記載したパタ ーンの修正方法。
    . 修正用保護膜の膜厚が 0 . 5 〜 2 . 0 mの範囲である、 請求項 1 〜 8 のいずれかに記載したパタ 一ンの修正方法。. 第 2工程を、 修正用保護膜の上部から、 その修正用保護 膜が吸収する波長をもつ レーザ光を照射するこ と によって 行なう、 請求項 1 に記載したパタ ーンの修正方法。
    . 基板がカラ一フィ ルタ の支持基板であって、 修正すべき ノ、。ターンがカラ一フィ ルタ の色画素である、 請求項 1 に記 載したパタ 一ンの修正方法。
    . 露出した基板の一面の部分を修正用材料で埋める第 3ェ 程の時、 複数の色画素について同時に処理する、 請求項 1 1 に記載したパターンの修正方法。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
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    US5340619A|1994-08-23|Method of manufacturing a color filter array
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    CA2001910A1|1990-05-08|
    EP0396768A4|1991-07-17|
    KR0149497B1|1998-12-01|
    EP0396768A1|1990-11-14|
    DE68928200T2|1997-11-13|
    AU4349189A|1990-05-28|
    KR900702562A|1990-12-07|
    JP2794199B2|1998-09-03|
    DE68928200D1|1997-09-04|
    JPH02262603A|1990-10-25|
    EP0396768B1|1997-07-23|
    AU612286B2|1991-07-04|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1990-02-05| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1989911406 Country of ref document: EP |
    1990-05-17| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AU KR US |
    1990-05-17| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): AT BE CH DE FR GB IT LU NL SE |
    1990-11-14| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1989911406 Country of ref document: EP |
    1997-07-23| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1989911406 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP28208388||1988-11-08||
    JP63/282083||1988-11-08||DE68928200T| DE68928200T2|1988-11-08|1989-10-11|Muster-korrekturverfahren|
    KR1019900700538A| KR0149497B1|1988-11-08|1989-10-11|패턴의 수정방법|
    EP89911406A| EP0396768B1|1988-11-08|1989-10-11|Pattern correction method|
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