• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:

    公开号:WO1989000353A1
    申请号:PCT/JP1988/000673
    申请日:1988-07-06
    公开日:1989-01-12
    发明作者:Nobuaki Iehisa
    申请人:Fanuc Ltd；
    IPC主号:H01S3-00
    专利说明:
    [0001] 明 柳 書 ガス レーザ装置 技 術 分 野
    [0002] 本発明はレーザガスを循環させながらレーザ発振をおこな うガス レーザ装置に関し、 運転停止時に放電管内にレーザガ スを大気圧程度に自動的に充塡するようにしたガス レーザ装 置に関する。 背 景 技 術
    [0003] ガス循環型のレーザ装置では高速にレーザガスを循環させ るためにルーツブローヮを使用している力 このルーツブロ —ヮにはオイルが充塡されたギヤボックスがあり、 ここから のオ イ ルべーバがレーザ発振器の光学部品に付着して光学部 品の寿命を短く する。
    [0004] 従って、 ガス レーザ装置を運転中はオイ ルの満たされたギ ャボ ッ ク スを常時真空排気して、 レーザガスの循環する放電 管等にオイルが入るのを防止している。 また、 ガスレーザ装 置が運転されていない時にも、 オイルが放電管等に入るのを 防止するために、 運転停止時にはレーザガスを大気圧まで充 填していた。
    [0005] しかし、 この大気圧までレーザガスを充堪するのをォペレ 一夕がマニュアルで行っていたので、 この充塡工程を忘れた り、 大気圧まで上昇する前に電源を落としてしまい、 停止時 にレーザガスが所定の圧力まで充塡されないという問題点が あった。 発 明 の 開 示
    [0006] 本発明の目的は上記問題点を解決し、 運転停止時に放電管 内にレーザガスを大気圧程度に自動的に充塡するようにした ガスレーザ装置を提供することにある。
    [0007] 本発明では上記の問題点を解決するために、
    [0008] レーザガスを循環させながらレ一ザ発振をおこなうガス レ 一ザ装置において、
    [0009] レーザガス供給装置と、
    [0010] 該レーザガス供給装置の出口に設けられたガス供給弁と、 放電管内のレーザガスを排気する排気装置と、 該放電管内 の圧力を検出する圧力セ ンサと、
    [0011] 前記ガス レーザ装置の運転停止時に、 前記圧力セ ンサで放 電管内の圧力低下を検出して、 前記ガス供給弁を開いて、 所 定の圧力までレーザガスを前記放電管に充塡するガス圧力制 御手段と、
    [0012] を有することを特徴とするガス レーザ装置が、
    [0013] 提供される。
    [0014] 運転停止時には圧力が変化する。 この圧力変化を圧力セ ン サで検出し、 ガス圧力制櫛手段はガス供給弁を開いて、 レー ザガスをレーザガス供給装置から供給する。 放電管内の圧力 が所定の値になるまで、 圧力センサで監視しながら充旗を行 う。 これによつて、 運転停止時に自動的に放電管等にレーザ ガスが所定の圧力に充塡される 図 面 の 簡 単 な 説 明 第 1図は本発明の一実施例のプロ ック図である。 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
    [0015] 第 1図に本発明の一実施例のプロ ック図を示す。 図におい て、 1 は放電管であり、 2 は全反射鏡、 3 は出力結合鏡であ る。 4 はルーツブローヮであり、 レーザガスを循環させる。 放電管 1 には図示されていない高周波電源が印加され、 放電 管 1 内で放電を励起させて、 レーザ光を出力する。 ルーツブ ローヮ 4にはギヤボックス 4 aがあり、 このギヤボックス 4 a の内部にはギヤオイルがある。 このオイルが放電管 1側に 混入しないように、 ギヤボックス 4 a は後述の排気装置によ り排気を行い、 放電管 1側より圧力を低く している。
    [0016] 5 はレーザガス供袷装置であり、 その内部にガスボンベが ある。 6 はガス供給弁であり後述の数値制御装置 （ C N C ) によって開閉される。 7 は圧力セ ンサであり、 放電管 1 内の ガス圧力を検出する。 8 は排気弁であり、 9 は排気装置であ る。 レーザガスはレーザガス供給装置 5から供袷され、 放電 管 1 内で放電によつて劣化したレーザガスが排気装置 9 によ つて排気される。 従って、 一定時間ガス レーザ装置を運転す ると、 レーザガス供給装置 5内のガスボンベを交換する必要 がある。 1 0 はガス レーザ装置を制御する制御装置であ り 、 レーザガス制御用の数値制御装置 （ C N C) が使用される。 1 1 は圧力セ ンサ 7の出力をディ ジタルな値に変換する AZ D変換器である。
    [0017] 1 2はガス圧力制御手段であり、 運転停止時に放電管 1内 を所定の圧力にレーザガスを充瑱する。 i 3はドライバであ り、 ガス圧力制御手段の信号でガス供給弁 6を駆動する。 1 4は電源制御手段であり、 ガス圧力制御手段 1 2がガス充塡 中は電源オフ釦を押しても、 電源がォフされないように制御 する。 1 5は電源釦である。
    [0018] ガス圧力制櫛手段 1 2の制御は以下のように行われる。 ガ スレーザ装置が運転停止すると、 放電管 1内のガス圧力が下 がり、 これを圧力センサ 7で検出する。 次にガス供給弁 6を 開きレーザガス供耠装置 5からレーザガスを放電管 1に充塡 する。 この充塡時も圧力セ ンサ 7によって所定の圧力まで上 がることを確認しながら、 充塡を行う。 実際には 7 6 0 T 0 r r〜 1 0 0 0 T o r r程度まで充塡する。 あまり圧力を上 げると放電管 1等が圧力による歪を生じることがある。
    [0019] また、 レーザガスを充填中にオペレータが誤って電源オフ 釦を押しても、 電源はオフされないように電源制御手段が制 御する。 その結果誤ってレーザガスを充塡しないままにガス レーザ装置が放置されて、 ギヤボックス 4 a内のオイルが放 電管 1等に混入するのを防ぐことができる。 実際にはこれら 制御は数値制御装置 （ C N C ) 1 0に付加された （図示され ていない） P M C (プログラマブル ' マシン . コ ン ト ロー ラ） の制御によって行われる。 このようにして、 運転停止時に自動的にレーザガスを放電 管内に充塡するので、 運転停止時に放電管内部にギヤボック ス内のオイルが混入するのを防止することができる。
    [0020] 以上説明したように本発明では、 ガス レーザ装置の運転停 止時に、 圧力の低下を検出して自動的にレーザガス供給装置 からレーザガスを放電管等に充電するように構成したので、 停止時には、 放電管等がギヤボ 'ンクスより高い圧力にあり、 ギヤボックス内のオイルが放電管等に混入するのを防ぎ、 光 学部品の劣化を防止することができる。
    权利要求:
    Claims請 求 の 範 囲
    1 . レーザガスを循環させながらレーザ発振をおこなうガ ス レーザ装置において、
    レーザガス供給装置と、
    該レーザガス供給装置の出口に設けられたガス供給弁と、 放電管内のレーザガスを排気する排気装置と、
    該放電管内の圧力を検出する圧力センサと、
    前記ガス レーザ装置の運転停止時に、 前記圧力センサで放 電管内の圧力低下を検出して、 前記ガス供袷弁を開いて、 所 定の圧力までレーザガスを前記放電管に充塡するガス圧力制 御手段と、
    を有することを特徵とするガスレーザ装置。
    2 . 前記圧力制御手段がレーザガスを充塡中は電源オフ釦 を無効にする電源制御手段を有することを特徴とする特許請 求の範囲第 1項記載のガスレーザ装置。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
    CA1219904A|1987-03-31|Charger for a battery-operated surgical machine
    DE60038418T2|2009-04-23|Automatisches Fluorkonzentration-Steuersystem für Excimerlaser
    US5521392A|1996-05-28|Light cure system with closed loop control and work piece recording
    AU653676B2|1994-10-06|Rechargeable light curing apparatus
    US7719238B2|2010-05-18|System for controlling charge/discharge of secondary battery, and battery controller
    US4937422A|1990-06-26|Method of correcting laser output power
    CN100541957C|2009-09-16|监控装置、电动工具机、电源装置及所属运行方法
    US4977573A|1990-12-11|Excimer laser output control device
    JP2816813B2|1998-10-27|エキシマレーザ装置
    US5463650A|1995-10-31|Apparatus for controlling output of an excimer laser device
    CN100466877C|2009-03-04|用于高压放电灯的发光方法和装置以及高压放电灯装置
    EP0445297B1|1995-02-22|Laser machining method
    EP1249886B1|2005-06-29|Method for controlling charge to secondary battery for automated guided vehicle
    EP1059190A4|2004-06-09|Power supply system for electric vehicle
    JPH08506448A|1996-07-09|充電手順を格納するメモリ付きバッテリ
    KR860000778B1|1986-06-23|타이어 가황상태 제어방법 및 그 장치
    US4865814A|1989-09-12|Automatic sterilizer
    JPH04278605A|1992-10-05|Trouble foresetting device for machine tool
    JP2003264008A|2003-09-19|蓄電池の放電プロセスを遅くする方法および装置
    JP2596646Y2|1999-06-21|コードレス光照射器
    CH625632A5|1981-09-30|
    JPH03248941A|1991-11-06|Power feeding device for radio device on vehicle
    US5523656A|1996-06-04|High pressure discharge lamp operating circuit with light control during lamp run up
    KR20050036907A|2005-04-20|멀티 모드 통신 단말기
    US7354269B2|2008-04-08|Electro-optical device for the photo-polymerization of composite material
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    EP0324034A1|1989-07-19|
    JP2593156B2|1997-03-26|
    US4937837A|1990-06-26|
    JPS6412591A|1989-01-17|
    EP0324034A4|1989-08-09|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    JPS60214577A|1984-04-11|1985-10-26|Matsushita Electric Ind Co Ltd|Gas laser oscillator|CN103107477A|2013-01-23|2013-05-15|深圳市大族激光科技股份有限公司|抑制气体激光器的谐振腔内油污染的方法|JPS5968982A|1982-10-12|1984-04-19|Matsushita Electric Ind Co Ltd|System for controlling gas of laser oscillator|
    JPS5992586A|1982-11-18|1984-05-28|Matsushita Electric Ind Co Ltd|Gas laser device|
    US4547885A|1983-05-06|1985-10-15|Coherent, Inc.|Active pressure regulator for a gas laser|JP2706485B2|1988-10-07|1998-01-28|ファナック株式会社|レーザガス置換量制御方法|
    US5383217A|1989-05-09|1995-01-17|Nikon Corporation|Exposure apparatus with laser source requiring new gas introduction|
    JP3721337B2|2002-03-22|2005-11-30|ファナック株式会社|レーザ発振器|
    法律状态:
    1989-01-12| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): US |
    1989-01-12| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): DE FR GB |
    1989-02-22| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1988906067 Country of ref document: EP |
    1989-07-19| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1988906067 Country of ref document: EP |
    1992-09-14| WWW| Wipo information: withdrawn in national office|Ref document number: 1988906067 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    [返回顶部]