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    • 专利摘要:

    公开号:WO1989000352A1
    申请号:PCT/JP1988/000672
    申请日:1988-07-06
    公开日:1989-01-12
    发明作者:Nobuaki Iehisa
    申请人:Fanuc Ltd；
    IPC主号:H01S3-00
    专利说明:
    [0001] 明 細 書 ガス レーザ装置 技 術 分 野
    [0002] 本発明はレーザガスを循環させながらレ一ザ発振をおこな うガス レーザ装置に関し、 特にガスボンベ等の交換の際に配 管内の大気をも排気するシーケ ンスを設けたガス レーザ装置 に関する。 冃 景 技 術
    [0003] ガスレーザ装置では、 専用のレーザガスを使用し、 これを レーザガス供給装置から供給し、 放電で劣化したレーザガス を排気装置で排気している。 このために、 一定時間毎にレ一 ザガス供給装置内のガスボンベを交換する必要がある。 この とき レーザ発振器に所定量のレーザガスを充塡するために、 ガス排気装置により、 レーザ発振器内部を真空排気した後、 レーザガスを外部のレーザガス供給装置からガスを導入して いる。 このときに一般にレーザ発振器の近く に設けられた弁 が閉じられ、 次にレーザガスを導入しているときには開く シ ーケ ンスにな っている。
    [0004] しかし、 ガスボンベが空になり、 新しいガスボ ンベ と交換 すると レーザガス供給装置と レーザ発振器側の弁との間に設 けられている配管の内部に大気が流入してしまう。 このまま ではガスレーザ装置を運転すると、 大気を含んだレーザガス がレーザ発振器内部に導入されレーザ出力が低下し、 レーザ 出力が不安定になるという問題点がある。 発 明 の 開 示
    [0005] 本発明の目的は上記問題点を解決し、 ガスボンベ等の交換 の際に配管内の大気をも排気するシーケンスを設けたガスレ —ザ装置を提供することにある。
    [0006] 本発明では上記の問題点を解決するために、
    [0007] レーザガスを循環させながらレーザ発振をおこなう ガス レ 一ザ装置において、
    [0008] レーザガス供給装置と、
    [0009] 該レーザガス供給装置の出口に設けられたガス供給弁と、 放電管内のレーザガスを排気する排気装置と、
    [0010] 排気シーケ ンスを開始するシーケンス開始手段と、 前記ガス供給弁を閉じ排気を行い、 レーザ発振器内を真空 にした後に前記ガス供給弁を開き レーザガスをレーザ発振器 内に導入し、 再度前記ガス供給弁を閉じレーザ発振器内部を 真空排気を行う排気シーケンス手段と、
    [0011] を有することを特徴とするガスレーザ装置が、
    [0012] 提供される。
    [0013] ガスボンベ等が交換され、 配管内に大気が入ったときは、 まず排気を行い、 次にレーザガスを発振器内に導入する。 こ のとき、 配管内の大気が発振器内に流入する。 次にガス供給 弁を閉じ、 再度真空排気する。 これによつて、 発振器内に流 入した大気が排気される。 図 面 の 簡 単 な 説 明
    [0014] 第 1図は本発明の一実施例のプロ ック図、
    [0015] 第 2図は排気シーケ ンスのフローチヤ一ト図である。 発明を実施するための最良の形態 以下、 本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
    [0016] 第 1図に本発明の一実施例のプロ ック図を示す。 図におい て、 1 は放電管であり、 2 は全反射鏡、 3 は出力結合鏡であ る。 4 はルーツブローヮであり、 レーザガスを循環させる。 放電管 1 には図示されていない高周波電源が印加され、 放電 管 1 内で放電を励起させて、 レーザ光を出力する。 5 はレー ザガス供給装置であり、 その内部にガスボンベがある。 6 は ガス供給弁であり後述の制御装置によって開閉される。 7 は 圧力セ ンサであり、 放電管 1 内のガス圧力を検出する。 8 は 排気弁であり、 9 は排気装置である。 レーザガスはレーザガ ス供給装置 5から供給され、 放電管 1 内で放電によって劣化 したレーザガスが排気装置 9 によつて排気される。 従って、 一定時間ガス レーザ装置を運転すると、 レーザガス供給装置 5内のガスボンベを交換する必要がある。
    [0017] 1 0 はガス レーザ装置を制御する制御装置であり、 レーザ ガス制御用の数値制御装置 （ C N C ) 等が使用される。 1 1 は圧力センサ 7 の出力をディ ジタルな値に変換する A Z D変 換器である。 1 2 はガス圧力制御手段であり、 後述の排気シ 一ケ ンスを制御する。 1 3 は ドラ イ バであり、 ガス圧力制御 手段の信号でガス供給弁 6を駆動する。 1 4 は圧力設定手段 であり、 ガス圧力制御手段 1 2がどの程度の圧力低下で排気 シーケ ンスを行うか設定する。
    [0018] レーザガス供給装置 5 のガスボンベを交換する と、 放電管 1等に外部の大気が流入するので、 放電管 1 内部のレーザガ スを排気装置 9で排気する。 ガス供給装置 5内に設けられた ガスボンベ交換チェ ックスィ ッチ 5 a により、 ガスボンベの 交換を検出して、 制御装置 1 0によって排気シーケンスがス ター トする。
    [0019] 次に排気シーケンスについて述べる。 第 2図に排気シーケ ンスのフローチャー ト図を示す。 図において、 Sに続く数字 はステップ番号を示す。
    [0020] 〔 S 1 〕 ガスボンベ交換チェ ッ クスィ ツチ 5 a によってガス ボンベの交換が検出され、 シーケ ンスが開始される。
    [0021] 〔 S 2 〕 ガス供給弁 6を閉じ、 排気装置 9 によつて排気運転 力、 '亍われる。
    [0022] [ S 3 ] ガス圧力がチェ ックされ、 所定値以下になれば S 4 へい く。 所定値にならなければ、 S 2へいき排気運転が続行 される。 通常は 2 Τ 0 r r の低真空状態まで放電管 1 の内部 を排気する。
    [0023] 〔 S 4 〕 ガス供給弁 6を開き、 新しいレーザガスが放電管 1 等の発振器内に導入される。 このとき配管内の大気も同時に 発振器内に流入する。
    [0024] ( S δ ) ガス圧力が所定に上昇したか、 チ ックする。 所定 の値になれば、 S 5へいく。 所定値以下であれば、 S 4へい き、 ガスの導入を続行する。
    [0025] ( S 6 ガス供給弁 6を閉じ、 排気装置 9 で真空排気を行う ここではガス圧力のチェ ックは記載を省略してある力く、 S 3 と同様の圧力チヱ ックが行われる。 これによつて、 流入した 大気が排気される。
    [0026] 〔 S 7 〕 ガス供給弁 6を開き新しいガスを導入する。 これに よって、 流入した大気が排気され、 運転が可能になる。
    [0027] このようにして、 流入した大気を上記のシーケ ンスで排気 することができる。 上記の説明では、 ガスボンベが交換され たこ とをガスボンベ交換チヱ ックスィ ツチで判別して、 排気 シーケンスを行うように構成したが、 排気シーケ ンスは電源 投入時に強制的に行う こともできる し、 オペレータが、 操作 盤に設けられたシーケンス釦の操作によって行うようにする こ ともできる。
    [0028] 以上説明したように本発明では、 レーザガス供袷装置と放 電管の中間にガス供給弁を設けて、 ガスボンベを交換したと き等に、 配管に流入した大気を排気するような排気シ一ケ ン スを設けたので、 放電管等の発振器内に大気等が流入したま まで、 ガス レーザ装置を運転するこ とがな く、 大気の混入に よる レーザ出力の低下、 出力不安定等の不具合を防止する こ とができる。
    权利要求:
    Claims 請 求 の 範 囲
    1 . レーザガスを循環させながらレーザ発振をおこなうガ スレーザ装置において、
    レーザガス供給装置と、
    該レーザガス供給装置の出口に設けられたガス供給弁と、 放電管内のレーザガスを排気する排気装置と、
    排気シーケ ンスを開始するシーケンス開始手段と、 前記ガス供給弁を閉じ排気を行い、 レーザ発振器内を真空 にした後に前記ガス供給弁を開きレーザガスをレーザ発振器 内に導入し、 再度前記ガス供給弁を閉じレーザ発振器内部を 真空排気を行う排気シーケンス手段と、
    を有することを特徴とするガス レーザ装置。
    2 . 前記排気シーケ ンス開始手段はガスボンベ交換チュ ッ ク スィ ツ チであることを特徴とする特許請求の範囲第 1項記 載のガスレーザ装置。
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    EP0328654A4|1989-08-09|
    EP0328654A1|1989-08-23|
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    DE3884787D1|1993-11-11|
    EP0328654B1|1993-10-06|
    US4956846A|1990-09-11|
    JP2539835B2|1996-10-02|
    DE3884787T2|1994-01-27|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    1989-01-12| AK| Designated states|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): US |
    1989-01-12| AL| Designated countries for regional patents|Kind code of ref document: A1 Designated state(s): DE FR GB |
    1989-02-22| WWE| Wipo information: entry into national phase|Ref document number: 1988906066 Country of ref document: EP |
    1989-08-23| WWP| Wipo information: published in national office|Ref document number: 1988906066 Country of ref document: EP |
    1993-10-06| WWG| Wipo information: grant in national office|Ref document number: 1988906066 Country of ref document: EP |
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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