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    • 专利摘要:
    在需量測溫度的流體控制機器6與支撐構件9之間形成空間S。恆溫器單元10配置於空間S內，恆溫器11與需量測溫度的流體控制機器6抵接。恆溫器11係由被安裝於支撐構件9的安裝治具12所支撐。安裝治具12係由固定於支撐構件9的第1治具13、固定於第1治具13的第2治具14、及可移動地安裝於第2治具14並固定恆溫器11的第3治具15所構成。推壓構件介於第1治具13與第3治具15之間。
    公开号:TW201319771A
    申请号:TW101131273
    申请日:2012-08-29
    公开日:2013-05-16
    发明作者:Masaki Fujita；Izuru Shikata；Takahiro Matsuda
    申请人:Fujikin Kk；
    IPC主号:H01L21-00
    专利说明:
    流體控制裝置
    本發明係有關在半導體製造裝置等所使用之流體控制裝置，尤其是有關將複數個流體控制機器積體化所形成的流體控制裝置。
    在半導體製造裝置所使用之流體控制裝置中，藉由在基座構件上並列地設置以複數個流體控制機器成相鄰配置並安裝在支撐構件上所成的管路且以不憑藉管或接頭的方式來建構流體控制裝置的積體化正進展當中，其中亦有設置加熱手段的情形(特開2006-349075號公報)。
    在這種流體控制裝置，有的需要恆溫器。關於安裝恆溫器的例子，揭示於特開2008-64551號公報，但是尚無安裝於積體化之流體控制裝置的例子。
    依據該習知的流體控制裝置，因為複數個流體控制機器相鄰配置並被安裝於支撐構件，所以在需要設置恆溫器之流體控制機器的前後，無充分的空間，而難設置。
    本發明之目的在於提供一種易於設置恆溫器的流體控制裝置。
    本發明的流體控制裝置係將包含需量測溫度的流體控制機器在內的複數個流體控制機器配置成相鄰，並安裝於支撐構件，在需量測溫度的流體控制機器與支撐構件之間形成空間，該流體控制裝置之特徵為：恆溫器配置於該空間內，並與需量測溫度的流體控制機器抵接。
    欲將恆溫器配置於相鄰的流體控制機器之間時，因為相鄰之流體控制機器的間隔窄，所以具有難安裝及拆下，亦有依根據情況不同而無法設置的問題，藉由利用需量測溫度的流體控制機器與支撐構件之間的空間，消除這種問題。
    作為需量測溫度的流體控制機器，適合為控制熱量式流體控制器(MFC)、壓力式流體控制器(FCS)等之各種處理氣體之流量的機器，但未受此所限。宜在流體控制裝置設置使用恆溫器控制溫度的加熱手段。
    較佳為，恆溫器係由安裝於支撐構件的安裝治具所支撐，而且藉推壓構件壓在需量測溫度的流體控制機器。
    將恆溫器安裝於流體控制機器時，在更換流體控制機器時，需要拆裝恆溫器，但是藉由使恆溫器由安裝在支撐構件的安裝治具所支撐，成為可僅更換流體控制機器。雖然不直接固定於流體控制機器會有恆溫器的靈敏度降低之虞，但是藉由以推壓構件將恆溫器壓在流體控制機器，可防止恆溫器的靈敏度降低。又，藉由壓縮推壓構件，可易於進行將支撐恆溫器的安裝治具插入空間或取出的作業。
    安裝治具係由固定於支撐構件的第1治具、固定於第1治具的第2治具、及可移動地安裝於第2治具並固定恆溫器的第3治具所構成，推壓構件宜介在第1治具與第3治具之間。
    依此方式，藉由配合所使用之恆溫器來變更第3治具的形狀，可應付各種恆溫器。而且，固定於支撐構件之第1治具具有彈簧支承座功能，所以可簡化安裝治具的構成，並可易於進行將恆溫器支撐於安裝治具的作業、組立安裝治具的作業及將安裝治具安裝於支撐構件的作業。
    推壓構件係例如作成壓縮螺旋彈簧，並從下側嵌入於被設在第3治具的上壁的一個或複數個下方突出部，而被第3治具的上壁與第1治具所夾持，但是未受此所限，亦可以是除了壓縮彈簧以外的彈簧，其個數亦可適當地設定。
    恆溫器係作成大致長方形板狀，並從其一端部拉出配線，恆溫器的長度方向係面向與流體控制機器所排列之方向傾斜的方向較佳。
    依此方式，可有效地使用空間，而且易取出恆溫器的配線。亦可根據流體控制機器附近之空間的大小，使恆溫器的長度方向朝向流體控制機器所排列之方向或與其正交的方向。
    關於恆溫器，可使用其大小(長度、寬度、厚度)、安裝部(螺栓、托架等)、配線等是備有各種規格市售品。透過配合恆溫器的形狀而適當地變更第3治具的構成，且亦配合該變更適當地變更第2治具及第1治具的構成，可使用各種形狀的恆溫器。
    依據本發明的流體控制裝置，因為是利用形成在需量測溫度的流體控制機器與支撐構件之間的空間配置恆溫器，所以恆溫器容易對相鄰的流體控制機器的間隔較窄之流體控制裝置作設置。
    參照以下圖面，說明本發明之實施形態。
    第1圖及第2圖表示本發明的流體控制裝置。流體控制裝置(1)係在半導體製造裝置等中使用，並具有：配置於上段的複數個流體控制機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)；複數個塊接頭(8)，係配置於下段，並支撐複數個流體控制機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)；支撐構件(9)，係支撐複數個塊接頭(8)；恆溫器單元(10)，係安裝在複數個流體控制機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)當中的進行流體控制的流體控制機器(6)；及加熱手段(省略圖示)，係用以對複數個流體控制機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)及複數個塊接頭(8)的一部分或全部加熱。
    流體控制裝置(1)係建構成：所圖示者形成一條管路，而複數條管路彼此呈平行地配置。
    恆溫器單元(10)係恆溫器(11)被安裝治具(12)支撐，安裝治具(12)具有：第1治具(13)，係固定於支撐構件(9)；第2治具(14)，係固定於第1治具(13)；及第3治具(15)，係可移動地安裝於第2治具(14)，並固定恆溫器(11)。
    恆溫器單元(10)安裝在符號(6)表示的需量測溫度的流體控制機器。根據恆溫器(11)的溫度量測資料，控制加熱手段。需量測溫度的流體控制機器(6)係控制熱量式流體控制器(MFC)、壓力式流體控制器(FCS)等之流量的機器，設置於其左右兩側的通路塊(6a)(6b)被左右的塊接頭(8)支撐，在這些左右的塊接頭(8)之間形成有空間(S)。
    參照第3圖至第8圖，詳細說明恆溫器單元(10)。第3圖及第4圖表示恆溫器單元(10)整體，第5圖表示第1治具(13)，第6圖表示第2治具(14)，第7圖表示第3治具(15)。第8圖表示恆溫器單元(10)的組立步驟。在以下的說明，上下及左右是就第3圖而言，將第3圖的紙面表側(第4圖的下)稱為前，將第3圖的紙面背側(第4圖的上)稱為後。
    恆溫器單元(10)由恆溫器(11)與安裝治具(12)所構成，而安裝治具(12)由第1至第3治具(13)(14)(15)及一對壓縮螺旋彈簧(推壓構件)(16)所構成。
    第1治具(13)係板狀，並由大致正方形的本體部分(13a)、從本體部分(13a)延伸至後方的後方延伸部(13b)及從本體部分(13a)延伸至左後方的左後方延伸部(13c)所構成。如第4圖所示，左後方延伸部(13c)從平面觀察時，是設置成從恆溫器單元(10)的重疊部分突出，在此，設置2個螺栓插入孔(16)，俾插入用以將恆溫器單元(10)固定於支撐構件(9)的螺栓(省略圖示)。在第4圖，後方延伸部(13b)係與第2治具(14)之螺帽形成部(18a)重疊的部分，在此，設置2個螺栓插入孔(17)，俾插入用以和第2治具(14)結合的螺栓(省略圖示)。
    第2治具(14)具有下壁(18)及左右壁(19)(20)。下壁(18)係方形，在其後方部分，螺帽形成部(18a)呈突出狀設置，2個螺帽(21)呈左右排列地固定在。於下壁(18)設置可插入第3治具(15)的方形孔(22)。在左右壁(19)(20)，分別設置從下端延伸至上端附近的前後一對的導槽(23)(24)。
    第3治具(15)具有上壁(25)及前後壁(26)(27)。在上壁(25)設置設有陰螺紋(28)的右方延伸部(25a)。在上壁(25)的下面，左右排列地設置安裝壓縮螺旋彈簧(16)所使用的2個圓筒形下方突出部(29)。在前後壁(26)(27)的左右的中央部，設置有切去基部的左右兩邊緣所形成的上方突出部(30)(31)。前後壁(26)(27)的下緣部(26a)(26b)(27a)(27b)形成為比在其更上方的部分更向左右突出。
    恆溫器(11)係構成大致長方形板狀，並從其左端部拉出配線(11a)。在恆溫器(11)設置有安裝螺栓(32)的右方延伸部(11b)。第3治具(15)之設有陰螺紋(28)的右方延伸部(25a)係和該恆溫器(11)對應設置，在上壁(25)的上面載置恆溫器(11)，藉由恆溫器(11)的螺栓(32)與陰螺紋(28)螺合，而將恆溫器(11)固定於第3治具(15)。第3治具(15)之前後壁(26)(27)的上方突出部(30)(31)係限制恆溫器(11)在前後移動。
    第3治具(15)係藉由其前後壁(26)(27)的下緣部(26a)(26b)(27a)(27b)嵌入第2治具(14)之左右壁(19)(20)的導槽(23)(24)，而以在上下方向可移動的方式安裝於第2治具(14)。設置於第2治具(14)的下壁(18)的方形孔(22)係用以作成可從第2治具(14)的下側插入第3治具(15)，因導槽(23)(24)在上方未開口，而防止第2治具(14)從第3治具(15)朝上方脫離。
    各壓縮螺旋彈簧(16)係分別從下側嵌入被設置在第3治具(15)的上壁(25)的左右的圓筒形下方突出部(29)，並被第3治具(15)的上壁(25)與第1治具(13)所夾持。藉此，第3治具(15)可被2個壓縮螺旋彈簧(16)推壓至上方而可在上下方向移動，被載置於第3治具(15)的恆溫器(11)亦被推壓至上方而可在上下方向移動。
    在組立恆溫器單元(10)時，首先，如第8圖(a)所示，利用第2治具(14)之下壁(18)的方形孔(22)，以第3治具(15)之上壁(25)的右方延伸部(25a)為前端側，從第2治具(14)的下側斜插入時，如第8圖(b)所示，將第3治具(15)的前後壁(26)(27)對準於第2治具(14)之右壁(20)的導槽(24)，並將其下緣部(26b)(27b)嵌入導槽(24)內。接著，如在8圖(b)以箭號所示，將第3治具(15)整體插入第2治具(14)之下壁(18)的方形孔(22)內，並使其轉動成與第2治具(14)平行，如第8圖(c)所示，將第3治具(15)之前後壁(26)(27)之雙方的下緣部(26a)(26b)(27a)(27b)嵌入導槽(23)(24)內。然後，如第8圖(d)所示，從第2治具(14)的下側將壓縮螺旋彈簧(16)安裝於第3治具(15)的2個圓筒形下方突出部(29)。接著，如第8圖(e)所示，將第1治具(13)重疊於第2治具(14)後，將兩者固定。然後，如第8圖(f)所示，將恆溫器(11)固定於第3治具(15)。依此方式，遂組立由恆溫器(11)與安裝治具(12)所構成的恆溫器單元(10)，而該安裝治具(12)係由第1至第3治具(13)(14)(15)與一對壓縮螺旋彈簧(推壓構件)(16)所構成。
    如第1圖所示，恆溫器單元(10)係在壓縮螺旋彈簧(16)被壓縮之狀態插入流體控制機器(6)與支撐構件(9)之間的空間(S)。此時，如第2圖所示，恆溫器(11)的長度方向不是朝向流體控制機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)所排列之方向即第2圖的左右方向，而是朝向和流體控制機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)排列方向傾斜的方向。因此，即使是流體控制機器(2)(3)(4)(5)(6)(7)所排列之管路配置於第2圖近前處的情況，亦易於取出恆溫器(11)的配線(11a)。
    恆溫器單元(10)係透過將第1治具(13)固定於支撐構件(9)而安裝於流體控制裝置(1)。即，因為不直接固定於流體控制機器(6)，所以在流體控制機器(6)需要更換的情況，可在恆溫器單元(10)保持原樣之下僅更換流體控制機器(6)。恆溫器單元(10)係藉由壓縮壓縮螺旋彈簧(16)，而可易於插入已配置之流體控制機器(6)與支撐構件(9)之間的空間(S)。又，亦可作成不從流體控制裝置(1)拆下流體控制機器(6)，就可易於拆下的構造。
    雖然不直接固定於流體控制機器(6)會有恆溫器(11)的靈敏度降低之虞，但因作成壓縮螺旋彈簧(16)被壓縮之狀態，所以恆溫器(11)被該壓縮螺旋彈簧(16)的彈力推壓並被壓在流體控制機器(6)，可防止其靈敏度降低。
    1‧‧‧流體控制裝置
    2、3、4、5、6、7‧‧‧流體控制機器
    6a、6b‧‧‧通路塊
    8‧‧‧塊接頭
    9‧‧‧支撐構件
    10‧‧‧恆溫器單元
    11‧‧‧恆溫器
    11a‧‧‧配線
    11b‧‧‧右方延伸部
    12‧‧‧安裝治具
    13‧‧‧第1治具
    13a‧‧‧本體部分
    13b‧‧‧後方延伸部
    13c‧‧‧左後方延伸部
    14‧‧‧第2治具
    15‧‧‧第3治具
    16‧‧‧螺栓插入孔
    17‧‧‧螺栓插入孔
    18a‧‧‧螺帽形成部
    18‧‧‧下壁
    19、20‧‧‧左右壁
    22‧‧‧方形孔
    23、24‧‧‧導槽
    25‧‧‧上壁
    25a‧‧‧右方延伸部
    26、27‧‧‧前後壁
    28‧‧‧陰螺紋
    29‧‧‧下方突出部
    30、31‧‧‧上方突出部
    26a、26b、27a、27b‧‧‧下緣部
    28‧‧‧陰螺紋
    25a‧‧‧右方延伸部
    22‧‧‧方形孔
    23、24‧‧‧導槽
    29‧‧‧下方突出部
    32‧‧‧螺栓
    S‧‧‧空間
    第1圖係表示本發明之流體控制裝置之實施形態的正視圖。
    第2圖係表示本發明之流體控制裝置之實施形態的平面圖。
    第3圖係表示是本發明之流體控制裝置的主要部之恆溫器單元的正視圖。
    第4圖係是本發明之流體控制裝置的主要部之恆溫器單元的平面圖。
    第5圖係表示構成恆溫器單元之第1治具的立體圖。
    第6圖係表示構成恆溫器單元之第2治具的立體圖。
    第7圖係表示構成恆溫器單元之第3治具的立體圖。
    第8圖係表示組立恆溫器單元之順序的正視圖。
    1‧‧‧流體控制裝置
    2、3、4、5、6、7‧‧‧流體控制機器
    6a、6b‧‧‧通路塊
    8‧‧‧塊接頭
    9‧‧‧支撐構件
    10‧‧‧恆溫器單元
    11‧‧‧恆溫器
    12‧‧‧安裝治具
    13‧‧‧第1治具
    14‧‧‧第2治具
    15‧‧‧第3治具
    权利要求:
    Claims (7)
    [1] 一種流體控制裝置，其係包含需量測溫度的流體控制機器在內的複數個流體控制機器配置成相鄰並安裝於支撐構件，且在需量測溫度的流體控制機器與支撐構件之間形成空間的流體控制裝置，其特徵為：恆溫器配置於該空間內，並與需量測溫度的流體控制機器抵接。
    [2] 如申請專利範圍第1項之流體控制裝置，其中恆溫器係由安裝於支撐構件的安裝治具所支撐，且藉由推壓構件而被壓在需量測溫度的流體控制機器。
    [3] 如申請專利範圍第1項之流體控制裝置，其中安裝治具係由固定在支撐構件的第1治具、固定在第1治具的第2治具、及可移動地安裝於第2治具並固定恆溫器的第3治具所構成，推壓構件係介設在第1治具與第3治具之間。
    [4] 如申請專利範圍第1項之流體控制裝置，其中恆溫器係建構成大致長方形板狀，並從其一端部拉出配線，恆溫器的長度方向係朝向與流體控制機器所排列之方向傾斜的方向。
    [5] 如申請專利範圍第3項之流體控制裝置，其中第1治具係板狀，並由大致正方形的本體部分、從本體部分延伸至後方的後方延伸部及從本體部分延伸至左後方的左後方延伸部所構成，在左後方延伸部，設置至少一個螺絲插入孔，供用以將恆溫器單元固定於支撐構件的螺栓插入，在後方延伸部，設置至少一個螺栓插入孔，供用以和第2治具結合的螺栓插入。
    [6] 如申請專利範圍第3項之流體控制裝置，其中第2治具係具有下壁及左右壁，下壁係方形，在其後方部分，螺帽形成部呈突出狀地設置，至少一個螺帽固定於螺帽形成部，在下壁設置可插入第3治具的方形孔，在左右壁分別設置從下端延伸至上端附近的前後一對的導槽。
    [7] 如申請專利範圍第3項之流體控制裝置，其中第3治具係具有上壁及前後壁，在上壁設置設有陰螺紋的右方延伸部，在上壁的下面，設置用以安裝推壓構件的2個圓筒形下方突出部，在前後壁之左右的中央部設置切去基部的左右兩邊緣所形成的上方突出部，前後壁的下緣部係形成為比其上方的部分更向左右突出。
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    法律状态:
    2019-02-11| MM4A| Annulment or lapse of patent due to non-payment of fees|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    JP2011186968A|JP5890984B2|2011-08-30|2011-08-30|流体制御装置|
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