台湾专利TW201313586A 處理設備

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专利摘要:
本發明之處理設備係具有複數處理裝置及搬送管理機構，該搬送管理機構係管理沿著一行經可儲放處理對象物之儲放裝置的搬送線行走來搬送處理對象物之搬送車。搬送管理機構係監視從處理裝置對主管理機構傳送之處理進行資訊，並執行事前搬送控制，該事前搬送控制係在從主管理機構傳來搬送指示資訊之前，從複數處理裝置中，抽出處理對象物之處理已結束或即將結束之處理裝置來作為事前搬送起點，並使搬送車行走至已抽出作為事前搬送起點之處理裝置，以從該處理裝置搬出處理對象物。
公开号:TW201313586A
申请号:TW101124904
申请日:2012-07-11
公开日:2013-04-01
发明作者:Masami Suzuki
申请人:Daifuku Kk；
IPC主号:G05B19-00

专利说明:
處理設備技術領域
本發明係有關於一種處理設備，其設有：複數處理裝置，係對處理對象物進行不同程序之處理者；及，搬送車，係沿著一行經可儲放前述處理對象物之儲放裝置的搬送線行走來搬送前述處理對象物者；前述複數處理裝置分別構造成對主管理機構傳送處理進行資訊，該處理進行資訊包含要求搬入前述處理對象物之搬入要求資訊、及要求搬出前述處理對象物之搬出要求資訊，前述主管理機構係構造成當傳送前述搬入要求資訊及前述搬出要求資訊後，作成顯示前述處理對象物之搬送起點及搬送終點之搬送指示資訊，並對搬送管理機構傳送該搬送指示資訊，前述搬送管理機構係構造成根據前述搬送指示資訊來控制前述搬送車之行走。背景技術
上述處理設備係例如用以對半導體基板進行例如洗淨程序、乾燥程序、蝕刻程序等不同的複數程序處理之設備。一般而言，複數處理裝置可各自複數裝備對處理對象物進行不同程序處理之複數種處理裝置。
舉例言之，處理設備為對半導體基板進行處理之設備時，收納複數片半導體基板之半導體收納容器相當於處理對象物。即，處理半導體基板之處理裝置會從半導體收納容器依序取出半導體基板來處理，並將處理完的半導體基板依序收納於半導體收納容器。
且，該處理設備中，處理對象物係利用搬送車而依序搬送至進行不同程序處理之複數處理裝置。
換言之，處理裝置在運轉開始時或剛搬出處理對象物後而不存在處理對象物時，會將處理對象物之搬入要求資訊作為處理進行資訊而傳送至主管理機構。
主管理機構收到搬入要求資訊後，會抽出用以搬入至傳送了搬入要求資訊之處理裝置的處理對象物。該處理對象物之抽出通常是從儲放裝置所儲放之處理對象物中抽出，當抽出儲放裝置所儲放之處理對象物時，主管理機構會對儲放裝置指示符合之處理對象物的出庫。
主管理機構抽出處理對象物後，作成將收取該處理對象物之處作為搬送起點、且將傳送了處理對象物之搬入要求資訊的處理裝置作為搬送終點之搬送指示資訊，並將該搬送指示資訊傳送至搬送管理機構。
搬送管理機構收到搬送指示資訊後，控制搬送車之行走，以將搬送起點之處理對象物搬送至搬送終點之處理裝置。即，使搬送車行走至收取處理對象物之處來收取處理對象物，接著使搬送車行走至作為搬送終點之處理裝置，將處理對象物交給作為搬送終點之處理裝置。
一般而言，裝備有複數台搬送車，可選擇非作業中等的可搬送之搬送車作為用以搬送處理對象物之搬送車。
且，處理裝置一般會將對處理中之處理對象物的處理進展資訊作為處理進行資訊來傳送至主管理機構，當對處理對象物之處理結束時，將處理對象物之搬出要求資訊作為處理進行資訊傳送至主管理機構。
主管理機構收到搬出要求資訊後，作成一將傳送了搬出要求資訊之處理裝置作為搬送起點、且將應搬送來自該處理裝置之處理對象物之處作為搬送終點的搬送指示資訊，並傳送至搬送管理機構。
在設定作為應搬送來自該處理裝置之處理對象物之處的搬送終點時，主管理機構根據關於該處理對象物之複數處理程序的進行資訊，對要搬送之處理對象物確認接下來處理之程序為哪一程序，並確認複數處理裝置之現在處理狀況，此外，在確認儲放裝置之處理對象物的儲放狀況後，一面考量提高複數處理裝置之作業率等條件，一面設定適當處來作為應搬送處理對象物之處。
在實際作業中，設定為應搬送處理對象物之處的地方通常設定在儲放裝置，但有時也會將儲放裝置以外之處設定為應搬送之處。
舉例言之，在搬送指示資訊之作成中或作成前，從其他處理裝置對主管理機構傳送搬入要求資訊，且該處理裝置為進行對處理對象物接下來要進行之程序處理的處理裝置時，有時也會將該處理裝置設定為應搬送處理對象物之處。
又，作為將儲放裝置以外之處設定為應搬送處之其他例，當對應處理裝置裝備有處理對象物之暫放部時，進行接下來進行之程序處理的處理裝置，即是在現在處理中，該處理裝置之暫放部有時也會設定為應搬送處。
作成搬送指示資訊時，將其他處理裝置設定為應搬送處理對象物之處係相當於對傳送上述搬入要求資訊之處理裝置搬入處理對象物。
又，對應處理裝置裝備暫放部時，抽出要對傳送上述搬入要求資訊之處理裝置搬入之處理對象物時，若對應該處理裝置之暫放部存在處理對象物，該處理對象物會被優先抽出。
換言之，傳送搬入要求資訊之處理裝置通常如上所述會搬入儲放裝置所儲放之處理對象物，但有時也會搬入來自其他處理裝置或暫放部之處理對象物。
主管理機構設定作為應搬送處理對象物之處的搬送終點後，作成將收取該處理對象物之處理裝置作為搬送起點、且將應搬送處理對象物之處作為搬送終點的搬送指示資訊，並將該搬送指示資訊傳送至搬送管理機構。
上述處理設備中，習知搬送管理機構當從主管理機構傳來根據來自處理裝置之搬出要求資訊所作成之搬送指示資訊後，便開始搬送車之行走控制，以搬送傳送了搬出要求資訊之處理裝置的處理對象物。
換言之，習知搬送管理機構從主管理機構收到搬送指示資訊後，會開始搬送車之行走控制，使搬送車行走至要收取處理對象物之搬送起點的處理裝置，收取處理對象物，接著，使搬送車行走至應搬送處理對象物之處來交付處理對象物(參考例如專利文獻1。)。
專利文獻1之處理設備中，主電腦相當於主管理機構，儲存器相當於儲放裝置，搬送裝置相當於搬送管理機構與搬送車。又，可開始處理訊號相當於搬入要求資訊，處理結束報告訊號相當於搬出要求資訊。
專利文獻1之處理設備中，由於搬送管理機構是在從主管理機構傳來根據搬出要求資訊所作成之搬送指示資訊後，開始搬送車之行走控制，因此傳送了搬出要求資訊之處理裝置在結束處理對象物之處理後，有等待搬送車到達之時間變長之虞。
換言之，作為處理進行資訊之搬出要求資訊從處理裝置傳送至主管理機構後，主管理機構會作成將傳送搬出要求資訊之處理裝置作為搬送起點、且將應搬送來自該處理裝置之處理對象物之處作為搬送終點的搬送指示資訊，並傳送至搬送管理機構。設定作為應搬送來自處理裝置之處理對象物之處的搬送終點時，主管理機構根據關於該處理對象物之複數處理程序的進行資訊，對要搬送之處理對象物確認接下來處理之程序為哪一程序，並確認複數處理裝置之現在處理狀況，且在確認儲放裝置之處理對象物的儲放狀況後，一面考量提高複數處理裝置之作業率等條件，一面設定適當處來作為應搬送處理對象物之處。因此，根據搬送要求資訊作成搬送指示資訊時，需要相當長的時間(例如30秒~60秒)。
故，搬送車到達傳送了搬出要求資訊之處理裝置為止所需之時間，會是主管理機構作成搬送指示資訊之時間、與搬送車從現在位置行走到傳送搬出要求資訊之處理裝置之時間加起來的時間。因此，傳送了搬出要求資訊之處理裝置在結束處理對象物之處理後，有等待搬送車到達之時間變長之虞，而難以提高設備之處理作業效率。
作為解決上述處理設備之問題點的習知例，有構造成處理裝置在到達對現在處理中之處理對象物的處理即將結束之時刻時，將顯示該處理何時結束之結束預告訊號傳送至作為主管理機構之作業中電腦。該構成中，作業中電腦收到該結束預告訊號後，會作成以發送了結束預告訊號之處理裝置作為搬送起點、且以應搬送位在該處理裝置之處理對象物之處作為搬送終點的搬送指示資訊，並將該搬送指示資訊傳送至作為搬送管理機構之自動搬送車控制器(參考例如專利文獻2)。先行技術文獻專利文獻
【專利文獻1]日本特開2005-19911號公報
【專利文獻2]日本特開2000-156398號公報發明概要

上述專利文獻2之處理設備中，到達對現在處理中之處理對象物的處理即將結束之時刻時，處理裝置會將顯示該處理何時結束之結束預告訊號，傳送至作為主管理機構之作業中電腦。藉此，處理裝置中，可從對現在處理中之處理對象物的處理結束之前，使作為主管理機構之作業中電腦開始作成搬送指示資訊，而可減少傳送了結束預告訊號之處理裝置在結束處理對象物之處理後，等待作為搬送車之自動搬送車到達之時間。結果，可使處理設備之處理作業效率提高。
惟，當到達對現在處理中之處理對象物的處理即將結束之時刻時，處理裝置將顯示該處理何時結束之結束預告訊號，傳送至作為主管理機構之作業中電腦的構成，會有處理裝置之控制負擔增加的問題。
換言之，於處理裝置裝備控制器來控制為了執行處理對象物之處理所設置的機器類之作動，並以該控制器執行機器類之控制作動或與主管理機構之通訊控制。即，由於該控制器要一面管理機器類之控制作動，一面進行與主管理機構間之通訊，因此其作業負擔會增加，且若以該控制器來傳送結束預告訊號，處理裝置之控制負擔便會增加。故，裝備於處理裝置之控制器必須是具有大容量之高價控制器而相當不利，因此期望可避免增加處理裝置之控制負擔。
有鑑於上述情事，本發明之目的在於提供一種可避免增加處理裝置之控制負擔，且可提高處理作業效率之處理設備。
本發明之處理設備係設有：複數處理裝置，係對處理對象物進行不同程序之處理者；及，搬送車，係沿著一行經可儲放前述處理對象物之儲放裝置的搬送線行走來搬送前述處理對象物者；前述複數處理裝置分別構造成對主管理機構傳送處理進行資訊，該處理進行資訊包含要求搬入前述處理對象物之搬入要求資訊、及要求搬出前述處理對象物之搬出要求資訊，前述主管理機構係構造成當傳送前述搬入要求資訊及前述搬出要求資訊後，作成顯示前述處理對象物之搬送起點及搬送終點之搬送指示資訊，並對搬送管理機構傳送該搬送指示資訊，前述搬送管理機構係構造成根據前述搬送指示資訊來控制前述搬送車之行走，其第1特徵構成在於：前述搬送管理機構係構造成監視從前述處理裝置對前述主管理機構傳送之前述處理進行資訊，並執行事前搬送控制，該事前搬送控制係在從前述主管理機構傳來前述搬送指示資訊之前，在複數前述處理裝置中，抽出前述處理對象物之處理已結束或即將結束之處理裝置來作為事前搬送起點，並使前述搬送車行走至已抽出作為前述事前搬送起點之前述處理裝置。
換言之，搬送管理機構係構造成監視從處理裝置對主管理機構傳送之處理進行資訊並執行事前搬送控制，該事前搬送控制係在從主管理機構傳來搬送指示資訊之前，在複數處理裝置中，抽出處理對象物之處理已結束或即將結束之處理裝置來作為事前搬送起點，並使搬送車行走至已抽出作為事前搬送起點之處理裝置。
即，舉例言之，若作為處理進行資訊之搬出要求資訊從處理裝置傳送至主管理機構，便可將傳送該搬出要求資訊之處理裝置作為處理對象物之處理已結束之處理裝置，在從主管理機構傳來搬送指示資訊之前，抽出作為事前搬送起點之處理裝置。
又，處理裝置構造成將處理進展資訊作為處理進行資訊而傳送至主管理機構時，可根據該處理進展資訊來辨識該處理裝置之處理進展狀況，因此可將處理對象物之處理即將結束之處理裝置在從主管理機構傳來搬送指示資訊之前，抽出作為事前搬送起點之處理裝置。
且，搬送管理機構抽出作為事前搬送起點之處理裝置後，會使搬送車開始行走至抽出作為事前搬送起點之處理裝置，以從該處理裝置搬出處理對象物。
又，在搬送車到達處理裝置後，搬送管理機構根據主管理機構所作成並傳來的搬送指示資訊來設定搬送終點，並控制搬送車之行走處理，將從處理裝置收到之處理對象物搬送至搬送終點。
搬送管理機構在搬送車朝處理裝置行走之途中，接收主管理機構所作成之搬送指示資訊。或者，在接收搬送指示資訊前，當搬送車已到達處理裝置時，一面使搬送車待機，一面接收搬送指示資訊。
如此，搬送管理機構抽出作為事前搬送起點之處理裝置後，使搬送車開始行走至已抽出作為事前搬送起點之處理裝置，以從該處理裝置搬出處理對象物。故，可減少處理裝置在結束處理對象物之處理後，等待搬送車到達之時間，結果，可提高處理設備之處理作業效率。
附帶說明，作為處理進行資訊之搬出要求資訊從處理裝置傳送至主管理機構後，主管理機構會作成將傳送搬出要求資訊之處理裝置作為搬送起點、且將應搬送來自該處理裝置之處理對象物之處作為搬送終點的搬送指示資訊，並傳送至搬送管理機構。此時，由於需花費用以設定適當處來作為應搬送處理對象物之處的時間，因此根據搬送要求資訊來作成搬送指示資訊必須花費相當長的時間(例如30~60秒)。
如此，雖然主管理機構根據搬出要求資訊來作成搬送指示資訊需花費長時間，但依據上述第1特徴構成，搬送管理機構係執行事前搬送控制，在從主管理機構接收搬送指示資訊前，使搬送車朝作為搬送起點之處理裝置行走。故，可利用主管理機構作成搬送指示資訊所需之時間，使搬送車朝作為搬送起點之處理裝置行走，而可減少處理裝置在結束處理對象物之處理後，等待搬送車到達之時間。結果，可提高處理設備之處理作業效率。
又，由於處理裝置係構造成只是將處理進行資訊傳送至主管理機構，因此處理裝置之控制負擔不會因為搬送管理機構所執行之事前搬送控制而增加。
另一方面，搬送管理機構之控制負擔雖然會因為一面監視從處理裝置傳送至主管理機構之處理進行資訊一面執行事前搬送控制而增加，但搬送管理機構之控制負擔相較於必須管理大量資訊的主管理機構或處理裝置，本來負擔就較小。故，即使要使構成搬送管理機構之控制器來執行事前搬送控制，也可用容量小而低價者來解決。
因此，依據本願發明之第1特徴構成，處理裝置可提供一種可避免控制負擔增加且可謀求處理作業效率提高之處理設備。
依據本發明之處理設備之第2特徴構成，除了上述第1特徴構成外，前述搬送管理機構係構造成根據作為前述處理進行資訊之前述搬出要求資訊，抽出前述處理對象物之處理為結束狀態之處理裝置來作為前述事前搬送起點。
換言之，搬送管理機構根據從處理裝置對主管理機構傳送而作為處理進行資訊之搬出要求資訊，抽出處理對象物之處理已結束之處理裝置來作為前述事前搬送起點。
且，由於從處理裝置對主管理機構傳送而作為處理進行資訊之搬出要求資訊，為處理裝置直接要求處理對象物之搬出之資訊，因此若存在該搬出要求資訊，便可立即抽出要搬出處理對象物之處理裝置來作為事前搬送起點。故，搬送管理機構只要監視是否有搬出要求資訊即可，藉由執行事前搬送控制，可抑制搬送管理機構之控制負擔增加。
亦即，依據本發明之第2特徴構成，加上上述第1特徴構成之作用効果，可提供一種可藉由執行事前搬送控制來抑制搬送管理機構之控制負擔增加的處理設備。
本發明之處理設備之第3特徴構成係除了上述第1特徴構成外，前述複數處理裝置係構造成將前述處理對象物之處理進展資訊作為前述處理進行資訊而傳送至前述主管理機構，前述搬送管理機構係構造成根據作為前述處理進行資訊之前述處理進展資訊，抽出前述處理對象物之處理為即將結束狀態之處理裝置來作為前述事前搬送起點。
換言之，搬送管理機構根據從處理裝置對主管理機構傳送而作為處理進行資訊之處理進展資訊，抽出處理對象物之處理為即將結束狀態之處理裝置來作為事前搬送起點。
即，由於處理進展資訊為顯示處理裝置對處理對象物之處理進展狀況的資訊，因此根據其處理進展資訊，可判斷處理裝置對處理對象物之處理是否為即將結束，而可抽出即將結束之處理裝置來作為事前搬送起點。
如此，由於可抽出對處理對象物之處理為即將結束之處理裝置來作為事前搬送起點，因此可將從該即將結束之時間點到處理裝置完成處理之時間點為止的時間，加上主管理機構製作搬送指示資訊所需之時間的時間，作為用以使搬送車行走至事前搬送起點之處理裝置的時間來使用。故，可確實地減少處理裝置在結束處理對象物之處理後，等待搬送車到達之時間。
亦即，依據本發明之第3特徴構成，除了上述第1特徴構成之作用効果外，可提供一種可確實地減少處理裝置在結束處理對象物之處理後，等待搬送車到達之時間的處理設備。
本發明之處理設備之第4特徴構成係除了上述第3特徴構成外，前述搬送管理機構係構造成將前述處理對象物之處理進展狀況為較該處理之結束時間點早的預定進展狀況之處理裝置，作為前述處理對象物之處理為即將結束狀態之處理裝置，並抽出該處理裝置來作為前述事前搬運起點。圖式簡單說明
第1圖係本發明第1實施形態之處理設備的概略平面圖。
第2圖係顯示本發明第1實施形態之搬送車的正面圖。
第3圖係顯示本發明第1實施形態之控制構成的方塊圖。
第4圖係顯示本發明第1實施形態之通訊狀態的時序圖。
第5圖係顯示本發明第2實施形態之控制構成的方塊圖。用以實施發明之形態〔第1實施形態〕
根據圖式來說明本發明第1實施形態。
如第1圖及第2圖所示，行走軌2係以行經複數處理裝置1及儲放裝置Q(本例中為複數儲放裝置Q)之狀態設置於頂面側。處理設備係裝備有沿著順著該行走軌2形成之搬送線S而行走之頂面搬送式搬送車3(本例中為複數台搬送車3)，並利用搬送車3一面搬送收納容器內已收納複數片半導體基板之處理對象物4一面加以處理。
如第2圖所示，行走軌2利用懸吊支撐用拖架5以固定狀態設置於頂面部，且搬送車3在懸吊支撐於行走軌2之狀態下，沿著搬送線S行走(本例為單方向行走)。又，搬送車3在停止於對處理裝置1或儲放裝置Q之移載處的狀態下，進行處理對象物4之收取或交付。
複數處理裝置1有進行半導體基板之洗浄處理、乾燥處理、蝕刻處理等不同複數程序之處理的複數種處理裝置，在本實施形態，複數處理裝置1中存在複數進行相同程序之處理的處理裝置。
又，如第1圖及第2圖所示，複數處理裝置1分別設置有移載站1A。
該移載站1A為用以從搬送車3收取要以處理裝置1進行處理之處理對象物4、或將已經以處理裝置1進行處理之處理對象物4交到(移載到)搬送車3的載置部。雖未舉例，但處理裝置1裝備有基板移載裝置，可從移載站1A所載置之處理對象物4的收納容器取出半導體基板，將處理後之半導體基板收納於收納容器。
儲放裝置Q為用以暫時保管處理對象物4之裝置，如第1圖所示，與處理裝置1相同地，儲放裝置Q也設有移載站Qa。
舉例言之，儲放裝置Q係構造成縱橫地設置複數處理對象物4之收納部。雖未舉例，但儲放裝置Q裝備有在移載站Qa與收納部之間搬送處理對象物4之搬送機構。
如第2圖所示，搬送車3設有行走於行走軌2上之行走驅動部3A、以位於行走軌2下方之狀態懸吊支撐於行走驅動部3A的支持部3B。支持部3B設有可在懸吊狀態下把持處理對象物4之可自由升降操作之把持部6。
把持部6利用由線材或皮帶等構成之索狀體7，懸吊支撐於支持部3B，並藉由索狀體7之捲繞而上昇，索狀體7之放出而下降。又，把持部6構造成可自由切換把持作用狀態與把持解除狀態。
故，搬送車3會在停止於對處理裝置1及儲放裝置Q之移載處的狀態下，使把持部6升降，且將把持部6切換為把持作用狀態與把持解除狀態，藉此對處理裝置1之移載站1A或儲放裝置Q之移載站Qa交付處理對象物4，或從這些移載站1A、Qa收取處理對象物4。
搬送線S形成為具有環狀主路徑10、複數環狀副路徑11、及連結路徑12之狀態，該連結路徑係連結主路徑10與副路徑11，而用以進行從搬送車3之主路徑10朝副路徑11之分岐行走或從副路徑11朝主路徑10之會合行走者。
且，處理裝置1係在沿著環狀副路徑11之路徑方向排列之狀態下設置，儲放裝置Q係在位於環狀主路徑10與環狀副路徑11之連結處的狀態下設置。
故，本實施形態之處理設備中，為了對處理對象物4之半導體基板依序進行複數不同處理程序，係將處理對象物4依序搬送至進行不同程序處理的複數種處理裝置1。且，在進行處理對象物4之下一程序處理的處理裝置1正在執行對其他處理對象物4之處理時，會將處理對象物4暫時儲放在儲放裝置Q。
接著，說明用以搬送處理對象物4之控制構成。如第3圖所示，設有作為管理處理設備全體之主管理機構的上位控制器JC，及作為管理搬送車3之搬送管理機構的搬送控制器HC。
本實施形態中，搬送控制器HC構造成除了管理搬送車3外，也管理複數儲放裝置Q。
上位控制器JC、搬送控制器HC及複數處理裝置1使用通訊LAN等而連接成可相互通訊。搬送控制器HC與搬送車3構造成可藉由無線通訊相互通訊，搬送控制器HC與儲放裝置Q利用通訊纜線等而連接成可相互通訊。
複數處理裝置1裝備有控制機器類之作動、且執行與上位控制器JC間之通訊的控制器。
故，所謂處理裝置1通訊係指該控制器執行通訊控制。換言之，從處理裝置1對上位控制器JC之資訊(例如處理進行資訊)傳送，可藉由處理裝置1所控制之該控制器來執行。
又，複數儲放裝置Q裝備有控制上述搬送手段之作動，且執行與搬送控制器HC間之通訊的控制器。
故，所謂儲放裝置Q通訊係指該控制器執行通訊控制，所謂儲放裝置Q將處理對象物4入庫及出庫係指該控制器控制搬送機構之作動。
再者，複數搬送車3裝備有控制行走作動、把持部6之升降作動、及將把持部6切換為把持作用狀態與把持解除狀態之把持狀態切換作動，並執行與搬送控制器HC間之通訊的控制器。
故，所謂搬送車3通訊係指該控制器執行通訊控制，所謂搬送車3行走係指該控制器執行行走控制。再者，所謂搬送車3移載處理對象物4係指該控制器執行把持部6之升降作動、及把持部6之把持狀態切換作動。
複數處理裝置1構造成分別根據對處理對象物4之處理進展狀況，將包含要求處理對象物4搬入之搬入要求資訊及要求處理對象物4搬出之搬出要求資訊的處理進行資訊，傳送至上位控制器JC。
換言之，處理裝置1在運轉開始時或剛搬出處理對象物4後而不存在處理對象物4時，會將處理對象物4之搬入要求資訊作為處理進行資訊傳送至上位控制器JC。
又，複數處理裝置1構造成分別根據對處理對象物4之處理進展狀況，將對處理中之處理對象物4之處理的進展資訊(處理進展資訊)作為處理進行資訊，傳送至上位控制器JC。再者，複數處理裝置1構造成分別在對處理對象物4之處理結束時，將處理對象物4之搬出要求資訊作為處理進行資訊，傳送至上位控制器JC。
舉例言之，處理裝置1傳送之處理進展資訊係指已開啟處理對象物4之收納容器蓋的資訊、已開始從收納容器取出半導體基板、半導體基板之取出已結束、已將處理已結束之第一片半導體基板收納於收納容器、已將處理已結束之第n片(n為2以上之整数)半導體基板收納於收納容器、已將處理已結束之最後半導體基板收納於收納容器、已關閉收納容器蓋等資訊。
本實施形態中，將從處理裝置1之處理(全體處理)的開始時間點到該處理之完成時間點(結束時間點)為止的處理期間分為複數階段(進展階段)來管理，且對應於現在進展狀況之進展階段資訊係包含於處理進展資訊。複數進展階段可分別根據例如處理對象物4之構成或處理裝置1之處理內容等來設定。上述之例中，開啟處理對象物4之收納容器蓋的程序、開始從收納容器取出半導體基板之程序、半導體基板之取出結束之程序，將處理已結束之第一片半導體基板收納於收納容器之程序、將處理已結束之第n片半導體基板收納於收納容器之程序、將處理已結束之最後半導體基板收納於收納容器之程序、關閉收納容器蓋之程序等各程序，係在相互不同之複數(本例中為7個)進展階段中執行。
在此，將包含處理裝置1之全體處理之開始時間點的最先進展階段設定為「開始階段」，將包含處理裝置1之全體處理之完成時間點的最後進展階段設定為「完成階段」，將「開始階段」與「完成階段」間的進展階段設定為「中途階段」。上述之例中，開始階段為執行將處理對象物4之收納容器蓋開啟之程序的進展階段，完成階段為執行將收納容器蓋關閉之程序的進展階段。
上位控制器JC係管理針對處理對象物4之複數處理程序的進行資訊、複數處理裝置1之處理狀況、及儲放裝置Q之處理對象物4的儲放狀況。且，上位控制器JC係構造成在從複數處理裝置1傳來搬入要求資訊及搬出要求資訊後(即，接收搬入要求資訊及搬出要求資訊後)，根據針對處理對象物4之複數處理程序的進行資訊、複數處理裝置1之處理狀況、及儲放裝置Q之處理對象物4的儲放狀況等，作成顯示處理對象物4之搬送起點及搬送終點的搬送指示資訊，將該搬送指示資訊傳送至搬送控制器HC。
換言之，上位控制器JC收到搬入要求資訊後，抽出用以搬入傳送了搬入要求資訊之處理裝置1的處理對象物4。該處理對象物4之抽出通常是從儲放裝置Q所儲放之處理對象物4中抽出，在抽出儲放裝置Q所儲放之處理對象物4時，上位控制器JC對儲放裝置Q指示符合之處理對象物4之出庫。亦即，上位控制器JC會對儲放裝置Q傳送出庫指示資訊。
尚，本實施形態中，由於搬送控制器HC構造成管理儲放裝置Q，因此上位控制器JC對儲放裝置Q指示處理對象物4之出庫時，會對搬送控制器HC指示來自儲放裝置Q之處理對象物4之出庫。換言之，上位控制器JC會對搬送控制器HC傳送出庫指示資訊。根據該指示，搬送控制器HC對儲放裝置Q指示出庫。
上位控制器JC抽出應搬送之處理對象物4後，作成將收取該處理對象物4之處作為搬送起點、且將傳送了處理對象物4之搬入要求資訊的處理裝置1作為搬送終點的搬送指示資訊，並將該搬送指示資訊傳送至搬送控制器HC。
搬送控制器HC收到搬送指示資訊後，控制搬送車3之行走，以將搬送起點之處理對象物4搬送至搬送終點之處理裝置1。即，使搬送車3行走至收取處理對象物4之處，收取處理對象物4，接著，使搬送車3行走至作為搬送終點之處理裝置1，將處理對象物4交給作為搬送終點之處理裝置1。
一般而言，裝備有複數台搬送車3，可選擇將非作業中等的可搬送之搬送車3作為用以搬送處理對象物4之搬送車3。
上位控制器JC收到搬出要求資訊後，作成將傳送了搬出要求資訊之處理裝置1作為搬送起點、且將應搬送來自該處理裝置1之處理對象物4之處作為搬送終點的搬送指示資訊，並傳送至搬送控制器HC。
在設定作為應搬送來自處理裝置1之處理對象物4之處的搬送終點時，上位控制器JC根據針對該處理對象物4之複數處理程序之進行資訊，確認對要搬送之處理對象物4接下來處理之程序為何程序，並確認複數處理裝置1之現在處理狀況，且，確認儲放裝置Q之處理對象物4的儲放狀況後，一面考量提高複數處理裝置1之作業率等條件，一面將適當之處設定為應搬送處理對象物4之處。
在實際作業中，設定為應搬送處理對象物之處的地方通常定為儲放裝置Q，但有時也會將儲放裝置Q以外之處定為應搬送之處。
舉例言之，在搬送指示資訊之作成中或作成前，從其他處理裝置1對上位控制器JC傳送搬入要求資訊，且該處理裝置1為進行對處理對象物4接下來要進行之程序處理的處理裝置1時，有時也會將該處理裝置1定為應搬送處理對象物4之處。
且，上位控制器JC在決定應搬送處理對象物4之處時，會作成將收取該處理對象物4之處理裝置1作為搬送起點、且將應搬送處理對象物4之處作為搬送終點的搬送指示資訊，並將該搬送指示資訊傳送至搬送控制器HC。
搬送控制器HC係構造成監視從處理裝置1發送至上位控制器JC之處理進行資訊，並執行事前搬送控制。在此，「事前搬送控制」係一在從上位控制器JC送來搬送指示資訊之前，從複數處理裝置1中，抽出處理對象物4之處理已結束處理裝置1來作為事前搬送起點，並使搬送車3行走至已抽出作為事前搬送起點之處理裝置1的控制。
即，當作為處理進行資訊之搬出要求資訊從處理裝置1傳送至上位控制器JC時，搬送控制器HC會將傳送該搬出要求資訊之處理裝置1作為處理對象物4之處理已結束之處理裝置1(換言之，判定為處理對象物4之處理已結束之處理裝置1)，在從上位控制器JC傳來搬送指示資訊之前，抽出作為事前搬送起點之處理裝置1。
上位控制器JC與各處理裝置1間之通訊，係以從傳送者傳送包含傳送對象、傳送者、及傳達資訊之通訊資訊之形態來進行。搬送控制器HC構造成監視在上位控制器JC與各處理裝置1間通訊之通訊資訊，抽出傳送者為處理裝置1、傳送對象為上位控制器JC、傳達資訊為搬出要求資訊之通訊資訊，藉此抽出傳送搬出要求資訊之處理裝置1。
且，搬送控制器HC抽出作為事前搬送起點之處理裝置1後，為了從該處理裝置1搬出處理對象物4，會開始使搬送車3行走至已抽出作為事前搬送起點之處理裝置1。
關於使複數搬送車3中的其中一搬送車3行走至已抽出作為事前搬送起點之處理裝置1，可選擇複數搬送車3中，尚未分配搬送作業、且離已抽出作為事前搬送起點之處理裝置1近的搬送車3(例如最近的搬送車3)。
又，搬送控制器HC對已抽出作為事前搬送起點之處理裝置1開始搬送車3之行走後，會進行搬送車3是否已到達處理裝置1之確認、已到達處理裝置1之搬送車3是否已結束從處理裝置1收取處理對象物4之確認等。搬送車3從處理裝置1收取處理對象物4後，搬送控制器HC根據從上位控制器JC傳來的搬送指示資訊，指定搬送終點，並控制搬送車3之行走，將從處理裝置1收到之處理對象物4搬送至搬送終點。
搬送控制器HC在搬送車3朝處理裝置1行走之途中，接收以上位控制器JC作成之搬送指示資訊。或者，在接收搬送指示資訊前，在搬送車3已到達處理裝置1時，一面使搬送車3待機，一面接收搬送指示資訊。
如此，搬送控制器HC抽出作為事前搬送起點之處理裝置1後，為了從該處理裝置1搬出處理對象物4，會開始使搬送車3行走至已抽出作為事前搬送起點之處理裝置1。故，可減少處理裝置1在結束處理對象物4之處理後，等待搬送車3到達之時間，結果，可提高處理設備之處理作業效率。
接著，根據第4圖說明上位控制器JC、處理裝置1、及搬送控制器HC間之通訊流程。
而，以下說明中，僅說明通訊內容之概要，通訊內容之細節則省略。
又，上位控制器JC、處理裝置1、及搬送控制器HC間之通訊中，在收到傳送之通訊資訊後，係將顯示已接收之回覆資訊傳送至傳送者，藉此確認傳送之通訊資訊是否已適切地被接收，當未傳來回覆資訊時，雖會進行再次傳送通訊資訊，但在以下說明中，乃省略關於回覆資訊之傳送的記載。
首先，從處理裝置1將搬入要求資訊傳送至上位控制器JC後，如上所述，上位控制器JC會抽出要搬送至傳送了搬入要求資訊之處理裝置1之處理對象物4的搬送起點。
接著，作成將收取該抽出之處理對象物4之處作為搬送起點、且將傳送了處理對象物4之搬入要求資訊的處理裝置1作為搬送終點之搬送指示資訊，並將該搬送指示資訊傳送至搬送控制器HC。
搬送起點為儲放裝置Q時，如上所述，上位控制器JC會將出庫指示資訊傳送至搬送控制器HC。
當傳來搬送指示資訊時，搬送控制器HC使所選擇之搬送車3行走至搬送起點，並以搬送起點收取處理對象物4後，使搬送車3行走至搬送終點。搬送車3到達搬送終點後，將處理對象物4交給搬送終點。
接著，當處理對象物4之搬送完成時，搬送控制器HC將顯示搬送已完成之搬送完成資訊傳送至上位控制器JC。
上位控制器JC收到搬送完成資訊後，將處理開始指示資訊傳送至處理裝置1。收到處理開始資訊之處理裝置1會開始處理，接著將上述處理進展資訊傳送至上位控制器JC。
上位控制器JC根據從處理裝置1傳來的處理進展資訊，進行管理處理裝置1之處理狀況的管理處理。
處理裝置1當對現在處理中之處理對象物4之處理結束時，將作為處理進行資訊之搬出要求資訊傳送至上位控制器JC。
上位控制器JC在從處理裝置1傳來搬出要求資訊後，設定作為應搬送來自傳送搬出要求資訊之處理裝置1之處理對象物4之處的搬送終點。
接著，設定搬送終點後，上位控制器JC作成將傳送搬出要求資訊之處理裝置1作為搬送起點、且將應搬送來自該處理裝置1之處理對象物4之處作為搬送終點的搬送指示資訊，並將該搬送指示資訊傳送至搬送控制器HC。
處理裝置1將搬出要求資訊傳送至上位控制器JC後，正在監視上位控制器JC與各處理裝置1間所通訊之通訊資訊的搬送控制器HC，會抽出傳送搬出要求資訊之處理裝置1來作為事前搬送起點。
接著，搬送控制器HC抽出作為事前搬送起點之處理裝置l後，為了從該處理裝置1搬出處理對象物4，會開始使搬送車3行走至已抽出作為事前搬送起點之處理裝置1。
接著，搬送控制器HC在搬送車3到達已抽出作為事前搬送起點之處理裝置1，且搬送車3從處理裝置1收取處理對象物4後，根據從上位控制器JC傳來的搬送指示資訊，指定搬送終點，並控制搬送車3之行走，以將從處理裝置1收到之處理對象物4搬送至搬送終點。
搬送控制器HC在搬送車3朝處理裝置1行走之途中，接收以上位控制器JC作成之搬送指示資訊。或者，在接收搬送指示資訊前，當搬送車3已到達處理裝置1時，一面使搬送車3待機，一面接收搬送指示資訊。
當已搬出處理對象物4之處理裝置1將搬入要求資訊傳送至上位控制器JC，且搬送控制器HC完成處理對象物4之搬送後，將顯示搬送已完成之搬送完成資訊傳送至上位控制器JC。
如上所述，收到搬入要求資訊或搬送完成資訊之上位控制器JC會抽出要搬送至傳送了搬入要求資訊之處理裝置l之處理對象物4的搬送起點，作成將收取該抽出之處理對象物4之處作為搬送起點、且將傳送了處理對象物4之搬入要求資訊之處理裝置1作為搬送終點的搬送指示資訊，並將該搬送指示資訊傳送至搬送控制器HC。〔第2實施形態〕
接著，說明第2實施形態。該第2實施形態中，搬送控制器HC之構成與第1實施形態不同，但其他構成則與第1實施形態相同。故，以下說明中，僅針對與第1實施形態不同之部分來說明。
如第5圖所示，該第2實施形態中，搬送控制器HC係由與上位控制器JC通訊之物流控制器15、與該物流控制器15通訊且管理搬送車3之運轉的搬送控制控制器16、與物流控制器15通訊且管理儲放裝置Q之運轉的儲放控制器17構成。
物流控制器15將從上位控制器JC傳來的搬送指示資訊傳送至搬送控制控制器16，並將從上位控制器JC傳來的出庫指示資訊等關於儲放裝置Q之資訊傳送至儲放控制器17。
又，物流控制器15係監視從處理裝置1傳送至上位控制器JC之處理進行資訊，並對搬送控制控制器16指示事前行走指令，該事前行走指令係在從上位控制器JC傳來搬送指示資訊之前，在複數處理裝置1中，抽出處理對象物4之處理已結束之處理裝置1來作為事前搬送起點，並使搬送車3行走至已抽出作為事前搬送起點之處理裝置1。
搬送控制控制器16當從物流控制器15指示事前行走指令後，開始使搬送車3朝指示之處理裝置1行走。又，搬送控制控制器16當搬送指示資訊從物流控制器15傳送後，會控制搬送車3之行走，以將從根據事前行走指令而行走之處理裝置1收到的處理對象物4，搬送至搬送指示資訊所指定之搬送終點。
該第2實施形態在構成使處理裝置1、儲放裝置Q、及搬送車3之設置數量增加的大型設備時十分適合。
且，如此構成大型設備時，亦可裝備與上位控制器JC通訊、且與複數處理裝置1之各個處理裝置通訊的中繼控制器，並經由該中繼控制器來進行上位控制器JC與複數處理裝置1之各個處理裝置間的通訊。〔其他實施形態〕
接著，舉例其他實施形態。
(1)上述第1及第2實施形態中，係以根據搬出要求資訊來抽出作為事前搬送起點之處理裝置1的情形為例，但處理裝置1傳送處理進展資訊來作為處理進行資訊時，可根據該處理進展資訊來辨識該處理裝置1之處理進展狀況。故，搬送管理機構(搬送控制器HC)亦可用以下形態實施，即，根據作為處理進行資訊之處理進展資訊，在從主管理機構(上位控制器JC)傳來搬送指示資訊之前，抽出處理對象物4之處理即將結束的處理裝置1來作為事前搬送起點之處理裝置1。
換言之，上述第1及第2實施形態中，處理進展資訊係從處理裝置1傳送已開啟處理對象物4之收納容器蓋的資訊、已開始從收納容器取出半導體基板、半導體基板之取出已結束、已將處理已結束之第一片半導體基板收納於收納容器、已將處理已結束之第n片半導體基板收納於收納容器、已將處理已結束之最後半導體基板收納於收納容器、已關閉收納容器蓋等資訊。此時，可用例如以下形態實施，即，搬送管理機構預先監視已將處理已結束之最後半導體基板收納於收納容器之資訊，並檢測傳送該資訊之處理裝置1來作為處理對象物4之處理即將結束的處理裝置1(亦即判定為處理對象物4之處理即將結束的處理裝置1)，在從主管理機構傳來搬送指示資訊之前，抽出作為事前搬送起點之處理裝置1。
在此，上述第1及第2實施形態中，處理裝置1之處理期間係分為複數進展階段來管理。又，上述之例中，傳送已將處理已結束之最後半導體基板收納於收納容器之資訊的處理裝置1，會被判定為處理對象物4之處理即將結束的處理裝置1。此時，處於執行將處理已結束之最後半導體基板收納於收納容器之程序的進展階段之處理裝置1，會被判定為處理對象物4之處理即將結束的處理裝置1。且，此時，用以判斷處理對象物4之處理為即將結束之狀態的進展階段(以下稱「特定進展階段」)，係完成階段之前一個中途階段。亦即，對應於特定進展階段之進展狀況係較處理對象物4之處理完成時間點早的預定進展狀況。故，此時，搬送管理機構會將處理對象物4之處理進展狀況為較該處理之完成時間點早的預定進展狀況(以下稱「特定進展狀況」)的處理裝置1，判定為處理對象物4之處理即將結束之狀態的處理裝置1。換言之，搬送管理機構會將處理對象物4之處理進展階段為特定進展階段之處理裝置1，判定為處理對象物4之處理即將結束之狀態的處理裝置1。
而，亦可非完成階段之前一個中途階段，而是構造成將完成階段之前二個以上的中途階段設定為特定進展階段。又，特定進展階段具有某一程度之時間長度時，亦可將特定進展狀況設定為與特定進展階段之特定時間點(例如特定進展階段之開始時間點或結束時間點)對應之進展狀況。此時，可將完成階段設定為特定進展階段，並例如將與完成階段之開始時間點對應之進展狀況設定為特定進展狀況。
(2)上述第1及第2實施形態中，雖舉例沿著設置於頂面側之行走軌2行走之懸吊式搬送車3，但搬送車3亦可應用行走於地面之地面行走式台車等各種形態之搬送車。
(3)上述第1及第2實施形態中，雖舉例搬送線S由環狀主路徑10、複數環狀副路徑11、連結主路徑10與副路徑11之複數連結路徑12構成之情形，但搬送線S之具體構成可進行各種變更。
(4)上述第1及第2實施形態中，雖舉例將收納半導體基板之收納容器作為處理對象物4來搬送之情形，但處理對象物4並未限定於收納半導體基板之收納容器，本發明可應用於將各種處理物作為處理對象物來搬送。
(5)上述第1及第2實施形態中雖未舉例，但亦可用對應於處理裝置1來裝備處理對象物4之暫放部的形態而實施。此時，在根據搬出要求資訊來設定處理對象物4之搬送終點時，進行接下來要進行之程序的處理之處理裝置1，即使在現在處理中，亦可將該處理裝置1之暫放部定為應搬送之處。
此時，當裝備暫放部之處理裝置1已傳送搬入要求資訊時，若對應於該處理裝置1之暫放部存在處理對象物4，可將該處理對象物4優先抽出作為搬送起點之處理對象物。產業上之利用可能性
本發明可妥善利用於設有沿著行經複數處理裝置及儲放處理對象物之儲放裝置的搬送線行走而搬送處理對象物之搬送車的處理設備。
1‧‧‧處理裝置
2‧‧‧行走軌
3‧‧‧搬送車
3A‧‧‧行走驅動部
3B‧‧‧支持部
4‧‧‧處理對象物
6‧‧‧把持部
7‧‧‧索狀體
10‧‧‧主路徑
11‧‧‧副路徑
12‧‧‧連結路徑
15‧‧‧物流控制器
16‧‧‧搬送控制控制器
17‧‧‧儲放控制器
HC‧‧‧搬送控制器(搬送管理機構)
JC‧‧‧上位控制器(主管理機構)
Q‧‧‧儲放裝置
S‧‧‧搬送線
1A、Qa‧‧‧移載站
第1圖係本發明第1實施形態之處理設備的概略平面圖。
第2圖係顯示本發明第1實施形態之搬送車的正面圖。
第3圖係顯示本發明第1實施形態之控制構成的方塊圖。
第4圖係顯示本發明第1實施形態之通訊狀態的時序圖。
第5圖係顯示本發明第2實施形態之控制構成的方塊圖。
1‧‧‧處理裝置
3‧‧‧搬送車
Q‧‧‧儲放裝置
JC‧‧‧上位控制器
HC‧‧‧搬送控制器

权利要求:
Claims (4)
[1] 一種處理設備，係設有：複數處理裝置，係對處理對象物進行不同程序之處理者；及搬送車，係沿著一行經可儲放前述處理對象物之儲放裝置的搬送線行走來搬送前述處理對象物者；前述複數處理裝置分別構造成對主管理機構傳送處理進行資訊，該處理進行資訊包含要求搬入前述處理對象物之搬入要求資訊、及要求搬出前述處理對象物之搬出要求資訊，前述主管理機構係構造成當傳送前述搬入要求資訊及前述搬出要求資訊後，作成顯示前述處理對象物之搬送起點及搬送終點之搬送指示資訊，並對搬送管理機構傳送該搬送指示資訊，前述搬送管理機構係構造成根據前述搬送指示資訊來控制前述搬送車之行走，前述搬送管理機構係構造成監視從前述處理裝置對前述主管理機構傳送之前述處理進行資訊，並執行事前搬送控制，該事前搬送控制係在從前述主管理機構傳來前述搬送指示資訊之前，在複數前述處理裝置中，抽出前述處理對象物之處理已結束或即將結束之處理裝置來作為事前搬送起點，並使前述搬送車行走至已抽出作為前述事前搬送起點之前述處理裝置。
[2] 如申請專利範圍第1項之處理設備，其中前述搬送管理機構係構造成根據作為前述處理進行資訊之前述搬出要求資訊，抽出前述處理對象物之處理為結束狀態之處理裝置來作為前述事前搬送起點。
[3] 如申請專利範圍第1項之處理設備，其中前述複數處理裝置係構造成將前述處理對象物之處理進展資訊作為前述處理進行資訊而傳送至前述主管理機構，前述搬送管理機構係構造成根據作為前述處理進行資訊之前述處理進展資訊，抽出前述處理對象物之處理為即將結束狀態之處理裝置來作為前述事前搬送起點。
[4] 如申請專利範圍第3項之處理設備，其中前述搬送管理機構係構造成將前述處理對象物之處理進展狀況為較該處理之結束時間點早的預定進展狀況之處理裝置，作為前述處理對象物之處理為即將結束狀態之處理裝置，並抽出該處理裝置來作為前述事前搬運起點。

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