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    一種基板處理系統之控制裝置，該基板處理系統具備有：基板處理裝置，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠、以及搬送上述收納器而對上述實體裝載埠進行搬送動作之載具搬送系統；上述基板處理系統之控制裝置包含以下構件：虛擬裝載埠控制裝置，其對上述實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對該虛擬裝載埠進行搬送動作。
    公开号:TW201312684A
    申请号:TW101123998
    申请日:2012-07-04
    公开日:2013-03-16
    发明作者:Hideki Shibata
    申请人:Dainippon Screen Mfg；
    IPC主号:H01L21-00
    专利说明:
    控制裝置、基板處理方法、基板處理系統、基板處理系統之運用方法、裝載埠控制裝置及具備其之基板處理系統
    本發明係有關一種進行於與基板處理裝置內部之間，連同收納器一起轉送半導體晶圓、液晶顯示器用基板、電漿顯示器用基板、有機EL(電致發光；electroluminescence)用基板、FED(場發射顯示器；Field Emission Display)用基板、光顯示器用基板、磁碟用基板、光磁碟用基板、光罩用基板、太陽能電池用基板(以下簡稱為基板)之控制、或於與載具搬送系統間轉送收納器之控制之控制裝置、基板處理方法、基板處理系統、基板處理系統之運用方法、裝載埠控制裝置及具備其之基板處理系統。
    習知，作為此一種類之基板處理系統可列舉具備：具備基板處理單元、收納器收納/搬送單元、裝載埠及裝載埠控制裝置之基板處理裝置；根據主機電腦之指示搬送收納器之載具搬送系統；以及進行整體控制之主機電腦者。
    基板處理單元係對基板進行各種處理。收納器收納/搬送單元並排設置於基板處理單元，用以收容或搬送收容有基板之FOUP(前開式晶圓傳送盒；Front Opening Unified Pod)。裝載埠並排設置於收納器收納/搬送單元，用以載置FOUP。裝載埠控制裝置係控制於與收納器收納/搬送單元之間、或於與載具搬送系統之間，FOUP之轉送。載具搬送系統(Antomated Material Handling System)係無人搬送車(AGV：Automatic Guided Vehicles)、高架移行式無人搬送車(Overhead Hoist Transfer)，於與裝載埠之間進行FOUP之轉送。主機電腦係進行與裝載埠控制裝置或載具搬送系統間之通信，從而進行有關收納器搬送之控制。
    雖然一台基板處理裝置通常具備有複數個裝載埠，但若基板處理單元之處理效率變高，所搬送收納器之個數就會增加，若不縮短載具搬送系統搬送收納器之間隔，就無法完全發揮基板處理單元之效率。然而，於此一種類之載具搬送系統中，一般的規格(specification)係載具搬送系統中的複數個搬送車不會同時對一個裝載埠進行搬入動作，而是只有一台搬送車對一個裝載埠進行搬入動作。而且，一台搬送車將收納器搬入該裝載埠所需的時間會根據載具搬送系統之配置而受到限制，而無法縮短一定以上的時間。因此，載具搬送系統之搬送就會延遲而發生處理效率降低的問題。
    於是，提案有沿高度方向增加此一裝載埠之個數，進一步將載具搬送系統之移行軌道增加為兩個來對應之第1裝置(例如，參照專利文獻1)。又，提案有於裝載埠附近設置可使收納器暫時退避之場所的可動緩衝器，而使裝載埠可在短時間開放之第2裝置(例如，參照日本專利特開2010-192855號公報)。
    然而，於具有此一構成之習知例之情況下，存在有以下問題。
    亦即，習知之第1裝置存在有必須增加裝載埠，並且必須增加載具搬送系統之移行軌道，而導致裝置成本變高之問題。
    又，習知之第2裝置存在有必須於裝載埠附近設置特殊之可動緩衝器，從而使裝置成本變高之問題。
    本發明係有鑑於此一情事而完成者，其目的在於提供不會增加裝載埠等之機械構件或複雜化，可一方面抑制裝置成本，並可提高收納器之搬送效率之控制裝置、基板處理方法、基板處理系統、基板處理系統之運用方法、裝載埠控制裝置及具備其之基板處理系統。
    本發明為達成此一目的，而採用以下構造。
    本發明係一種基板處理系統之控制裝置，該基板處理系統具備有：基板處理裝置，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠、以及搬送上述收納器而對上述實體裝載埠進行搬送動作之載具搬送系統；上述基板處理系統之控制裝置包含以下構件：虛擬裝載埠控制裝置，其對上述實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對該虛擬裝載埠進行搬送動作。
    又，本發明係一種基板處理系統之基板處理方法，該基板處理系統具備有：基板處理裝置，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠、以及搬送上述收納器而對上述實體裝載埠進行搬送動作之載具搬送系統；上述基板處理系統之基板處理方法包含以下步驟：對上述實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對該虛擬裝載埠進行搬送動作之步驟。
    又，本發明其係一種基板處理系統，其具備有：基板處理裝置，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠、以及搬送上述收納器而對上述實體裝載埠進行搬送動作之載具搬送系統，上述基板處理系統之控制裝置包含以下構件：虛擬裝載埠控制裝置，其對上述實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對該虛擬裝載埠進行搬送動作。
    根據上述各發明，虛擬裝載埠控制裝置係對實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對上述虛擬裝載埠進行搬送動作。因此，可如同實體裝載埠存在實體裝載埠之實際個數以上般，使載具搬送系統進行搬送動作，其結果，可實現不會增加基板處理裝置之機械構件，可一方面抑制裝置成本，並可提高收納器之搬送效率之控制裝置、基板處理方法及基板處理系統。
    又，本發明係一種基板處理系統之運用方法，該基板處理系統具備有：基板處理裝置，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠、以及控制該實體裝載埠之動作之實體裝載埠控制裝置；以及搬送上述收納器而對上述實體裝載埠進行搬送動作之載具搬送系統；上述基板處理系統之運用方法包含以下步驟：使虛擬裝載埠控制裝置介存於上述實體裝載埠控制裝置、與上述載具搬送系統之間之步驟，該虛擬裝載埠控制裝置係對上述實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對該虛擬裝載埠進行搬送動作。
    根據本發明，藉由將虛擬裝載埠介插在一般基板處理裝置之實體裝載埠控制裝置與載具搬送系統之間，可對實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將該虛擬裝載埠當作實際存在者而指示載具搬送系統對該虛擬裝載埠進行搬送動作。因此，即使對一般基板處理裝置或既有的基板處理裝置，仍可如同實體裝載埠存在實體裝載埠之實際個數以上般，使載具搬送系統進行搬送動作。其結果，即使對一般基板處理裝置或既有的基板處理裝置，仍可容易提高收納器之搬送效率。
    又，本發明係一種裝載埠控制裝置，其控制基板處理系統之上述裝載埠，該基板處理系統具備有：基板處理裝置，其具備：基板處理單元，其對基板進行既定之處理；裝載埠，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠，於與上述基板處理單元之間轉送收納器；以及內部緩衝器，其介存於上述基板處理單元與上述裝載埠之間，於與上述基板處理單元之間轉送基板，於與上述裝載埠之間轉送收納器，並且收容所轉送之收納器；載具搬送系統，其係於上述裝載埠之間轉送收納器；以及主機電腦，其係於上述基板處理裝置與上述載具搬送系統之間進行通信，根據上述基板處理裝置之狀況，指示由上述載具搬送系統所進行收納器之搬送，上述裝載埠控制裝置包含以下構件：虛擬裝載埠管理部，其對上述實體裝載埠分配複數個虛擬裝載埠，並且對上述載具搬送系統、及上述主機電腦，將上述複數個虛擬裝載埠當作複數個實體裝載埠加以操作。
    根據本發明，虛擬裝載埠管理部係對實體裝載埠分配複數個虛擬裝載埠。而且，虛擬裝載埠管理部係對載具搬送系統、及主機電腦，將複數個虛擬裝載埠當作複數個實體裝載埠加以操作。因此，可如同裝載埠存在實體裝載埠之實際個數以上般，進行收納器之搬送，而可達到看似使裝載埠個數增加的效果。其結果，可實現不會增加基板處理裝置之機械構件，可一方面抑制裝置成本，並可提高收納器之搬送效率之裝載埠控制裝置。
    又，於本發明中，較佳為上述虛擬裝載埠管理部具備規定上述複數個虛擬裝載埠、與上述實體裝載埠間之對應關係之對照表，在將上述複數個虛擬裝載埠設定為搬入用之情況下：(A1)上述虛擬裝載埠管理部係通知上述主機電腦各個上述複數個虛擬裝載埠是否為可搬入；(A2)上述主機電腦對上述載具搬送系統進行用以將收納器搬入上述複數個虛擬裝載埠中之任一者之指示；(A3)上述載具搬送系統為了將收納器搬送至被指示之一個虛擬裝載埠，而在保持收納器之狀態下移動至上述基板處理裝置；(A4)上述載具搬送系統為了開始將收納器搬入上述一個虛擬裝載埠，而通知上述虛擬裝載埠管理部將收納器搬入上述一個虛擬裝載埠；(A5)上述虛擬裝載埠管理部係根據上述對照表，使上述一個虛擬裝載埠對應於一個實體裝載埠；(A6)上述虛擬裝載埠管理部係通知上述主機電腦開始將收納器搬入上述一個虛擬裝載埠；(A7)上述虛擬裝載埠管理部受理對上述一個虛擬裝載埠之搬入，對上述載具搬送系統進行搬入要求；(A8)上述載具搬送系統係將收納器搬送至被分配給上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠；(A9)上述基板處理裝置係將搬入上述一個虛擬裝載埠之收納器搬送至上述內部緩衝器，(A10)上述虛擬裝載埠管理部係於上述搬入過程中，在將搬入上述一個虛擬裝載埠之狀況通知上述主機電腦時，為了使上述載具搬送系統搬送被指示之一個收納器，將自上述載具搬送系統開始朝上述基板處理裝置移動之時間點，至被指示之一個收納器載置在對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠前為止，被分配給對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬入通知上述主機電腦，將在收納器自對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠開始朝上述內部緩衝器搬送之時間點，被分配給對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬入通知上述主機電腦。
    於搬入時，虛擬裝載埠管理部係通知主機電腦搬入一個虛擬裝載埠之狀況。此時，為了使載具搬送系統搬送一個收容器，虛擬裝載埠管理部係將自載具搬送系統開始朝基板處理裝置移動之時間點，至一個收納器載置在對應於一個虛擬裝載埠之實體裝載埠為止，被分配給對應於該一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬入通知主機電腦。又，將在收納器自對應於一個虛擬裝載埠之實體裝載埠開始朝內部緩衝器搬送之時間點，被分配給對應於一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬入通知主機電腦。因此，即使於習知搬入時被佔用之期間內，主機電腦仍可進行搬入之指示。因此，可有效率地進行搬入處理。
    又，於本發明中，較佳為上述虛擬裝載埠管理部具備規定上述複數個虛擬裝載埠、與上述實體裝載埠間之對應關係之對照表，在將上述複數個虛擬裝載埠設定為搬出用之情況下：(B1)上述主機電腦指示上述基板處理裝置，對複數個虛擬裝載埠中之任一者送出所指示之收納器；(B2)若成為可將被指示之收納器送出至上述一個虛擬裝載埠時，上述基板處理裝置就會通知上述主機電腦可搬出；(B3)上述主機電腦對上述載具搬送系統進行用以進行搬送被指示之收納器之指示；(B4)上述載具搬送系統係移動至具有被指示之收納器之上述基板處理裝置；(B5)上述載具搬送系統為了自上述一個虛擬裝載埠搬出被指示之收納器，而指示上述虛擬裝載埠管理部將收納器送出至上述一個虛擬裝載埠；(B6)上述虛擬裝載埠管理部係根據上述對照表，使上述一個虛擬裝載埠對應於一個實體裝載埠；(B7)上述基板處理裝置係將被指示之收納器開始送出至上述一個虛擬裝載埠通知上述主機電腦；(B8)上述基板處理裝置係將被指示之收納器送出至被分配給上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠；(B9)上述基板處理裝置對上述載具搬送系統通知搬出要求，(B10)上述載具搬送系統係自上述一個虛擬裝載埠搬出上述收納器；(B11)上述虛擬裝載埠管理部係於上述搬出過程中，在將自上述一個虛擬裝載埠搬出之狀況通知上述主機電腦時，將除了被指示之收納器自上述內部緩衝器送出至對應於上述一個虛擬裝載埠之上述實體裝載埠之時間點起，至上述收納器由上述載具搬送系統自上述實體裝載埠開始搬出之時間點為止的期間，被分配給對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬出通知上述主機電腦。
    於搬出時，虛擬裝載埠管理部係通知上述主機電腦自一個虛擬裝載埠搬出之狀況。此時，虛擬裝載埠管理部係將除了被指示之收納器自內部緩衝器送出至對應於一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之時間點起，至收納器由載具搬送系統自實體裝載埠開始搬出之時間點為止的期間，被分配給對應於該一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬出通知主機電腦。因此，即使於習知搬出時被佔用之期間內，主機電腦仍可進行搬出之指示。因此，可有效率地進行搬出處理。
    又，於本發明中，較佳為上述虛擬裝載埠管理部係將上述複數個虛擬裝載埠設定為僅供搬入用，較佳為上述虛擬裝載埠管理部係將上述複數個虛擬裝載埠設定為僅供搬出用，較佳為上述虛擬裝載埠管理部係將上述複數個虛擬裝載埠設定為搬入用或搬出用。
    虛擬裝載埠管理部係藉由將複數個虛擬裝載埠設定為僅供搬入用、僅供搬出用、或將其等混合，而可進行彈性運用。
    又，本發明係一種基板處理系統，其用以處理基板，上述基板處理系統包含以下構件：基板處理裝置，其具備：基板處理單元，其對基板進行既定之處理；裝載埠，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠，於與上述基板處理單元之間轉送收納器；以及內部緩衝器，其介存於上述基板處理單元與上述裝載埠之間，於與上述基板處理單元之間轉送基板，於與上述裝載埠之間轉送收納器，並且收容所轉送之收納器；載具搬送系統，其係於與上述裝載埠之間轉送收納器；主機電腦，其係於上述基板處理裝置與上述實體裝載埠載具搬送系統之間進行通信，根據上述基板處理裝置之狀況，指示由上述載具搬送系統所進行收納器之搬送；以及裝載埠控制裝置，其具備虛擬裝載埠管理部，其對上述實體裝載埠分配複數個虛擬裝載埠，並且對上述載具搬送系統、及上述主機電腦，將上述複數個虛擬裝載埠當作複數個實體裝載埠加以操作。
    根據本發明，裝載埠控制裝置之虛擬裝載埠管理部係對實體裝載埠分配複數個虛擬裝載埠。而且，虛擬裝載埠管理部係對載具搬送系統、及主機電腦，將複數個虛擬裝載埠當作複數個實體裝載埠加以操作。因此，可如同裝載埠存在實體裝載埠之實際個數以上般，進行收納器之搬送，而可達到看似使裝載埠之個數增加的效果。其結果，可實現一方面抑制裝置成本，並可提高收納器之搬送效率之基板處理系統。
    雖然為了說明發明而圖示目前認為較佳之幾個形態，惟須知，本發明並不限於所圖示之構造及方法。
    以下參照圖式說明本發明之一實施例。
    圖1係表示實施例之基板處理系統之概要的俯視圖，圖2係表示實施例之基板處理系統之概略構成的方塊圖。
    實施例之基板處理系統1具備連同FOUP 3一起搬入基板W，對基板W進行處理，連同FOUP 3一起搬出完成處理之基板W的功能。FOUP 3係前開式晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod)的簡稱，其係以密閉於潔淨環境之狀態收納基板之傳送盒。
    此基板處理系統1具備基板處理裝置5、載具搬送系統7及主機電腦9。基板處理裝置5一般具有複數台，於圖1中舉一例表示二台基板處理裝置5。
    基板處理裝置5具備基板處理單元11、裝載埠13及內部緩衝器15。此基板處理單元11對自FOUP 3取出之基板W進行既定之處理。既定之處理例如包含洗淨處理、蝕刻處理、光阻劑去除處理等。裝載埠13係用來於基板處理裝置5與載具搬送系統7之間轉送FOUP 3的構件。於此例中，裝載埠13具備二台實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2。內部緩衝器15係配置於基板處理單元11與裝載埠13之間，於與裝載埠13之間轉送FOUP 3，並且於與基板處理單元11間進行自FOUP 3所取出基板W的轉送。又，內部緩衝器15具備自裝載埠13搬入FOUP 3，而在基板處理單元11處於無法接收基板W之狀態的情形下，暫時收容FOUP 3，或在裝載埠13處於無法搬出FOUP 3之狀態的情形下，暫時收容FOUP 3的緩衝功能。
    再者，上述FOUP 3相當於本發明中的「收納器」。
    載具搬送系統7係於收納複數個FOUP 3而保管之保管庫(未圖示)之間，或其他基板處理裝置之間搬送FOUP 3者。作為載具搬送系統7可列舉例如，AGV(Automatic Guided Vehicle)、OHT(Overhead Hoist Transport)等之AMHS(Automated Material Handling Systems)。於此實施例中，舉一例子來說，採用於二台基板處理裝置5之周邊，使複數台OHT 17環繞移動之構造。
    主機電腦9係於上述基板處理裝置5與載具搬送系統7之間進行通信。主機電腦9係根據基板處理裝置5之狀況，指示由載具搬送系統7所進行FOUP 3之搬送。此處的所謂「搬送」係表示用來將FOUP 3搬運入基板處理裝置5之搬送即「搬入」，以及用來從基板處理裝置5搬運出FOUP 3之搬送即「搬出」。
    如圖2所示，基板處理裝置5具備構成裝載埠控制裝置20之對主機控制部21、裝載埠管理部23及對載具搬送系統控制部25。構成此裝載埠控制裝置20之此等對主機控制部21、裝載埠管理部23及對載具搬送系統控制部25具有與一般基板處理裝置所包含者相同之功能。亦即，於一般基板處理裝置中，裝載埠管理部23係連接於設在基板處理裝置5之裝載埠13之實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2及內部緩衝器15，與其等通信從而認識其等之狀態，用以進行控制其等之動作等之管理。又，於一般基板處理裝置中，對主機控制部21係連接於主機電腦9，參照裝載埠管理部23所認識之實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2之狀態，對主機電腦9進行FOUP 3之搬入要求等之通信。又，於一般基板處理裝置中，對載具搬送系統控制部25係連接於載具搬送系統7，參照裝載埠管理部23所認識之實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2之狀態等，進行有關與載具搬送系統7間之FOUP 3之搬入動作控制之通信(後述之CS信號等)。
    而且，於本實施形態中，與上述一般基板處理裝置不同，虛擬裝載埠控制裝置19係介插連接於此等對主機控制部21與主機電腦9之間，以及對載具搬送系統控制部25與載具搬送系統7之間。亦即，本實施形態之基板處理系統1係以後裝之方式將虛擬裝載埠控制裝置19介插於一般基板處理裝置與主機電腦9及載具搬送系統7之間而構成者。在此，將以後裝之方式所連接之虛擬裝載埠控制裝置19設定為亦包含於基板處理裝置5中。
    裝載埠控制裝置19係分別對二個實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2分配複數個虛擬裝載埠。而且，對載具搬送系統7及主機電腦9係將複數個虛擬裝載埠當作複數個實體裝載埠來操作。換言之，虛擬裝載埠控制裝置19係以對載具搬送系統7及主機電腦9當成存在有較實際存在之二個實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2更多之實體裝載埠之方式進行信號處理及通信。
    又，相對於基板處理裝置5之對主機控制部21及對載具搬送系統控制部25，將對於以如同具有較實際存在更多之實體裝載埠之方式運作之主機電腦5及載具搬送系統7之動作之對應，分配給實際存在之二個實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2。具體而言，虛擬裝載埠控制裝置19具備對主機控制部27、虛擬裝載埠管理部29及對載具搬送系統控制部31。虛擬裝載埠管理部29具備對照表記憶部33。對照表記憶部33係預先記憶規定實體裝載埠與虛擬裝載埠之對應關係之「對照表」。此對照表由操作人員透過設定部35適當地設定。
    對主機控制部27係接受有關來自裝載埠管理部23之實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2之通知，參照虛擬裝載埠管理部29之資訊，轉換成有關分配給該實體裝載埠之虛擬裝載埠之通知，發送至主機電腦9。
    對載具搬送系統控制部31係接受有關來自載具搬送系統7之虛擬裝載埠V-LP1~V-LP4之通知，參照虛擬裝載埠管理部29之資訊，轉換成有關分配有該虛擬裝載埠之實體裝載埠之通知，發送至對載具搬送系統25，或者相反地接受有關來自對載具搬送系統25之實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2之通知，參照虛擬裝載埠管理部29之資訊，轉換成有關分配給該實體裝載埠之虛擬裝載埠之通知，發送至載具搬送系統7。 <A：搬入處理>
    其次，參照圖3~圖13、及圖26，對藉由上述基板處理系統1「搬入」FOUP 3之流程加以說明。
    再者，圖3係表示搬入處理時之順序的時序圖。又，圖4~圖13係表示搬入處理時之過程之示意圖。圖4係表示對主機電腦之通知的圖，圖5係表示主機電腦之搬送指示的圖，圖6係表示載具搬送系統之移動的圖，圖7係表示藉由載具搬送系統開始搬入的圖，圖8係表示裝載埠之對應的圖，圖9係表示虛擬裝載埠之狀態變化報告的圖，圖10係表示搬入受理的圖，圖11係表示載具搬送系統之移動的圖，圖12係表示FOUP朝內部緩衝器之移動的圖，圖13係表示搬入狀況之報告的圖，圖26係表示在搬入處理時各部之間之信號等之交換的示意圖。
    在以下說明中，如圖4所示，實體裝載埠R-LP 1係設定為對應於二個虛擬裝載埠V-LP 1、2，實體裝載埠R-LP 2係設定為對應於二個虛擬裝載埠V-LP 3、4。此對應關係係規定於上述對照表記憶部33之對照表中。又，在此，二虛擬裝載埠V-LP 1、2係設定為搬入用，於以下說明中，為了容易理解，僅對虛擬裝載埠V-LP 1、2加以說明。
    1.基板處理裝置5係通知主機電腦9，二個虛擬裝載埠V-LP 1、2(圖4)是否為可搬入。具體而言，虛擬裝載埠控制部19之對主機控制部27參照虛擬裝載埠管理部29，通知主機電腦9，虛擬裝載埠V-LP 1、2之裝載埠為可搬入。
    若更詳細地說明，首先，管理實體裝載埠R-LP 1之裝載埠管理部23係將實體裝載埠R-LP 1之狀態認識為「可搬入」。對應於此，對主機控制部21係參照裝載埠管理部23之認識，輸出「可搬入」之通知。此輸出若在習知之一般構成時，就會直接發送至主機電腦9。然而，於本發明中，對主機控制部21所輸出「可搬入」之通知係發送至虛擬裝載埠控制部19之對主機控制部27。對主機控制部29係接收此通知，參照內部之對照表記憶部33所記憶之對照表，認識被通知「可搬入」之實體裝載埠R-LP 1對應於虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2。然後，虛擬裝載埠管理部29係以取代被通知「可搬入」之實體裝載埠R-LP 1，將虛擬裝載埠V-LP 1、2雙方當作「可搬入」來操作之方式通知對主機控制部27。對主機控制部27係根據該通知，若虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2雙方為「可搬入」，則通知主機電腦9。
    2.接受上述通知之主機電腦9係對載具搬送系統7進行將應由基板處理裝置5處理之二個FOUP 3分別搬入虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2雙方之指示(圖5)。
    3.載具搬送系統7係自上一步驟之基板處理裝置或保管庫取出第1、第2 FOUP 3，由第1 OHT 17保持第1 FOUP 3，進而由第2 OHT 17保持第2 FOUP 3，並開始朝分別進行搬入指示之基板處理裝置5移動。在此，將第1 OHT 17、第2 OHT 17均設為搬入相同之基板處理裝置5，第1 OHT 17係位於最早到達基板處理裝置5之位置，第2 OHT 17係位於較上述更晚到達基板處理裝置5之位置。
    4.當第1 OHT 17移動而到達基板處理裝置5時，載具搬送系統7係通知基板處理裝置5將第1 FOUP 3搬入虛擬裝載埠V-LP 1(圖7)。具體而言，載具搬送系統7係導通CS_0信號，進一步導通表示搬送開始之VALID信號，並發送至對載具搬送系統控制部31。再者，CS信號係用於指定裝載埠之載波/階段信號(carrier stage signal)，由SEMI規格E 84所規定。
    5.基板處理裝置5係參照自載具搬送系統7所接收之CS_0信號(表示虛擬裝載埠V-LP 1)及對照表，而對應於對應虛擬裝載埠V-LP 1之一個實體裝載埠R-LP 1(圖8)。具體而言，根據對載具搬送系統控制部31所接收之信號，由虛擬裝載埠管理部29進行對應。
    6-1.基板處理裝置5係就狀態發生變化而向主機電腦9報告已開始朝虛擬裝載埠V-LP 1搬入(圖9)。具體而言，虛擬裝載埠管理部29係經由對主機控制部27，而向主機電腦9進行報告。
    6-2.接受報告之主機電腦9係認識於虛擬裝載埠V-LP 1中已開始進行搬入(圖9)。
    7.基板處理裝置5係為了載具搬送系統7將朝向虛擬裝載埠V-LP 1搬送而來之第1 FOUP 3接受至實體裝載埠R-LP 1，而對虛擬裝載埠V-LP 1進行接受之指示，並且對載具搬送系統7進行搬入請求(圖10)。具體而言，虛擬裝載埠管理部29係經由對載具搬送系統控制部31，對對載具搬送系統控制部25通信指示朝實體裝載埠R-LP 1之搬入。對載具搬送系統控制部25係接受該通信而對裝載埠管理部23指示朝實體裝載埠R-LP 1搬入之動作，並且對對載具搬送系統控制部31要求對實體裝載埠R-LP 1之「搬入開始」。再者，若為習知之基板處理系統，則該要求信號就會對載具搬送系統7發送，但於本發明中，係發送至虛擬裝載埠控制部19之對載具搬送系統控制部31。
    對載具搬送系統控制部31係可認識來自對載具搬送系統控制部25之該「搬入開始」之要求信號為，對應於上述第4步驟自載具搬送系統7所收到之將第1 FOUP 3搬入虛擬裝載埠V-LP 1之通知者。然後，根據該認識，對載具搬送系統控制部31係將該「搬入開始」之要求信號當作對虛擬裝載埠V-LP 1之「搬入開始」要求，發送至載具搬送系統7。作為該要求信號，對載具搬送系統控制部31係對載具搬送系統7導通L-REQ信號。再者，L-REQ係裝載之請求，其表示搬入之要求。
    8.載具搬送系統7係根據來自對載具搬送系統控制部31之「搬入開始」要求，進行向虛擬裝載埠V-LP 1搬送第1 OHT 17所保持之第1 FOUP 3之動作。在此，於載具搬送系統7設定有實體裝載埠R-LP 1實際之位置，作為此時之搬送目的地即虛擬裝載埠V-LP 1之位置資訊，由載具搬送系統7向虛擬裝載埠V-LP 1之搬送，實際上係作為向實體裝載埠R-LP 1之搬送而執行(圖11)。
    9.基板處理裝置5係將搬入實體裝載埠R-LP 1之第1 FOUP 3搬送至內部緩衝器15之適當位置(圖12)。
    10.於上述搬入過程中，基板處理裝置5係以第1 FOUP 3向實體裝載埠R-LP 1之搬入完成作為虛擬裝載埠V-LP 1之搬入完成，而對主機電腦9進行報告(圖13)。具體而言，裝載埠管理部23係認識實體裝載埠R-LP 1之狀況，經由對主機控制部21、對主機控制部27，向主機電腦9進行報告。
    此時，對主機控制部21係對對主機控制部27報告來自裝載埠管理部23之向實體裝載埠R-LP 1之「搬入完成」報告。對主機控制部27係可認識來自對主機控制部21之該「搬入完成」報告為，對應於上述第6步驟之自虛擬裝載埠管理部29所收到之將第1 FOUP 3搬入虛擬裝載埠V-LP 1之搬入開始通知者。然後，根據該認識，對主機控制部27係將該「搬入完成」報告當作向虛擬裝載埠V-LP 1之「搬入完成」報告，發送至主機電腦9。
    又，若由上述第9步驟搬入實體裝載埠R-LP 1之第1 FOUP 3被搬送至內部緩衝器15時，由於實體裝載埠R-LP 1再次成為可接受FOUP 3之狀態，因此與上述第1步驟相同地，裝載埠管理部23係將實體裝載埠R-LP 1之狀態認識為「可搬入」。對應於此，對主機控制部21係參照裝載埠管理部23之認識，將「可搬入」之通知發送至虛擬裝載埠控制部19之對主機控制部27。對主機控制部27在收到此通知，與上述「搬入完成」報告相同地，認識虛擬裝載埠V-LP 1已成為「可搬入」，並將此通知主機電腦9。根據將FOUP 3向內部緩衝器15搬送之時序，該「可搬入」通知係在上述「搬入完成」報告後立即或稍微延遲後進行。再者，由於在上述第1步驟已通知虛擬裝載埠V-LP 2為「可搬入」，與其對應之第2 OHT 17已開始第2 FOUP 3之搬送，因此在此不進行有關虛擬裝載埠V-LP 2之新通知。
    11.若較第1 OHT 17略微延遲使第2 OHT 17到達基板處理裝置5時，與上述第4步驟相同地，載具搬送系統7係對基板處理裝置5通知將第2 FOUP 3搬入虛擬裝載埠V-LP 2。具體而言，載具搬送系統7係導通CS_1(表示虛擬裝載埠V-LP 2)，進一步，導通表示搬送開始之VALID信號，發送至對載具搬送系統控制部31。以下，與上述相同地，進行朝實體裝載埠R-LP 1之搬入作為朝虛擬裝載埠V-LP 2之搬入。
    再者，如果於上述第2步驟之時間點，該由基板處理裝置5進行處理之FOUP 3僅有一個第1 FOUP 3之情況下，主機電腦9雖進行搬送至虛擬裝載埠V-LP 1之指示，卻不立刻進行搬送至虛擬裝載埠V-LP 1之指示，而成為等待該處理之第2 FOUP 3的準備完成。
    根據此一實施形態，對1個實體裝載埠R-LP 1分配2個虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2，作為該2個虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2雙方均為「可搬入」，可同時移動2台OHT 17分別對其等進行搬送動作，可相較於僅以1台OHT 17對1個實體裝載埠R-LP 1進行搬送動作之情形，可使每單位時間可搬送FOUP 3之個數增大，換言之，可縮短每1個FOUP 3之搬送所需的時間。
    又，由圖26亦可清楚得知，虛擬裝載埠控制裝置19係對基板處理裝置5原有之對主機控制部21及對載具搬送系統控制部25僅處理有關實體裝載埠R-LP 1之信號，而對主機電腦9及載具搬送系統7僅處理有關虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2之信號。亦即，虛擬裝載埠控制裝置19係位於基板處理裝置5與主機電腦9以及與載具搬送系統7之間，進行實體裝載埠R-LP 1與虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2之對應及信號之轉換。因此，習知之基板處理裝置5、主機電腦9及載具搬送系統7之硬體、軟體之構成不必有任何變更，只要將虛擬裝載埠控制裝置19介插於其等之間，就可容易地實施本發明之控制，而且只要將虛擬裝載埠控制裝置19卸除，亦可容易地恢復為習知之基板處理系統之構成。
    再者，虛擬裝載埠V-LP 2係對應於相同實體裝載埠R-LP 1之另一虛擬裝載埠。於上述搬入過程中，若為了使載具搬送系統7之OHT 17搬送一個FOUP 3而從開始朝基板處理裝置5移動之時間點，至此FOUP 3被實際載置在對應於一個虛擬裝載埠V-LP 1之實體裝載埠R-LP 1為止，另一個虛擬裝載埠即虛擬裝載埠V-LP 2為可搬入，則虛擬裝載埠控制裝置19就會向主機電腦9進行報告。又，於從對應於一個虛擬裝載埠V-LP 1之實體裝載埠R-LP 1開始向內部緩衝器15搬送FOUP 3之時間點，若不同於對應於與虛擬裝載埠V-LP 1對應之實體裝載埠R-LP 1之虛擬裝載埠V-LP 1之另一虛擬裝載埠V-LP 2為可搬入時，就會向主機電腦9報告。
    因此，主機電腦9係於上述期間內，對載具搬送系統7可導通表示虛擬裝載埠V-LP 2之CS_1信號，進行搬入相同實體裝載埠R-LP 1之指示。因此，即使於搬入時習知所占有之期間，主機電腦9仍可進行搬入之指示。因此，可有效率地進行搬入處理。
    再者，於上述例子中，完成上一個已被搬送至虛擬裝載埠V-LP 1之(第1)FOUP 3之搬送，取入內部緩衝器15，然後，將下一個(第2)FOUP 3搬入分配給相同實體裝載埠R-LP 1之虛擬裝載埠V-LP 2。因此，對相同實體裝載埠R-LP 1之搬入不會發生問題。如果取入上一個(第1)FOUP 3需要時間，則在下一個(第2)FOUP 3到達相同實體裝載埠R-LP 1之情況時，使下一個(第2)FOUP 3於該場所待機。此控制例如可藉由進行以下處理來實現。亦即，於上述第4步驟中，在對對載具搬送系統控制部31輸入第1 FOUP 3自載具搬送系統7朝虛擬裝載埠V-LP 1之搬入開始通知之後，即使立刻接著輸入第2 FOUP 3搬入另一虛擬裝載埠V-LP 2之搬入開始通知，對該虛擬裝載埠V-LP 2之搬入開始通知，仍保留而不移至後續的第5步驟。而且，於上述第10步驟之將第1 FOUP 3搬入實體裝載埠R-LP 1之「搬入完成」通知被發送至對主機控制部27時，只要自對主機控制部27通知對載具搬送系統控制部31而解除此保留狀態即可。或者，作為其他處理，於上述第4步驟中，在對對載具搬送系統控制部31輸入第1 FOUP 3自載具搬送系統7朝虛擬裝載埠V-LP 1之搬入開始通知後，即使僅在該時間點起的既定時間(例如，可充分進行自裝載埠13搬送至內部緩衝器15之時間)內輸入搬入其他虛擬裝載埠V-LP 2之搬入開始通知，亦可保留該搬入開始通知不移至下一個第5步驟。
    而且，即使如上述保留下一個FOUP 3之搬入開始，由於與習知之基板處理系統係在FOUP 3被取入內部緩衝器15而實體裝載埠R-LP 1接受下一次的搬入後，進行下一個(第2)FOUP 3之搬送指示之情形相比，本發明較早開始下一個(第2)FOUP 3之搬送，因此即使發生此一待機時，仍可較習知更有效率地進行搬送。 <B：搬出處理>
    其次，參照圖14~圖25、圖27，對由上述基板處理系統1搬出FOUP 3之流程加以說明。
    再者，圖14係表示搬出處理時之順序的時序圖。又，圖15~25係表示搬出處理時之過程之示意圖，圖15係表示來自主機電腦之搬出指示的圖，圖16係表示可對主機電腦進行搬出之通知的圖，圖17係表示來自主機電腦之搬出指示的圖，圖18係表示載具搬送系統之移動的圖，圖19係表示由載具搬送系統開始搬出的圖，圖20係表示裝載埠之對應的圖，圖21係表示虛擬裝載埠之狀態變化之報告的圖，圖22係表示送出的圖，圖23係表示對載具搬送系統之搬送要求的圖，圖24係表示由載具搬送系統搬出FOUP的圖，圖25係表示搬出狀況之報告的圖，圖27係表示在搬出處理時各部之間之信號等之交換的示意圖。
    在以下說明中，如圖15所示，實體裝載埠R-LP 1係設為對應於二個虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2，實體裝載埠R-LP 2係設為對應於二個虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4。又，在此，二個虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4係設定為搬出用。在以下說明中，為了容易理解，僅針對虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4加以說明。
    1.主機電腦9係對基板處理裝置5指示將收納已處理之基板W之FOUP 3(圖15)送出。在此，例如指示將收容於基板處理裝置5之內部緩衝器15之已處理之FOUP 3依序送出至未圖示之下一個步驟之基板處理裝置或FOUP 3之保管庫。該指示係經由對主機控制部27及對主機控制部21傳達至裝載埠管理部23(於圖27中省略圖示)。
    2.若被指定之FOUP 3成為可送出至實體裝載埠R-LP 2時，基板處理裝置5就會實際上不進行送出而將可搬出通知主機電腦9(圖16)。
    若更詳細地說明，首先，使管理搬出用之實體裝載埠R-LP 2之裝載埠管理部23確認實體裝載埠R-LP 2及內部緩衝器15之狀態。然後，對應於來自主機電腦9之指示，認識收納於內部緩衝器15內之已處理之FOUP 3a、3b係為「可搬出」實體裝載埠R-LP 2。據此，對主機控制部21參照裝載埠管理部23之認識，輸出FOUP 3a、3b「可搬出」實體裝載埠R-LP 2之通知。若在習知之一般構成時，此輸出會直接發送至主機電腦5。然而，於本發明中，對主機控制部21所輸出之「可搬出」通知係發送至虛擬裝載埠控制部19之對主機控制部27。對主機控制部27收到此通知，發信通知虛擬裝載埠管理部29。虛擬裝載埠管理部29收到此通知，參照內部之對照表記憶部33所記憶之對照表，認識被通知為「可搬出」之實體裝載埠R-LP 2係對應於虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4。然後，虛擬裝載埠管理部29係取代被通知為「可搬出」之實體裝載埠R-LP 2，當作FOUP 3a、3b「可搬出」虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4之雙方而通知對主機控制部27。對主機控制部27係根據該通知，若FOUP 3a、3b為「可搬出」虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4之雙方，就會通知主機電腦9。
    3.主機電腦9係對載具搬送系統7指示用以進行提取被指示之FOUP 3a、3b之搬送(圖17)。
    4.載具搬送系統7為了搬出而朝具有被指示之FOUP 3a、3b之基板處理裝置5移動2台OHT 17a、17b(圖18)。在此，OHT 17a係負責將FOUP 3a自虛擬裝載埠V-LP 3搬出，而OHT 17b係負責將FOUP 3b自虛擬裝載埠V-LP 4搬出。在此，於載具搬送系統7設定有作為此時之搬送目的地即虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4的位置資訊而對應之實體裝載埠R-LP 2之實際位置，載具搬送系統7之OHT 17a、17b之移動實際上作為朝實體裝載埠R-LP 2之移動來執行。
    5.若搬出FOUP 3a之預定OHT 17a移動而到達基板處理裝置5之虛擬裝載埠V-LP 3(實體裝載埠R-LP 2)時，載具搬送系統7為了開始自虛擬裝載埠V-LP 3的搬出，導通表示虛擬裝載埠V-LP 3之CS_0信號，導通VALID信號(搬送開始)(圖19)。此等信號係經由對載具搬送系統控制部31，由虛擬裝載埠管理部29所接收。
    6.基板處理裝置5接收CS_0信號，從而確定虛擬裝載埠V-LP 3(圖20)。具體而言，虛擬裝載埠管理部29係確定虛擬裝載埠V-LP 3。
    7-1.基板處理裝置5由於開始進行在虛擬裝載埠V-LP 3之搬出，而向主機電腦9報告虛擬裝載埠V-LP 3之狀態變化(圖21)。具體而言，虛擬裝載埠管理部29係經由對主機控制部27而向主機電腦9進行報告。
    7-2.接受報告之主機電腦9認識於虛擬裝載埠V-LP 3開始進行搬送(圖21)。
    8.基板處理裝置5係將所指示之FOUP 3a送出至虛擬裝載埠V-LP 3(圖22)。實際上，由於虛擬裝載埠V-LP 3係對應於實體裝載埠R-LP 2，因此將FOUP 3a送出至實體裝載埠R-LP 2。若具體說明，則於上述第6步驟中，確定虛擬裝載埠V-LP 3之虛擬裝載埠管理部29藉由對照表記憶部33所記憶之對照表，認識所確定之虛擬裝載埠V-LP 3係對應於實體裝載埠R-LP 2，而對對載具搬送系統控制部31指示來自實體裝載埠R-LP 2之搬出。對載具搬送系統控制部31係接受該指示，對對載具搬送系統控制部25通信指示來自實體裝載埠R-LP 2之搬出。對載具搬送系統控制部25係接收該通信而對裝載埠管理部23指示將FOUP 3a朝實體裝載埠R-LP 2之搬出動作，並且對對載具搬送系統控制部31要求自實體裝載埠R-LP 2之「搬出開始」。再者，雖然若為習知之基板處理系統時，該要求信號係向載具搬送系統7所發送之信號，惟於本發明中，則會發送至虛擬裝載埠控制裝置19之對載具搬送系統控制部31。裝載埠管理部23係根據該指示，進行將收納於內部緩衝器15之FOUP 3a送出至實體裝載埠R-LP 2之動作。
    9.基板處理裝置5導通對載具搬送系統7表示搬送要求之信號(圖23)。具體而言，對載具搬送系統控制部31可認識來自對載具搬送系統控制部25之自上述實體裝載埠R-LP 2「搬出開始」之要求信號係對應於上述第5步驟中自載具搬送系統7所接收之FOUP 3a自虛擬裝載埠V-LP 3之搬出通知之信號。然後，根據該認識，對載具搬送系統控制部31係以該「搬出開始」之要求信號作為自虛擬裝載埠V-LP 3「搬出開始」之要求，而發送至載具搬送系統7。作為該要求信號，對載具搬送系統控制部31係對載具搬送系統7導通U_REQ信號。此U_REQ信號係意指搬出要求。
    10.載具搬送系統7係自虛擬裝載埠V-LP 3搬出FOUP 3a(圖24)。實際上，由於虛擬裝載埠V-LP 3係對應於實體裝載埠R-LP 2，因此自實體裝載埠R-LP 2搬出FOUP 3a。
    11.基板處理裝置5係於上述搬出過程中，對主機電腦9報告在虛擬裝載埠V-LP 3中已進行搬出(圖25)。具體而言，裝載埠管理部23認識實體裝載埠R-LP 2之狀況，經由對主機控制部21、對主機控制部27，對主機電腦9進行報告。
    此時，對主機控制部21係對對主機控制部27報告來自裝載埠管理部23之自實體裝載埠R-LP 2「搬出完成」報告。對主機控制部27可認識來自對主機控制部21之該「搬出完成」報告係對應於上述第7步驟中自虛擬裝載埠管理部29所接收之FOUP 3a自虛擬裝載埠V-LP 3之搬出開始通知。然後，根據該認識，對主機控制部27係以該「搬出完成」報告作為自虛擬裝載埠V-LP 3之「搬出完成」報告，而發送至主機電腦9。
    而且，其後，若收納已完成處理之基板W之下一個FOUP 3c被搬送至內部緩衝器15時，實體裝載埠R-LP 2就會再度成為可搬出之狀態。亦即，由於對應於實體裝載埠R-LP 2之虛擬裝載埠V-LP 3再度成為可搬出之狀態，因此與上述第2步驟相同地，裝載埠管理部23係將實體裝載埠R-LP 2之狀態認識為「可搬出」。對應於此，對主機控制部21係參照裝載埠管理部23之認識，將「可搬出」之通知發送至虛擬裝載埠控制裝置19之對主機控制部27。對主機控制部27係接收此通知，與上述「搬出完成」報告相同地，認識虛擬裝載埠V-LP 3成為「可搬出」，並將此通知主機電腦9。該「可搬出」通知係根據將FOUP 3c搬送至內部緩衝器15之時序，在上述「搬出完成」報告後立刻或在稍微延遲後進行。再者，由於在上述第2步驟，已通知虛擬裝載埠V-LP 4為「可搬出」，使與其對應之OHT 17b為了搬出FOUP 3b，已開始向基板處理裝置5移動，因此在此不進行有關虛擬裝載埠V-LP 4之新通知。
    12.當OHT 17b較OHT 17a稍微延遲地到達基板處理裝置5時，與上述第4步驟相同地，載具搬送系統7係對基板處理裝置5通知自虛擬裝載埠V-LP 4搬出FOUP 3b。具體而言，載具搬送系統7係導通CS_1(表示虛擬裝載埠V-LP 4)，並更一步導通表示搬送開始之VALID信號，發送至對載具搬送系統控制部31。以下，與上述相同地，作為自虛擬裝載埠V-LP 4之搬出，而進行自實體裝載埠R-LP 2之搬出。
    再者，虛擬裝載埠V-LP 4係對應於相同實體裝載埠R-LP 2之其他虛擬裝載埠。即使於上述搬出過程中，如果在上述搬出處理之第1步驟中，收納於內部緩衝器15之已處理之FOUP係僅有FOUP 3a之情況下，虛擬裝載埠控制部19仍可隨時通知主機電腦9，對應於該一個虛擬裝載埠V-LP 3之分配給實體裝載埠R-LP 2之其他虛擬裝載埠V-LP 4係可用於搬出。
    因此，於上述期間內，主機電腦9係對載具搬送系統7導通表示虛擬裝載埠V-LP 4之CS_1信號，而可進行對相同實體裝載埠R-LP 2之搬出指示。因此，可有效率地進行搬出處理。
    如此，根據本實施形態，對1個實體裝載埠R-LP 1分配2個虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4，分配該2個虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4，就該2個虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4雙方均為「可搬入」，則可同時移動2台OHT 17對其等分別進行搬送動作，相較於僅以1台OHT 17對1個實體裝載埠R-LP 1進行搬送動作之情形，可增加每單位時間可搬送之FOUP之個數。換言之，可縮短每1個FOUP之搬送所需的時間。
    又，由圖27可清楚得知，虛擬裝載埠控制裝置19係對基板處理裝置5原有之對主機控制部21及對載具搬送系統控制部25僅處理有關實體裝載埠R-LP 2之信號，而對主機電腦9及載具搬送系統7僅處理有關虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4之信號。亦即，虛擬裝載埠控制裝置19係位於基板處理裝置5與主機電腦9以及與載具搬送系統7之間，進行實體裝載埠R-LP 2與虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4之對應及信號之轉換。因此，習知之基板處理裝置5、主機電腦9及載具搬送系統7之硬體、軟體之構成不必有任何變更，只要將虛擬裝載埠控制部19介插於其等之間，就可容易地實施本發明之控制，而且，只要將虛擬裝載埠控制部19卸除，亦可容易地恢復為習知之基板處理系統之構成。
    如上述，若根據本實施例裝置，則虛擬裝載埠控制部19係分別對實體裝載埠R-LP 1、R-LP 2分配2個虛擬裝載埠V-LP 1、V-L2與V-LP 3、V-LP4。而且，虛擬裝載埠控制部19係對於載具搬送系統7及主機電腦9，將4個虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP2、V-LP3、V-LP4當作4個實體裝載埠來操作。因此，可如同裝載埠存在實體裝載埠之實際個數以上般，進行FOUP 3之搬送，而可達到看似使裝載埠之個數增加的效果。其結果，可一方面抑制裝置成本，並可提高FOUP 3之搬送效率。
    本發明並不限於上述實施形態，可如下述變形實施。
    (1)於上述實施例中，對一個實體裝載埠R-LP 1分配二個虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2。本發明並不限於此。例如，亦可對一個實體裝載埠R-LP 1分配3個以上之虛擬裝載埠。
    (2)於上述實施例中，對一個實體裝載埠R-LP 1分配二個虛擬裝載埠V-LP 1、V-LP 2，而且對另一個實體裝載埠R-LP 2分配二個虛擬裝載埠V-LP 3、V-LP 4，將其等分配給搬入或搬出之一方。此外，本發明亦可將分配給一個實體裝載埠R-LP 1的二個虛擬裝載埠中的一方分配為搬入，將另一方分配為搬出。又，亦可將虛擬裝載埠僅分配給搬入用或搬出用的任一方。
    (3)於上述實施例中，雖然經由設定部35使記憶於對照表記憶部33之對照表成為固定之設定，惟亦可藉由依據狀況將其等適當地改寫，視情況變更虛擬裝載埠之使用/不使用、或虛擬裝載埠之分配。因此，可根據基板處理系統1之狀況進行有彈性之運用。例如，在欲快速進行搬入時，只要增加分配給搬入之虛擬裝載埠即可。
    (4)於上述實施例中，雖然例示載具搬送系統7具備OHT 17之情形，惟亦可取而代之，而採用AGV(Automatic Guided Vehicle)。
    (5)於上述實施例中，本發明係於一般基板處理裝置、主機電腦9及載具搬送系統7之間以後裝的方式介插虛擬裝載埠控制部19所構成，藉由將本發明之虛擬裝載埠控制裝置19附加於一般基板處理裝置或已設置於工廠等之既有的基板處理裝置上，可提高FOUP之搬送效率，惟並不限於此，亦可為一種例如具有裝載埠控制裝置20、及虛擬裝載埠控制裝置19雙方之功能之控制裝置，亦可為一開始即組裝入基板處理裝置5者。又，虛擬裝載埠控制裝置19亦可獨立於基板處理裝置5，而設置於主機電腦9與載具搬送系統7之間。而且亦可將虛擬裝載埠控制裝置19之功能一體地組裝入主機電腦9。
    (6)根據上述實施形態，於FOUP 3對基板處理裝置5搬入及搬出雙方之情形時，2台OHT 17係同時對2個虛擬裝載埠進行搬送動作。這在例如搬入時，內部緩衝器15中有充分的閒置容量之情形下為有效，而在搬出時，內部緩衝器15中已充分收納有應搬出之FOUP之情形下為有效。假設在搬入時，內部緩衝器15中僅有可收納一個FOUP 3之閒置容量之情形下，若同時有2台OHT 17同時對2個虛擬裝載埠進行搬送動作時，即使將朝基板處理裝置5搬送之FOUP 3搬入，於內部緩衝器15中並無可收納的場所，就會產生OHT 17於基板處理裝置5前長時間等待之情形。又，如果在搬出時，內部緩衝器15中僅收納一個FOUP 3之情形下，若同時有2台OHT 17同時對2個虛擬裝載埠進行搬送動作，則即使第2台OHT 17到達基板處理裝置5，該OHT 17也會因無該搬出之FOUP 3，而導致OHT 17於基板處理裝置5前長時間等待之情形。因此，藉由虛擬裝載埠控制裝置19對主機電腦9之「可搬入」或「可搬出」之通知較佳為考量內部緩衝器15之狀態，判斷或確認在內部緩衝器15中有充分的閒置容量之情形，或於內部緩衝器15中有充分收納應搬出之FOUP之情形，僅限於該情形下來進行。該判斷或確認可藉由虛擬裝載埠控制裝置19直接自裝載埠管理部23、或經由對主機控制部21，接收裝載埠管理部23所認識之內部緩衝器15之狀態的構成來達成。
    本發明在不脫離其思想或本質下，可藉其他具體形式實施，因此，應參照隨附之申請專利範圍而非以上說明，來表示發明之範圍。
    1‧‧‧基板處理系統
    3、3a、3b‧‧‧FOUP
    5‧‧‧基板處理裝置
    7‧‧‧載具搬送系統
    9‧‧‧主機電腦
    11‧‧‧基板處理單元
    13‧‧‧裝載埠
    15‧‧‧內部緩衝器
    17、17a、17b‧‧‧OHT
    19‧‧‧虛擬裝載埠控制裝置
    20‧‧‧裝載埠控制裝置
    21‧‧‧對主機控制部
    23‧‧‧裝載埠管理部
    25‧‧‧對載具搬送系統控制部
    27‧‧‧對主機控制部
    29‧‧‧虛擬裝載埠管理部
    31‧‧‧對載具搬送系統控制部
    33‧‧‧對照表記憶部
    35‧‧‧設定部
    R-LP 1、R-LP 2‧‧‧實體裝載埠
    V-LP 1、V-LP 2、V-LP 3、V-LP 4‧‧‧虛擬裝載埠
    W‧‧‧基板
    圖1係表示實施例之基板處理系統之概要的俯視圖；圖2係表示實施例之基板處理系統之概略構成的方塊圖；圖3係表示搬入處理時之順序的時序圖；圖4係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示對主機電腦之通知的圖；圖5係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示主機電腦之搬送指示的圖；圖6係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示載具搬送系統之移動的圖；圖7係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示由載具搬送系統開始搬入的圖；圖8係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示裝載埠之對應的圖；圖9係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示虛擬裝載埠之狀態變化之報告的圖；圖10係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示搬入受理的圖；圖11係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示載具搬送系統之移動的圖；圖12係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示FOUP移動至內部緩衝器的圖；圖13係表示搬入處理時之過程之示意圖，係表示搬入狀況之報告的圖；圖14係表示搬出處理時之順序的時序圖；圖15係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示來自主機電腦搬出之指示的圖；圖16係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示對主機電腦通知可搬出的圖；圖17係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示來自主機電腦之搬出之指示的圖；圖18係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示載具搬送系統之移動的圖；圖19係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示由載具搬送系統開始搬出的圖；圖20係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示裝載埠之對應的圖；圖21係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示虛擬裝載埠之狀態變化之報告的圖；圖22係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示送出的圖；圖23係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示對載具搬送系統之搬送要求的圖；圖24係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示由載具搬送系統搬出FOUP的圖；圖25係表示搬出處理時之過程之示意圖，係表示搬出狀況之報告的圖；圖26係表示搬入處理時各部之間之信號等之傳遞的示意圖；圖27係表示搬出處理時各部之間之信號等之傳遞的示意圖。
    3‧‧‧FOUP
    5‧‧‧基板處理裝置
    7‧‧‧載具搬送系統
    9‧‧‧主機電腦
    13‧‧‧裝載埠
    15‧‧‧內部緩衝器
    17‧‧‧OHT
    R-LP 1‧‧‧實體裝載埠
    R-LP 2‧‧‧實體裝載埠
    V-LP 1‧‧‧虛擬裝載埠
    V-LP 2‧‧‧虛擬裝載埠
    V-LP 3‧‧‧虛擬裝載埠
    V-LP 4‧‧‧虛擬裝載埠
    权利要求:
    Claims (18)
    [1] 一種基板處理系統之控制裝置，該基板處理系統具備有：基板處理裝置，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠、以及搬送上述收納器而對上述實體裝載埠進行搬送動作之載具搬送系統；上述基板處理系統之控制裝置包含以下構件：虛擬裝載埠控制裝置，其對上述實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對虛擬裝載埠進行搬送動作。
    [2] 一種基板處理系統之基板處理方法，該基板處理系統具備有：基板處理裝置，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠、以及搬送上述收納器而對上述實體裝載埠進行搬送動作之載具搬送系統；上述基板處理系統之基板處理方法包含以下步驟：對上述實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對該虛擬裝載埠進行搬送動作之步驟。
    [3] 一種基板處理系統，其具備有：基板處理裝置，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠、以及搬送上述收納器而對上述實體裝載埠進行搬送動作之載具搬送系統；上述基板處理系統之控制裝置包含以下構件：虛擬裝載埠控制裝置，其對上述實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對該虛擬裝載埠進行搬送動作。
    [4] 一種基板處理系統之運用方法，該基板處理系統具備有：基板處理裝置，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠、以及控制該實體裝載埠之動作之實體裝載埠控制裝置；以及搬送上述收納器而對上述實體裝載埠進行搬送動作之載具搬送系統；上述基板處理系統之運用方法包含以下步驟：使虛擬裝載埠控制裝置介存於上述實體裝載埠控制裝置、與上述載具搬送系統之間之步驟，該虛擬裝載埠控制裝置係對上述實體裝載埠分配虛擬裝載埠，並且將上述虛擬裝載埠當作實際存在者而指示上述載具搬送系統對該虛擬裝載埠進行搬送動作。
    [5] 如申請專利範圍第4項之基板處理系統之運用方法，其中，上述虛擬裝載埠控制裝置執行將來自上述實體裝載埠控制裝置對載具搬送系統之信號轉換成來自上述虛擬裝載埠之信號而發送至上述載具搬送系統，將來自上述載具搬送系統對上述虛擬裝載埠之信號轉換成對上述實體裝載埠之信號而發送至上述實體裝載埠控制裝置之步驟。
    [6] 如申請專利範圍第1項之基板處理系統之控制裝置，其中，上述虛擬裝載埠控制裝置對一台上述實體裝載埠分配複數個虛擬裝載埠。
    [7] 如申請專利範圍第1項之基板處理系統之控制裝置，其中，上述虛擬裝載埠控制裝置所進行搬送至上述虛擬裝載埠之動作之指示係進行搬送至該虛擬裝載埠所分配之實體裝載埠之所在場所為止之動作之指令。
    [8] 一種裝載埠控制裝置，其控制基板處理系統之上述裝載埠，該基板處理系統具備有：基板處理裝置，其具備：基板處理單元，其對基板進行既定之處理；裝載埠，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠，於與上述基板處理單元之間轉送收納器；以及內部緩衝器，其介存於上述基板處理單元與上述裝載埠之間，於與上述基板處理單元之間轉送基板，於與上述裝載埠之間轉送收納器，並且收容所轉送之收納器；載具搬送系統，其係於與上述裝載埠之間轉送收納器；以及主機電腦，其係於上述基板處理裝置與上述載具搬送系統之間進行通信，根據上述基板處理裝置之狀況，指示由上述載具搬送系統所進行收納器之搬送，上述裝載埠控制裝置包含以下構件：虛擬裝載埠管理部，其對上述實體裝載埠分配複數個虛擬裝載埠，並且對上述載具搬送系統、及上述主機電腦，將上述複數個虛擬裝載埠當作複數個實體裝載埠加以操作。
    [9] 如申請專利範圍第8項之裝載埠控制裝置，其中，上述虛擬裝載埠管理部具備規定上述複數個虛擬裝載埠、與上述實體裝載埠間之對應關係之對照表，在將上述複數個虛擬裝載埠設定為搬入用之情況下：(A1)上述虛擬裝載埠管理部係通知上述主機電腦各個上述複數個虛擬裝載是否為可搬入；(A2)上述主機電腦對上述載具搬送系統進行用以將收納器搬入上述複數個虛擬裝載埠中之任一者之指示；(A3)上述載具搬送系統為了將收納器搬送至被指示之一個虛擬裝載埠，而在保持收納器之狀態下移動至上述基板處理裝置；(A4)上述載具搬送系統為了開始將收納器搬入上述一個虛擬裝載埠，而通知上述虛擬裝載埠管理部將收納器搬入上述一個虛擬裝載埠；(A5)上述虛擬裝載埠管理部係根據上述對照表，使上述一個虛擬裝載埠對應於一個實體裝載埠；(A6)上述虛擬裝載埠管理部係通知上述主機電腦開始將收納器搬入上述一個虛擬裝載埠；(A7)上述虛擬裝載埠管理部受理對上述一個虛擬裝載埠之搬入，對上述載具搬送系統進行搬入要求；(A8)上述載具搬送系統係將收納器搬送至被分配給上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠；(A9)上述基板處理裝置係將搬入上述一個虛擬裝載埠之收納器搬送至上述內部緩衝器；(A10)上述虛擬裝載埠管理部係於上述搬入過程中，在將搬入上述一個虛擬裝載埠之狀況通知上述主機電腦時，為了使上述載具搬送系統搬送被指示之一個收納器，將自上述載具搬送系統開始朝上述基板處理裝置移動之時間點，至被指示之一個收納器載置在對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠前為止，被分配給對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬入通知上述主機電腦，將在收納器自對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠開始朝上述內部緩衝器搬送之時間點，被分配給對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬入通知上述主機電腦。
    [10] 如申請專利範圍第8項之裝載埠控制裝置，其中，上述虛擬裝載埠管理部具備規定上述複數個虛擬裝載埠、與上述實體裝載埠間之對應關係之對照表，在將上述複數個虛擬裝載埠設定為搬出用之情況下：(B1)上述主機電腦指示上述基板處理裝置，對複數個虛擬裝載埠中之任一者送出所指示之收納器；(B2)若成為可將被指示之收納器送出至上述一個虛擬裝載埠時，上述基板處理裝置就會通知上述主機電腦可搬出；(B3)上述主機電腦對上述載具搬送系統進行用以進行搬送被指示之收納器之指示；(B4)上述載具搬送系統係移動至具有被指示之收納器之上述基板處理裝置；(B5)上述載具搬送系統為了自上述一個虛擬裝載埠搬出被指示之收納器，而指示上述虛擬裝載埠管理部將收納器送出至上述一個虛擬裝載埠；(B6)上述虛擬裝載埠管理部係根據上述對照表，使上述一個虛擬裝載埠對應於一個實體裝載埠；(B7)上述基板處理裝置係將被指示之收納器開始送出至上述一個虛擬裝載埠通知上述主機電腦；(B8)上述基板處理裝置係將被指示之收納器送出至被分配給上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠；(B9)上述基板處理裝置對上述載具搬送系統通知搬出要求；(B10)上述載具搬送系統係自上述一個虛擬裝載埠搬出上述收納器；(B11)上述虛擬裝載埠管理部係於上述搬出過程中，在將自上述一個虛擬裝載埠搬出之狀況通知上述主機電腦時，將除了被指示之收納器自上述內部緩衝器送出至對應於上述一個虛擬裝載埠之上述實體裝載埠之時間點起，至上述收納器由上述載具搬送系統自上述該實體裝載埠開始搬出之時間點為止的期間，被分配給對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬出通知上述主機電腦。
    [11] 如申請專利範圍第8項之裝載埠控制裝置，其中，上述虛擬裝載埠管理部係將上述複數個虛擬裝載埠設定為僅供搬入用。
    [12] 如申請專利範圍第9項之裝載埠控制裝置，其中，上述虛擬裝載埠管理部係將上述複數個虛擬裝載埠設定為僅供搬入用。
    [13] 如申請專利範圍第8項之裝載埠控制裝置，其中，上述虛擬裝載埠管理部係將上述複數個虛擬裝載埠設定為僅供搬出用。
    [14] 如申請專利範圍第10項之裝載埠控制裝置，其中，上述虛擬裝載埠管理部係將上述複數個虛擬裝載埠設定為僅供搬出用。
    [15] 如申請專利範圍第8項之裝載埠控制裝置，其中，上述虛擬裝載埠管理部係將上述複數個虛擬裝載埠設定為搬入用或搬出用。
    [16] 一種基板處理系統，其用以處理基板，上述基板處理系統包含以下構件：基板處理裝置，其具備：基板處理單元，其對基板進行既定之處理；裝載埠，其具備載置有用以收納基板之收納器之實體裝載埠，於與上述基板處理單元之間轉送收納器；以及內部緩衝器，其介存於上述基板處理單元與上述裝載埠之間，於與上述基板處理單元之間轉送基板，於與上述裝載埠之間轉送收納器，並且收容所轉送之收納器；載具搬送系統，其係於與上述裝載埠之間轉送收納器；主機電腦，其係於上述基板處理裝置與上述載具搬送系統之間進行通信，根據上述基板處理裝置之狀況，指示由上述載具搬送系統所進行收納器之搬送；以及裝載埠控制裝置，其具備虛擬裝載埠管理部，其對上述實體裝載埠分配複數個虛擬裝載埠，並且對上述載具搬送系統、及上述主機電腦，將上述複數個虛擬裝載埠當作複數個實體裝載埠加以操作。
    [17] 如申請專利範圍第16項之基板處理系統，其中，上述虛擬裝載埠管理部具備規定上述複數個虛擬裝載埠、與上述實體裝載埠間之對應關係之對照表，在將上述複數個虛擬裝載埠設定為搬入用之情況下：(A1)上述虛擬裝載埠管理部係通知上述主機電腦是否可個別搬入上述複數個虛擬裝載埠；(A2)上述主機電腦對上述載具搬送系統下達用以將收納器搬入上述複數個虛擬裝載埠中之任一者之指示；(A3)上述載具搬送系統為了將收納器搬送至被指示之一個虛擬裝載埠，而在保持收納器之狀態下移動至上述基板處理裝置；(A4)上述載具搬送系統為了開始將收納器搬入上述一個虛擬裝載埠，而通知上述虛擬裝載埠管理部將收納器搬入上述一個虛擬裝載埠；(A5)上述虛擬裝載埠管理部係根據上述對照表，使上述一個虛擬裝載埠對應於一個實體裝載埠；(A6)上述虛擬裝載埠管理部係通知上述主機電腦開始將收納器搬入上述一個虛擬裝載埠；(A7)上述虛擬裝載埠管理部受理對上述一個虛擬裝載埠之搬入，對上述載具搬送系統進行搬入要求；(A8)上述載具搬送系統係將收納器搬送至被分配給上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠；(A9)上述基板處理裝置係將搬入上述一個虛擬裝載埠之收納器搬送至上述內部緩衝器；(A10)上述虛擬裝載埠管理部係於上述搬入過程中，在將搬入上述一個虛擬裝載埠之狀況通知上述主機電腦時，為了使上述載具搬送系統搬送被指示之一個收納器，將自上述載具搬送系統開始朝上述基板處理裝置移動之時間點，至被指示之一個收納器載置在對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠前為止，被分配給對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬入通知上述主機電腦，將在收納器自對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠開始朝上述內部緩衝器搬送之時間點，被分配給對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬入通知上述主機電腦。
    [18] 如申請專利範圍第16項之基板處理系統，其中，上述虛擬裝載埠管理部具備規定上述複數個虛擬裝載埠、與上述實體裝載埠間之對應關係之對照表，在將上述複數個虛擬裝載埠設定為搬出用之情況下：(B1)上述主機電腦指示上述基板處理裝置，對複數個虛擬裝載埠中之任一者送出所指示之收納器；(B2)若成為可將被指示之收納器送出至上述一個虛擬裝載埠時，上述基板處理裝置就會通知上述主機電腦可搬出；(B3)上述主機電腦對上述載具搬送系統下達用以進行搬送被指示之收納器之指示；(B4)上述載具搬送系統係移動至具有被指示之收納器之上述基板處理裝置；(B5)上述載具搬送系統為了自上述一個虛擬裝載埠搬出被指示之收納器，而指示上述虛擬裝載埠管理部將收納器送出至上述一個虛擬裝載埠；(B6)上述虛擬裝載埠管理部係根據上述對照表，使上述一個虛擬裝載埠對應於一個實體裝載埠；(B7)上述基板處理裝置係將被指示之收納器開始送出至上述一個虛擬裝載埠通知上述主機電腦；(B8)上述基板處理裝置係將被指示之收納器送出至被分配給上述一個虛擬裝載埠之實體上述裝載埠；(B9)上述基板處理裝置對上述載具搬送系統通知搬出要求；(B10)上述載具搬送系統係自上述一個虛擬裝載埠搬出上述收納器；(B11)上述虛擬裝載埠管理部係於上述搬出過程中，在將自上述一個虛擬裝載埠搬出之狀況通知上述主機電腦時，將除了被指示之收納器自上述內部緩衝器送出至對應於上述一個虛擬裝載埠之上述實體裝載埠之時間點起，至上述收納器由上述載具搬送系統自上述實體裝載埠開始搬出之時間點為止的期間，被分配給對應於上述一個虛擬裝載埠之實體裝載埠之另一虛擬裝載埠可用於搬出一個虛擬裝載埠搬出之狀況。
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    法律状态:
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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