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    本發明提供壓電振動片以及壓電元件，壓電振動片包括激振部、框部以及連結部。激振部包含沿著第一方向延伸的第一邊及沿著第二方向延伸的第二邊，第二方向與第一方向正交。連結部在第三方向上的厚度為第一厚度，所述第三方向與第一方向及第二方向正交。激振部包含第一區域、第二區域以及第三區域。激振電極形成在第一區域。第二區域以第一厚度而直接連結於連結部。第三區域配置在第一區域與第二區域之間。而且在第三方向上的厚度為第二厚度，第二區域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。
    公开号:TW201306477A
    申请号:TW101126058
    申请日:2012-07-19
    公开日:2013-02-01
    发明作者:Takehiro Takahashi；Shuichi Mizusawa；Masakazu Harada；Hiroaki Yamada；Takumi Ariji
    申请人:Nihon Dempa Kogyo Co；
    IPC主号:H03H9-00
    专利说明:
    壓電振動片以及壓電組件
    本發明是有關於一種壓電振動片以及壓電元件，可抑制壓電振動片的朝向激振部的彎曲應力的影響。
    已為人所知的壓電振動片包括：激振部，以預定的振動頻率發生振動；框部，將激振部予以包圍；以及連結部，將激振部與框部予以連結。另外，蓋板以及基底板接合于壓電振動片中的框部的表背面，從而形成壓電元件，該壓電元件是安裝於印刷基板等而被使用。對於此種壓電元件而言，存在如下的問題，即，當因下落等而承受衝擊時，應力會施加至連結部，導致連結部破損。
    針對如上所述的問題，例如在日本專利公開號2006-238263中已揭示了如下的壓電振動片，該壓電振動片的連結部由槽部與平坦部形成，所述槽部相對於激振部的表背面形成為凹狀，所述平坦部處於與激振部的表背面相同的面。在日本專利公開號2006-238263的壓電振動片中，利用槽部與平坦部來形成兩根連結部，借此，利用兩根連結部來防止施加至連結部的應力集中。借此，日本專利公開號2006-238263的壓電振動片的耐衝擊性提高。
    另一方面，存在如下的情況，即，如上所述的壓電元件從印刷基板承受彎曲應力。施加至壓電元件的彎曲應力會對壓電振動片產生影響，使激振部的振動頻率的特性發生變化。因此，壓電振動片需要具有耐衝擊性，並且必須使施加至激振部的彎曲應力減少。若應力施加至激振部，則激振部的振動頻率的特性會發生變化。在日本專利公開號2006-238263中，由於利用兩根連結部來支撐著激振部，因此，會導致激振部受到彎曲應力的影響。
    因此，需要提供具有耐衝擊性、並且朝向激振部的彎曲應力的影響已受到抑制的壓電振動片以及壓電元件。
    第一觀點的壓電振動片包括：為矩形形狀的激振部，包含第一邊以及第二邊，第一邊沿著第一方向延伸，第二邊沿著第二方向延伸，所述第二方向與第一方向正交；框部，將激振部予以包圍；以及連結部，將激振部的第一邊與框部予以連結，且在第三方向上具有第一厚度，所述第三方向與第一方向及第二方向正交。激振部包含：第一區域、第二區域以及第三區域，第一區域在兩個主面上形成有一對激振電極；第二區域包含第一邊的至少一部分且第二區域以第一厚度而直接連結於連結部；第三區域配置在第一區域與第二區域之間，且第三區域是第一區域及第二區域以外的區域，而且第三區域在第三方向上的厚度為第二厚度，第二區域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。
    根據第一觀點，對於第二觀點的壓電振動片而言，第一邊的長度比第二邊的長度更短。
    根據第一觀點或第二觀點，對於第三觀點的壓電振動片而言，連結部連結於第一邊的中央。
    根據第一觀點至第三觀點，對於第四觀點的壓電振動片而言，第一區域在第三方向上的厚度形成得比第二厚度更厚。
    根據第四觀點，對於第五觀點的壓電振動片而言，第一區域借由第一斜面而連接於第三區域，所述第一斜面相對於第三方向具有預定的角度。
    根據第一觀點至第五觀點，對於第六觀點的壓電振動片而言，第二區域借由第二斜面而連接於第三區域，所述第二斜面相對於第三方向具有預定的角度。
    根據第一觀點至第五觀點，對於第七觀點的壓電振動片而言，壓電振動片更包括第一輔助連結部，第一輔助連結部設置於連結部的第一方向的側面，該第一輔助連結部具有第三厚度，其中第三厚度比第一厚度更薄且比第二厚度更厚，激振部的第二區域包含：具有所述第一厚度的第一連結區域，直接連結於連結部；以及具有所述第三厚度第二連結區域，連結於第一輔助連結部。
    根據第七觀點，對於第八觀點的壓電振動片而言，第二連結區域形成在整個第一連結區域與第三區域之間。
    根據第四觀點至第六觀點，對於第九觀點的壓電振動片而言，第一區域在第三方向上的厚度為第一厚度。
    根據第七觀點以及第八觀點，對於第十觀點的壓電振動片而言，第一區域在第三方向上的厚度為第三厚度。
    根據第一觀點至第六觀點，對於第十一觀點的壓電振動片而言，壓電振動片更包括第二輔助連結部，第二輔助連結部設置於連結部的第一方向的側面，該第二輔助連結部具有所述第二厚度。
    根據第十一觀點，對於第十二觀點的壓電振動片而言，第二輔助連結部利用曲面或平面來將連結部的第一方向的側面與第一邊及框部予以連結，所述平面具有從第一方向朝第二方向傾斜了預定角度的法線。
    根據第一觀點至第十二觀點，對於第十三觀點的壓電振動片而言，對第二區域的激振電極側的側面的角部進行倒角以具有曲面或平面。
    根據第一觀點至第十三觀點，對於第十四觀點的壓電振動片而言，連結部在第一方向上具有第一寬度，第二區域在第一方向上具有第二寬度，第二區域包含第一邊的第二寬度，第一寬度小於第二寬度。
    根據第一觀點至第十四觀點，對於第十五觀點的壓電振動片而言，壓電振動片更包括多個輔助框部，輔助框部分別設置於框部的激振部側的側面的四個角落，輔助框部包含與激振部相向的側面，所述與激振部相向的側面具有曲面或平面，該平面具有從第一方向朝第二方向傾斜了預定角度的法線。
    根據第十五觀點，對於第十六觀點的壓電振動片而言，輔助框部在第三方向上的厚度是形成為框部在第三方向上的厚度、第一厚度、或第二厚度中的任一個厚度。
    第十七觀點的壓電元件包括：第一觀點至第十六觀點所述的壓電振動片；蓋板，接合于壓電振動片的框部的一個主面；以及基底板，接合于壓電振動片的框部的另一個主面。


    根據本發明的壓電振動片以及壓電元件，壓電振動片具有耐衝擊性，並且可抑制朝向激振部的彎曲應力的影響。
    以下，基於附圖來詳細地對本發明的較佳實施方式進行說明。再者，在以下的說明中，只要無旨在特別地對本發明進行限定的記載，則本發明的範圍不限於這些方式。 (第一實施方式) 〈壓電元件100的構成〉
    圖1是壓電元件100的分解立體圖。壓電元件100包含：蓋板110、基底板120、以及壓電振動片130。例如使用AT切割石英晶體振動片(AT-cut quartz-crystal vibrating piece)作為壓電振動片130。AT切割石英晶體振動片具有一主面(YZ面)，而該主面(YZ面)相對於晶體坐標系統(XYZ)的Y軸，以X軸為中心，從Z軸向Y軸方向傾斜35度15分。在以下的說明中，以AT切割石英晶體振動片的軸方向為基準，使用傾斜的新的軸作為Y'軸以及Z'軸。即，將壓電元件100的長邊方向作為X軸方向，將壓電元件100的高度方向作為Y'軸方向，將與X軸方向及Y'軸方向垂直的方向作為Z'軸方向，對壓電元件100進行說明。
    壓電振動片130包含：激振部131，以預定的振動頻率發生振動；框部132，將激振部131予以包圍；以及連結部133，將激振部131與框部132予以連結。激振部131與框部132之間的連結部133以外的區域成為貫通孔136，該貫通孔136沿著Y'軸方向，將壓電振動片130予以貫通。在激振部131的+Y'軸側的面與-Y'軸側的面上形成有激振電極134，引出電極135從各激振電極134通過連結部133而引出至框部132為止。
    基底板120配置在壓電振動片130的-Y'軸側。基底板120形成為矩形形狀，該矩形形狀在X軸方向上具有長邊，在Z'軸方向上具有短邊。在基底板120的-Y'軸側的面上形成有一對安裝端子124。該安裝端子124經由焊錫(solder)而固定於印刷基板等，且與該印刷基板等形成電性連接，借此，壓電元件100安裝於印刷基板等。另外，在基底板120的四個角落的側面形成有城堡形部分(castellation)126，在城堡形部分126中形成有側面電極125。在基底板120的+Y'軸側的面上形成有凹部121，在凹部121的周圍形成有接合面122。另外，在接合面122的四個角落且在城堡形部分126的周圍形成有連接電極123。該連接電極123經由形成於城堡形部分126的側面電極125而電性連接於安裝端子124。基底板120在接合面122上，經由密封材料141(參照圖2(a)、圖2(b))而接合于壓電振動片130的框部132的-Y'軸側的面。另外，此時，連接電極123與壓電振動片130的引出電極135形成電性連接。
    蓋板110配置在壓電振動片130的+Y'軸側。在蓋板110的-Y'軸側的面上形成有凹部111，在凹部111的周圍形成有接合面112。蓋板110在接合面112上，經由密封材料141(參照圖2(a)、圖2(b))而接合于壓電振動片130的框部132的+Y'軸側的面。
    圖2(a)是壓電元件100的截面圖。圖2(a)是圖1的A-A截面的截面圖。對於壓電元件100而言，蓋板110的接合面112經由密封材料141而接合于壓電振動片130的框部132的+Y'軸側的面，基底板120的接合面122經由密封材料141而接合於框部132的-Y'軸側的面。當壓電振動片130的框部132與基底板120的接合面122接合時，框部132的-Y'軸側的面上所形成的引出電極135與基底板120的接合面122所形成的連接電極123會形成電性連接。借此，激振電極134經由引出電極135、連接電極123、以及側面電極125而電性連接於安裝端子124。
    圖2(b)是壓電振動片130的平面圖。壓電振動片130包含：激振部131；框部132，將激振部131予以包圍；以及一根連結部133，將激振部131與框部132予以連結。連結部133連結於激振部131的-X軸側的邊即第一邊138a的中央，且從該中央向-X軸方向延伸，從而連結於框部132。另外，激振部131與框部132之間的連結部133以外的區域成為貫通孔136，該貫通孔136沿著Y'軸方向，將壓電振動片130予以貫通。激振部131形成為矩形形狀，該矩形形狀包含第一邊138a、與激振部131的+Z'軸側及-Z'軸側的邊即第二邊138b。另外，可將激振部131分成第一區域131a、第二區域131b、以及第三區域131c地進行考慮，所述第一區域131a形成有激振電極134，所述第二區域131b直接連結於連結部133，所述第三區域131c為第一區域131a及第二區域131b以外的區域。第三區域131c形成在第一區域131a與第二區域131b之間。
    在壓電振動片130中，從+Y'軸側的面上所形成的激振電極134引出的引出電極135，是通過第三區域131c、第二區域131b、以及連結部133而引出至-X軸側的框部132，接著通過框部132的+Z'軸側而向+X軸方向延伸，經由側面135a(參照圖1及圖2(a)、圖2(b))，從+Y'軸側引出至-Y'軸側的面，然後形成至框部132的-Y'軸側的面的+X軸側的+Z'軸側的角部為止，所述側面135a包含與貫通孔136相向的框部132的+X軸側的+Z'軸側的角部。另外，從-Y'軸側的面上所形成的激振電極134引出的引出電極135，是通過第二區域131b以及連結部133而引出至-X軸側的框部132為止，接著向-Z'軸方向延伸，形成至框部132的-Y'軸側的面的-X軸側的-Z'軸側的角部為止。
    圖3(a)是未形成有電極的壓電振動片130的平面圖。激振部131的第一邊138a的長度為長度LZ1，第二邊138b形成為長度LX2。在壓電振動片130中，第一邊138a為激振部131的短邊，第二邊138b為激振部131的長邊，因此，長度LZ1比長度LX2更短。另外，將壓電振動片130的框部132的X軸方向的整個長度設為長度WX1，將Z'軸方向的整個長度設為長度WZ1，將沿著Z'軸方向延伸的框部132的X軸方向的寬度設為寬度WX2，將沿著X軸方向延伸的框部132的Z'軸方向的寬度設為寬度WZ2。在壓電振動片130中，例如關於所述各長度，長度LZ1形成為1.0 mm，長度LX2形成為1.4 mm，長度WX1形成為2.0 mm，寬度WX2形成為0.2 mm，長度WZ1形成為1.6 mm，寬度WZ2形成為0.2 mm。另外，若將壓電振動片130的連結部133的Z'軸方向的長度設為長度RZ1，將第二區域131b的X軸方向的長度設為長度RX1，則在壓電振動片130中，例如長度RZ1形成為0.2 mm，長度RX1形成為0.1 mm。
    圖3(b)是壓電振動片130的截面圖。圖3(b)表示圖2(b)的B-B截面圖。對於壓電振動片130而言，框部132在Y'軸方向上的厚度形成為第四厚度T4，連結部133及激振部131的第二區域131b的Y'軸方向的厚度形成為第一厚度T1，激振部131的第一區域131a及第三區域131c的Y'軸方向的厚度形成為第二厚度T2。在壓電振動片130中，例如，第四厚度T4形成為80 μm，第一厚度T1形成為70 μm，第二厚度T2形成為40 μm。 〈壓電振動片230的構成〉
    也可在壓電振動片的第一區域131a中形成臺面部，該臺面部的Y'軸方向的厚度比第三區域131c更厚。以下，作為壓電振動片130的變形例，對形成有臺面部的壓電振動片230進行說明。另外，在以下的說明中，對與壓電振動片130相同的構成部分使用相同的記號，且將該構成部分的說明予以省略。
    圖4(a)是壓電振動片230的平面圖。壓電振動片230是臺面型的壓電振動片(mesa-type piezoelectric vibrating piece)，該臺面型的壓電振動片的激振部131的第一區域131a在Y'軸方向上，形成得比第三區域131c更厚。臺面型的壓電振動片可抑制彎曲振動，該彎曲振動相對於激振部所產生的厚度剪力振動而言是多餘的振動，從而可抑制晶體阻抗(Crystal Impedance，CI)值等的特性的劣化，因此優選。壓電振動片230的其他構成與壓電振動片130相同。
    圖4(b)是壓電振動片230的截面圖。圖4(b)是圖4(a)的C-C截面圖。在壓電振動片230中，第一區域131a的Y'軸方向的厚度、連結部133的Y'軸方向的厚度、以及第二區域131b的厚度形成為厚度T1，且形成得比第三區域131c的Y'軸方向的厚度即厚度T2更厚。
    圖4(c)是壓電振動片230的放大部分截面圖。圖4(c)是圖4(b)的虛線所包圍的框161的放大圖。在壓電振動片230中，第二區域131b及第一區域131a是向+Y'軸方向，從第三區域131c僅多出厚度T5而形成，且是向-Y'軸方向，從第三區域131c僅多出厚度T5而形成。即，在壓電振動片230中，第二區域131b及第一區域131a的厚度相等，且是從第三區域131c向+Y'軸方向及-Y'軸方向，以相等的厚度而形成。因此，在壓電振動片230的製造步驟中，可借由一次性的蝕刻(etching)來同時形成連結部133、第二區域131b、以及第一區域131a的外形。因此，壓電振動片230與壓電振動片130相比較，步驟不會增加，可製作臺面型的壓電振動片，該臺面型的壓電振動片的第一區域131a在Y'軸方向上，形成得比第三區域131c更厚。 〈模擬(simulation)〉
    當彎曲應力施加至安裝有壓電元件的印刷基板時，彎曲應力也會施加至壓電元件以及壓電振動片。可借由模擬來對此種施加有彎曲應力的壓電振動片的部分及該部分的大小進行計算，且已確認所述模擬的值接近於實際測定的彎曲應力的值。以下，對如下的彎曲應力的模擬結果進行說明，所述彎曲應力是在彎曲應力施加至安裝有壓電元件的印刷基板時，施加至壓電振動片的彎曲應力。另外，在以下的說明中，對與壓電振動片130相同的部分使用與壓電振動片130相同的記號，且將該部分的說明予以省略。
    圖5(a)是印刷基板200及安裝於印刷基板200的壓電元件100的概略截面圖。在印刷基板200的+Y'軸側的面上安裝有壓電元件100。在類比中，設想如下的狀態，即，+Y'軸方向的力170施加至印刷基板200的-Y'軸側的面，在印刷基板200中產生彎曲應力。另外，在模擬中，設想彎曲應力使印刷基板200向X軸方向彎曲的情況(當圖5(a)中的右方向為+X軸方向時：X軸彎曲)、與彎曲應力使印刷基板200向Z'軸方向彎曲的情況(當圖5(a)中的右方向為+Z'軸方向時：Z'軸彎曲)。
    圖5(b)是壓電振動片330a的概略平面圖。在圖5(b)中，未表示形成于壓電振動片330a的電極，僅表示了外形。壓電振動片330a包含：激振部331、框部132、以及連結部333a，該連結部333a將激振部331與框部132予以連結。激振部331包含：第一區域131a，形成有激振電極；以及周邊區域331b，將第一區域131a予以包圍而形成。第一區域131a在Y'軸方向上的厚度形成為第一厚度T1，周邊區域331b在Y'軸方向上的厚度形成為第二厚度T2，該第二厚度T2比第一厚度T1更薄。另外，連結部333a的Y'軸方向的厚度形成為第二厚度T2，且Z'軸方向的寬度形成為寬度L1a，所述連結部333a將激振部331的-X軸側的邊的中央與框部132予以連結。
    圖5(c)是壓電振動片330b的概略截面圖。在圖5(c)中，未表示形成于壓電振動片330b的電極，且僅表示了外形。壓電振動片330b包含：激振部331、框部132、以及一對連結部333b，該一對連結部333b將激振部331與框部132予以連結。在壓電振動片330b中，一對連結部333b分別連結於激振部331的-X軸側的邊的+Z'軸側及-Z'軸側的端部。另外，各連結部333b的Z'軸方向的寬度形成為寬度L1b。
    圖6是表示施加至第一區域131a的中央的應力的圖解。縱軸表示施加至激振部331的第一區域131a的中央的應力，正值表示施加拉伸應力，負值表示施加壓縮應力。橫軸表示壓電振動片330a的連結部333a的寬度L1a為0.32 mm、0.52 mm、0.72 mm時、以及壓電振動片330b的連結部333b的寬度L1b為0.34 mm時的Z'軸彎曲、及X軸彎曲的各個情況。
    當壓電振動片330a的寬度L1a為0.32 mm時，在Z'軸彎曲中，施加-0.55 MPa的應力，在X軸彎曲中，施加0.06 MPa的應力。當壓電振動片330a的寬度L1a為0.52 mm時，在Z'軸彎曲中，施加-2.05 MPa的應力，在X軸彎曲中，施加0.38 MPa的應力。當壓電振動片330a的寬度L1a為0.72 mm時，在Z'軸彎曲中，施加-3.66 MPa的應力，在X軸彎曲中，施加0.90 MPa的應力。當壓電振動片330b的寬度L1b為0.34 mm時，在Z'軸彎曲中，施加-4.30 MPa的應力，在X軸彎曲中，施加0.84 MPa的應力。
    根據圖6的圖解，已知：與連結部的根數為兩根時相比較，當連結部的根數為一根時，施加至連結部的應力更高。另外，已知：當連結部為一根時，連結部的寬度L1a越細，則施加至激振部的第一區域131a的中央的應力越小。因此，根據圖6的圖解，已知：與連結部的根數為兩根時相比較，當連結部的根數為一根時，以及當連結部的Z'軸方向的寬度細時，應力更不易施加至激振部的第一區域131a的中央。
    圖7(a)是表示應力施加至壓電振動片時的施加至連結部的最大應力的圖解。圖7(a)是設想將3000 G的應力施加至壓電元件的+Y'軸側的面的情況，進行類比所得的結果。在圖7(a)中，縱軸表示施加至連結部的最大應力，橫軸表示壓電振動片330a、壓電振動片230a、壓電振動片230b、以及壓電振動片330b。對於壓電振動片230a以及壓電振動片230b而言，在圖4(b)所示的壓電振動片230中，連結部133的寬度RZ1分別為0.32 mm、0.23 mm，連結部133及第二區域131b的Y'軸方向的厚度分別為50 μm、70 μm。在壓電振動片330a中，74.3 MPa的最大應力施加至連結部，在壓電振動片230a中，施加34.6 MPa的最大應力，在壓電振動片230b中，施加24.4 MPa的最大應力，在壓電振動片330b中，施加36.2 MPa的最大應力。
    對壓電振動片330a與壓電振動片230a進行比較之後，已知：若使連結部的厚度變厚，則施加至連結部的應力會變小。以使連結部的Y'-Z'平面的截面積大致相等的方式，形成壓電振動片230a與壓電振動片230b，但在壓電振動片230b中，施加至連結部的應力更小。一般認為原因在於：壓電振動片230b的連結部的厚度比壓電振動片230a的連結部的厚度更厚。壓電振動片330b的連結部形成有兩根連結部，施加至連結部的應力大於壓電振動片230a及壓電振動片230b。
    圖7(b)是表示施加至激振部的第一區域131a的中央的應力的圖解。在圖7(b)中，表示了壓電振動片330a、壓電振動片230a、以及壓電振動片230b的應力。壓電振動片230a與圖6所示的結果相同，且是為了進行比較而再次被表示。對於壓電振動片230a以及壓電振動片230b，計算出了接近于壓電振動片330a的值的應力，壓電振動片230a以及壓電振動片230b與壓電振動片330a同樣地，施加至第一區域131a的應力小。
    根據所述結果，已知：對於壓電振動片而言，當連結部的寬度形成得狹窄時，施加至激振部的應力變小(參照圖6)。另外，預計若使連結部的厚度變厚，則施加至連結部的應力會變小，耐衝擊性優異(參照圖7(a))。此外，已確認：即便使連結部的厚度增大而使連結部的截面積增加，施加至激振部的應力也不會發生大變化(參照圖7(b))。例如，對於壓電振動片330a而言，已知：雖然施加至激振部的應力小(參照圖6)，但施加至連結部的應力高(參照圖7(a))，因此，耐衝擊性弱。然而，在壓電振動片230a以及壓電振動片230b中，可將施加至連結部的應力抑制為低應力(參照圖7(a))，並且也可將施加至激振部的第一區域131a的應力抑制為小應力，因此優選(參照圖7(b))。即，已知：優選使壓電振動片的連結部形成狹窄的寬度，且形成大厚度。而且，在激振部中，應力會集中於連結部133與第一邊138a所形成的角部(例如圖4(a)的角部196)，從而容易因以該角部為起點的裂縫而引起破損。所述裂縫是從形成角部的連結部133的側面與第一邊138a起，向彼此相等的角度的方向(圖4(a)的空心箭頭197的方向)產生。在壓電振動片230a以及壓電振動片230b中，將角部的裂縫的產生方向的Y'軸方向的厚度形成為大厚度，借此，角部的強度增加，因此，不易產生以連結部133與第一邊138a所形成的角部為起點的裂縫，可防止激振部的破損。 (第二實施方式)
    壓電振動片的激振部及連結部的階差也可形成為斜面。以下，對形成有斜面的壓電振動片430a及壓電振動片430b進行說明。 〈壓電振動片430a的構成〉
    圖8(a)是壓電振動片430a的截面圖。壓電振動片430a包含：激振部431a、框部132、以及連結部433。壓電振動片430a具有如下的形狀，該形狀是在壓電振動片130(參照圖3(b))中的第二區域131b與第三區域131c的邊界、及連結部433與框部132的邊界形成斜面171而成。以使+Y'軸方向與斜面171的法線方向所成的角度為小於90度的角度的方式，形成斜面171。形成于壓電振動片430a的引出電極135是通過所述斜面171，從激振電極134引出至框部132為止。 〈壓電振動片430b的構成〉
    圖8(b)是壓電振動片430b的截面圖。壓電振動片430a包含：激振部431b、框部132、以及連結部433。壓電振動片430b在壓電振動片230(參照圖4(b))中的第一區域131a與第三區域131c的邊界、第二區域131b與第三區域131c的邊界、以及連結部433與框部132的邊界上形成有斜面171。形成于壓電振動片430b的引出電極135是通過所述斜面171，從激振電極134引出至框部132為止。
    借由如下的方法來形成壓電振動片上所形成的電極，所述方法例如是從壓電振動片的+Y'軸方向或-Y'軸方向，對電極進行濺鍍。此時，當在具有階差的壓電振動片上形成電極時，存在如下的情況，即，在階差的角部，電極的厚度變薄，導致電極的電阻上升。在壓電振動片430a以及壓電振動片430b中，經由斜面171而形成引出電極135，借此，可將形成於角部的電極的厚度形成為大厚度，從而抑制電極的電阻的上升。 (第三實施方式)
    在壓電振動片的連結部中，也可在連結部的側面形成輔助連結部。以下，對形成有輔助連結部的壓電振動片進行說明。 〈壓電振動片530a的構成〉
    圖9(a)是壓電振動片530a的平面圖。壓電振動片530a包含：激振部531a、框部132、連結部133、以及第一輔助連結部533。第一輔助連結部533形成在連結部133的+Z'軸側及-Z'軸側的側面。另外，激振部531a的第二區域131b包括第一連結區域539a與第二連結區域539b。第一連結區域539a在Y'軸方向上形成為與連結部133相同的厚度，且直接連結於連結部133，第二連結區域539b形成在第一連結區域539a的+Z'軸側及-Z'軸側，在Y'軸方向上形成為與第一輔助連結部533相同的厚度，且直接連結於第一輔助連結部533。其他構成與壓電振動片230(參照圖4(a))相同。
    圖9(b)是壓電振動片530a的截面圖。圖9(b)是圖9(a)的E-E截面圖。在壓電振動片430中，第一連結區域539a的Y'軸方向的厚度形成為第一厚度T1，第二連結區域539b的Y'軸方向的厚度形成為第三厚度T3。第三厚度T3比激振部131的第三區域131c的第二厚度T2更厚，且比第一連結區域539a的第一厚度T1更薄。
    圖9(c)是壓電振動片530a的截面圖。圖9(c)是圖9(a)的F-F截面圖。連結部133在Y'軸方向上形成為第一厚度T1，第一輔助連結部533在Y'軸方向上形成為第三厚度T3。另外，連結部133是以第一厚度T1而直接連結於第一連結區域539a，第一輔助連結部533是以第三厚度T3而直接連結於第二連結區域539b。
    當在Y'軸方向上，較深地對壓電振動片進行蝕刻時，存在如下的情況，即，不與蝕刻方向呈平行地對壓電振動片的蝕刻區域進行蝕刻。例如，當在壓電振動片530a中未形成有第一輔助連結部533時，存在如下的情況，即，連結部133的+Z'軸側及-Z'軸側的側面的Y'軸方向的中央附近部分會向連結部133側被挖掘。此時，連結部133的經挖掘的部分變細，因此，連結部133的強度降低，壓電振動片的耐衝擊性下降。在壓電振動片530a中，在連結部133的+Z'軸側及-Z'軸側的側面形成有第一輔助連結部533，因此，連結部133的+Z'軸側及-Z'軸側的側面不會向連結部133側大幅度地被挖掘，連結部133的強度不會降低，壓電振動片的耐衝擊性不會下降，因此優選。 〈壓電振動片530b的構成〉
    圖10(a)是壓電振動片530b的平面圖。壓電振動片530b包含：激振部531b、框部132、連結部133、以及第一輔助連結部533。在壓電振動片530b中，在第二區域131b中形成有第一連結區域539a與第三連結區域539c，在連結部133的+Z'軸側及-Z'軸側的側面形成有第一輔助連結部533。第一連結區域539a連結於連結部133，第三連結區域539c連結於第一輔助連結部533。另外，第三連結區域539c是以將第一連結區域539a與第三區域131c之間予以分開的方式，形成在第一連結區域539a的周圍。其他構成與壓電振動片230(參照圖4(a))相同。
    圖10(b)是壓電振動片530b的截面圖。圖10(b)是圖10(a)的G-G截面圖。在壓電振動片530b中，連結部133的Y'軸方向的厚度及第一連結區域539a的厚度形成為第四厚度T4，第一輔助連結部533的Y'軸方向的厚度、第三連結區域539c的Y'軸方向的厚度、以及第一區域131a的Y'軸方向的厚度形成為第一厚度T1。
    與壓電振動片530a同樣地，在壓電振動片530b中形成有第一輔助連結部533，借此，連結部133的+Z'軸側以及-Z'軸側的側面不會因蝕刻而大幅度地被挖掘。另外，第一輔助連結部533、第三連結區域539c、以及第一區域131a的厚度形成為相等的厚度，借此，可利用一次性的蝕刻來形成第一輔助連結部533、第三連結區域539c、以及第一區域131a，從而可使蝕刻步驟的次數減少，因此優選。 〈壓電振動片530b的製作方法〉
    參照圖11(a)~圖11(d)及圖12(a)~圖12(d)所示的流程圖，對壓電振動片530b的製作方法進行說明。另外，在圖11(a)~圖11(d)及圖12(a)~圖12(d)的流程圖的右側，表示了用以對圖11(a)~圖11(d)及圖12(a)~圖12(d)所示的各步驟進行說明的圖。這些圖是形成有多個壓電振動片530b的壓電晶圓W530的相當於圖10(a)所示的壓電振動片530的G-G截面的部分截面圖。
    圖11(a)~圖11(d)是表示壓電振動片530b的製作方法的流程圖。另外，在流程圖的各步驟的右側，表示了用以對各步驟進行說明的圖即圖11(a)~圖11(d)。
    在步驟S101中，準備壓電晶圓W530。圖11(a)是壓電晶圓W530的部分截面圖。壓電材料所形成的壓電晶圓W530的+Y'軸側及-Y'軸側的面形成為平面，在壓電晶圓W530上形成有多個壓電振動片530b。另外，壓電晶圓W530的Y'軸方向的厚度形成為第四厚度T4。
    在步驟S102中，在壓電晶圓W530上形成金屬膜181及光阻劑(photoresist)182。圖11(b)是形成有金屬膜181及光阻劑182的壓電晶圓W530的部分截面圖。在步驟S102中，首先，在壓電晶圓W530的+Y'軸側及-Y'軸側的面上形成金屬膜181。例如，在壓電晶圓W530上形成鉻(Cr)層，將金(Au)層蒸鍍於鉻層的表面，借此來形成金屬膜181。接著，在金屬膜181的表面上形成光阻劑182。
    在步驟S103中，對光阻劑182進行曝光、顯影以及將金屬膜181子以除去。圖11(c)是光阻劑182已曝光、顯影以及金屬膜181已被除去的壓電晶圓W530的部分截面圖。在步驟S103中，首先，對壓電晶圓W530的激振部531b的第一區域131a、第三區域131c、第二區域131b的第三連結區域539c、以及相當於貫通孔136的區域的+Y'軸側及-Y'軸側的區域中所形成的光阻劑182進行曝光及顯影。接著，將光阻劑182已顯影的區域中所形成的金屬膜181予以除去。
    在步驟S104中，對壓電晶圓W530進行蝕刻。圖11(d)是在步驟S104中經蝕刻之後的壓電晶圓W530的部分截面圖。對壓電晶圓W530進行蝕刻的區域是已利用步驟S103將光阻劑182及金屬膜181予以除去的區域。壓電晶圓W530是以如下的方式形成，即，對+Y'軸側及-Y'軸側的面進行蝕刻，借此，使經蝕刻的區域的壓電晶圓W530的厚度達到第一厚度T1。在壓電晶圓W530的未經蝕刻的區域中，包含：框部132、連結部133、以及第二區域的第一連結區域539a，形成有所述部分的區域的Y'軸方向的厚度保持第四厚度T4。
    圖12(a)~圖12(d)是表示壓電振動片530b的製作方法的流程圖。在圖12(a)~圖12(d)所示的流程圖中，表示了圖11(a)~圖11(d)的流程圖的後續流程。另外，在流程圖的各步驟的右側，表示了用以對各步驟進行說明的圖即圖12(a)~圖12(d)。
    在步驟S105中，在壓電晶圓W530上形成光阻劑182及金屬膜181。步驟S105是緊接著圖11(a)~圖11(d)的步驟S104來進行的步驟。另外，圖12(a)是形成有光阻劑182及金屬膜181的壓電晶圓W530的部分截面圖。在步驟S105中，形成於壓電晶圓W530的光阻劑182及金屬膜181全部被除去，然後，重新在壓電晶圓W530的+Y'軸側及-Y'軸側的面上形成金屬膜181及光阻劑182。
    在步驟S106中，對光阻劑182進行曝光、顯影以及將金屬膜181予以除去，對壓電晶圓W530進行蝕刻。圖12(b)是經蝕刻的壓電晶圓W530的部分截面圖。在步驟S106中，首先，對壓電晶圓W530的激振部531b的第三區域131c、以及相當於貫通孔136的區域的+Y'軸側及-Y'軸側的區域中所形成的光阻劑182進行曝光及顯影。接著，將光阻劑182已被除去的區域中所形成的金屬膜181予以除去。然後，對壓電晶圓W530進行蝕刻，經蝕刻的區域的壓電晶圓W530的厚度形成為第二厚度T2。
    在步驟S107中，對壓電晶圓W530進行蝕刻，形成貫通孔136。圖12(c)是形成有貫通孔136的壓電晶圓W530的部分截面圖。在步驟S106之後，在步驟S107中，形成於壓電晶圓W530的光阻劑182及金屬膜181全部被除去。然後，重新在壓電晶圓W530的+Y'軸側及-Y'軸側的面上形成金屬膜181及光阻劑182。接著，對壓電晶圓W530的相當於貫通孔136的區域的+Y'軸側及-Y'軸側的區域中所形成的光阻劑182進行曝光及顯影，將光阻劑182已顯影的區域中所形成的金屬膜181予以除去。接著，對壓電晶圓W530進行蝕刻，經蝕刻的區域的壓電晶圓W530在Y'軸方向上貫通。該壓電晶圓W530在Y'軸方向上貫通而成的區域成為貫通孔136。
    在步驟S108中，在壓電晶圓W530上形成電極。圖12(d)是形成有電極的壓電晶圓W530的部分截面圖。在步驟S107之後，在步驟S108中，形成於壓電晶圓W530的光阻劑182及金屬膜181全部被除去，然後，在壓電晶圓W530上形成激振電極134以及引出電極135。
    根據以上內容，在壓電晶圓W530上形成多個壓電振動片530b。另外，在步驟S108之後，將壓電晶圓W530經由密封材料141(參照圖2(a))，接合于形成有多個蓋板110的蓋晶圓(未圖示)及形成有多個基底板120的基底晶圓(未圖示)。然後，將已接合的晶圓予以切斷且分割成單個的晶圓，借此來形成壓電元件。
    在圖11(a)~圖11(d)及圖12(a)~圖12(d)所示的壓電振動片530b的製作過程中，分別在步驟S104、步驟S106、以及步驟S107中，對壓電晶圓W530進行蝕刻。在壓電振動片530b中，第三連結區域539c、第一區域131a、以及第一輔助連結部533形成為相同的厚度，借此，如步驟S106所示，可利用一次性的蝕刻來形成第三連結區域539c、第一區域131a、以及第一輔助連結部533，從而可使蝕刻步驟減少，因此優選。 (第四實施方式)
    對於壓電振動片而言，應力會集中于形成有角部的部位，容易引起以角部為起點的破損。以下，對所述破損已被防止的壓電振動片進行說明。 〈壓電振動片630a以及壓電振動片630b的構成〉
    形成于壓電振動片的第二區域的Z'軸方向的寬度，也可形成得大於連結部的Z'軸方向的寬度。以下，對壓電振動片630a進行說明，該壓電振動片630a的第二區域的Z'軸方向的寬度，形成得大於連結部的Z'軸方向的寬度。
    圖13(a)是壓電振動片630a的平面圖。壓電振動片630a是由激振部631a、框部132、以及連結部133形成。激振部631a的第二區域131b的Z'軸方向的寬度形成為寬度LZ2，第二區域131b中所含的第一邊138a的寬度也形成為寬度LZ2。另外，寬度LZ2形成得大於連結部133的Z'軸方向的寬度RZ1。借此，連結部133與激振部631a所形成的角部191，是形成為被連結部133與第二區域131b包圍，所述連結部133與第二區域131b形成為第一厚度T1。其他構成與圖2(b)所示的壓電振動片130相同。
    圖13(b)是壓電振動片630b的部分平面圖。在圖13(b)中，表示了壓電振動片630b的-X軸側的一半的平面圖。壓電振動片630b是由激振部631b、框部132、以及連結部133形成。激振部631b的第二區域131b的Z'軸方向的寬度形成為寬度LZ1，該寬度LZ1是與激振部631b的Z'軸方向的寬度相同的寬度。因此，連結部133與激振部631b所形成的角部192，是形成為被連結部133與第二區域131b包圍，所述連結部133與第二區域131b形成為第一厚度T1。其他構成與圖2(b)所示的壓電振動片130相同。
    圖13(c)是壓電振動片630c的部分平面圖。在圖13(c)中，表示了壓電振動片630c的-X軸側的一半的平面圖。壓電振動片630c是由激振部631c、框部132、連結部133、以及第一輔助連結部533形成。在壓電振動片630c中，在激振部631c的第二區域131b中形成有第一連結區域539a與第三連結區域639c，在連結部133的+Z'軸側及-Z'軸側的側面形成有第一輔助連結部533。第一連結區域539a連結於連結部133，第三連結區域639c連結於第一輔助連結部533。另外，第三連結區域639c是以將第一連結區域539a與第三區域131c之間予以分開的方式，形成在第一連結區域539a的周圍。激振部631c的第二區域131b的Z'軸方向的寬度形成為寬度LZ3，第二區域131b中所含的第一邊138a的寬度也形成為寬度LZ3。另外，寬度LZ3形成得比Z'軸方向的寬度RZ2更大，該Z'軸方向的寬度RZ2是將連結部133及第一輔助連結部533合併而成的寬度。借此，第一輔助連結部533與激振部631c所形成的角部193，是形成為被第一輔助連結部533與第三連結區域639c包圍，所述第一輔助連結部533與第三連結區域639c形成為第一厚度T1。其他構成與壓電振動片530b(參照圖10(a))相同。
    在壓電振動片中，應力容易施加至連結部與激振部所形成的角部，且容易以該角部為起點而在壓電振動片中產生裂縫。在壓電振動片630a、壓電振動片630b、以及壓電振動片630c中，將角部191、角部192、以及角部193的Y'軸方向的厚度形成為大厚度，借此，角部的強度增加，因此，不易產生以角部191、角部192、以及角部193為起點的裂縫。 〈壓電振動片730a、壓電振動片730b、以及壓電振動片730c的構成〉
    也可以曲面或平面來對形成于壓電振動片的第二區域的角部進行斜切。以下，對第二區域的角部經斜切的壓電振動片進行說明。
    圖14(a)是壓電振動片730a的平面圖。壓電振動片730a是由激振部731a、框部132、以及連結部133形成。在壓電振動片730a中，以平面739a來對激振部731a的第二區域131b的激振電極134側所形成的側面的角部進行切割，借此來進行斜切。其他構成與圖2(b)所示的壓電振動片130相同。
    圖14(b)是壓電振動片730b的部分平面圖。圖4(b)表示壓電振動片730b的-X軸側的一半的平面圖。在壓電振動片730b中，第二區域131b的激振電極134側的側面是以包括曲面739b的方式而形成，所述曲面739b的平面形狀為圓形的一部分。因此，第二區域131b中不存在角部。壓電振動片730b的其他構成與圖2(b)所示的壓電振動片130相同。
    圖14(c)是壓電振動片730c的部分平面圖。圖4(c)表示壓電振動片730c的-X軸側的一半的平面圖。在壓電振動片730c中，第二區域131b的激振電極134側的側面是以包括曲面739c的方式而形成。所述曲面739c的平面形狀為如下的形狀，即，在+X軸方向上形成有兩個山狀部，在第二區域131b中不存在角部。壓電振動片730c的其他構成與圖2(b)所示的壓電振動片130相同。
    在壓電振動片730a、壓電振動片730b、以及壓電振動片730c中，在激振部的第二區域中未形成有角度為90度以下的角部。因此，第二區域131b中無應力集中的部位，從而防止由第二區域131b的角部引起的壓電振動片的破損。 〈壓電振動片830a、壓電振動片830b、壓電振動片830c的構成〉
    也可在連結部與激振部的第一邊之間所形成的角部，形成第二輔助連結部。以下，對形成有第二輔助連結部的壓電振動片進行說明。
    圖15(a)是壓電振動片830a的部分平面圖。在圖15(a)中，表示了壓電振動片830a的-X軸側的一半的平面圖。壓電振動片830a是由激振部131、框部132、連結部133、以及第二輔助連結部833a形成。第二輔助連結部833a形成在連結部133的+Z'軸側及-Z'軸側，且Y'軸方向的厚度形成為與第三區域131相同的第二厚度T2(參照圖3(b))。另外，包含角部194地形成第二輔助連結部833a，所述角部194形成在連結部133與激振部131及框部132之間。其他構成與圖2(b)所示的壓電振動片130相同。
    圖15(b)是壓電振動片830b的部分平面圖。在圖15(b)中，表示了壓電振動片830b的-X軸側的一半的平面圖。與壓電振動片830a同樣地，壓電振動片830b也具有如下的形狀，即，在壓電振動片130上形成有第二輔助連結部。形成于壓電振動片830b的第二輔助連結部833b形成為第二厚度T2，且該第二輔助連結部833b形成於角部194，該角部194形成在連結部133與激振部131及框部132之間。關於第二輔助連結部833b的平面形狀，各第二輔助連結部833b的X-Z'平面的平面形狀形成為三角形。該三角形的兩條邊形成於第一邊138a及連結部133的側面，另一條邊是由不與X軸方向及Z'軸方向呈平行的直線形成。因此，如圖15(b)所示，在連結部133與第一邊138a及框部132之間，未形成有90度以下的角部。
    圖15(c)是壓電振動片830c的部分平面圖。在圖15(c)中，表示了壓電振動片830c的-X軸側的一半的平面圖。與壓電振動片830a同樣地，壓電振動片830c也具有如下的形狀，即，在壓電振動片130上形成有第二輔助連結部。形成于壓電振動片830c的第二輔助連結部833c形成為第二厚度T2，且該第二輔助連結部833c形成於連結部133的+Z'軸側及-Z'軸側的側面。第二輔助連結部833c的處於連結部133相反側的側面是形成為向連結部133側凹陷的曲面。因此，第二輔助連結部833c與第一邊138a及框部132之間的角部194未形成為90度以下的角部。
    圖15(d)是壓電振動片830d的部分平面圖。在圖15(d)中，表示了壓電振動片830d的-X軸側的一半的平面圖。壓電振動片830d是由激振部831、框部132、連結部133、以及第二輔助連結部833d形成。第二輔助連結部833d形成為與連結部133及第二區域131b的厚度相同的第一厚度T1，且該第二輔助連結部833d形成於角部194，該角部194形成在連結部133與激振部831及框部132之間。關於第二輔助連結部833d的平面形狀，各第二輔助連結部833d的X-Z'平面的平面形狀形成為三角形。該三角形的兩條邊形成於第一邊138a及連結部133的側面，另一條邊是由不與X軸方向及Z'軸方向呈平行的直線形成。因此，如圖15(d)所示，在連結部133與第一邊138a及框部132之間，未形成有90度以下的角部。另外，激振部831的第二區域131b在Z'軸方向上的寬度形成為寬度LZ4，該寬度LZ4形成得大於連結部133的Z'軸方向的寬度即寬度RZ2。另外，第二區域131b在第一邊138a上形成為寬度LZ4，該第二區域131b是以第一厚度T1而直接連結於連結部133及+X軸側的第二輔助連結部833d。另外，在圖15(d)所示的壓電振動片830d中，第二輔助連結部的平面形狀也可以包括如下的曲面的方式而形成，所述曲面是如圖15(c)所示的第二輔助連結部833c那樣的向連結部133側凹陷的曲面。
    在壓電振動片830a中，借由第二輔助連結部833a來將連結部133與第一邊138a及框部132之間的角部194予以加強。另外，在壓電振動片830b及壓電振動片830c中，借由第二輔助連結部833b及第二輔助連結部833c來將連結部133與第一邊138a及框部132之間的角部194予以加強，並且第一邊138a與連結部133之間的角部不會變成90度以下，因此，不易產生以第一邊138a與連結部133之間的角部139為起點的裂縫。 〈壓電振動片930a、壓電振動片930b的構成〉
    在壓電振動片中，在框部也形成有角部。如圖15(b)及圖15(c)所示，當以大於90度的角度來形成角部時，可防止角部成為裂縫等的起點。因此，也可在框部形成輔助框部，該輔助框部用以將框部的角部予以加強。以下，對在框部的角部形成有輔助框部的壓電振動片進行說明。
    圖16(a)是壓電振動片930a的平面圖。壓電振動片930a是由激振部131、框部132、連結部133、以及輔助框部932a形成。輔助框部932a分別形成在框部132的與激振部131相向的側面的四個角落。各輔助框部932a的X-Z'平面的平面形狀形成為三角形，三角形的兩條邊由框部132的側面共用，另外一條邊是由不與X軸方向及Z'軸方向呈平行的直線形成。因此，借由輔助框部932a來防止框部132的激振部131側側面的四個角落的角部195變為90度以下。
    圖16(b)是壓電振動片930b的平面圖。壓電振動片930b是由激振部131、框部132、連結部133、以及輔助框部932b形成。輔助框部932b分別形成在框部132的與激振部131相向的側面的四個角落。各輔助框部932b的X-Z'平面的平面形狀形成為如下的形狀，該形狀被由框部132的側面共用的兩條邊、及向角部195側凹陷的曲線包圍。與壓電振動片930a同樣地，在壓電振動片930b中，也防止框部132的激振部131側側面的四個角落的角部195變為90度以下。
    在壓電振動片930a及壓電振動片930b中，在框部132的角部195形成有輔助框部，借此，不易產生以框部132的角部195為起點的裂縫，耐衝擊性提高。另外，輔助框部形成為與框部132、連結部133、以及第三區域131c的厚度均相同的厚度，借此，可使壓電振動片的製作步驟中的蝕刻次數減少，因此優選。
    以上，已詳細地對本發明的最佳實例進行了說明，但本領域技術人員顯然瞭解：可在本發明的技術範圍內，對實例添加各種變更、變形來實施。
    例如，在所述實施方式中，第一邊形成得比第二邊更短，但第一邊也可形成得比第二邊更長。另外，在所述實施方式中所說明的基底板120的四個角落，形成有圓筒形的城堡形部分126，但也可在基底板上，形成從基底板的角部沿著短邊方向延伸的形狀的城堡形部分、或以不包含基底板的四個角落的方式而形成於基底板的短邊的形狀的城堡形部分等。
    另外，在所述實施方式中，已表示了壓電振動片為AT切割石英晶體振動片的情況，但同樣地，即使所述壓電振動片是以厚度切變振動模式(thickness-shear vibration mode)而發生振動的BT切割石英晶體振動片，也同樣適用。而且，壓電振動片基本上不僅可應用晶體材料，而且可應用包含鉭酸鋰或鈮酸鋰或者壓電陶瓷的壓電材料。
    100‧‧‧壓電元件
    110‧‧‧蓋板
    111、121‧‧‧凹部
    112、122‧‧‧接合面
    120‧‧‧基底板
    123‧‧‧連接電極
    124‧‧‧安裝端子
    125‧‧‧側面電極
    126‧‧‧城堡形部分
    130、230、230a、230b、330a、330b、430a、430b、530a、530b、630a、630b、630c、730a、730b、730c、830a、830b、830c、930a、930b‧‧‧壓電振動片
    131、431a、431b、531a、531b、631a、631b、631c、731a、831‧‧‧激振部
    131a‧‧‧第一區域
    131b‧‧‧第二區域
    131c‧‧‧第三區域
    132‧‧‧框部
    133、333a、333b、433‧‧‧連結部
    134‧‧‧激振電極
    135‧‧‧引出電極
    135a‧‧‧側面
    136‧‧‧貫通孔
    138a‧‧‧第一邊
    138b‧‧‧第二邊
    141‧‧‧密封材料
    161‧‧‧框
    170‧‧‧力
    171‧‧‧斜面
    181‧‧‧金屬膜
    182‧‧‧光阻劑
    191、192、193、194、195、196‧‧‧角部
    197‧‧‧空心箭頭
    200‧‧‧印刷基板
    331b‧‧‧周邊區域
    533‧‧‧第一輔助連結部
    539a‧‧‧第一連結區域
    539b‧‧‧第二連結區域
    539c、639c‧‧‧第三連結區域
    739a‧‧‧平面
    739b、739c‧‧‧曲面
    833a、833b、833c、833d‧‧‧第二輔助連結部
    932a、932b‧‧‧輔助框部
    A-A、B-B、C-C、E-E、F-F、G-G‧‧‧截面
    L1a、L1b、LZ2、LZ3、LZ4、RZ2、WX2、WZ2‧‧‧寬度
    LX2、LZ1、RX1、RZ1、WX1、WZ1‧‧‧長度
    S101~S108‧‧‧步驟
    T1‧‧‧第一厚度
    T2‧‧‧第二厚度
    T4‧‧‧第四厚度
    T5‧‧‧厚度
    W530‧‧‧壓電晶圓
    X、Y'、Z'‧‧‧軸
    圖1是壓電元件100的分解立體圖。
    圖2(a)是壓電元件100的截面圖。圖2(b)是壓電振動片130的平面圖。
    圖3(a)是未形成有電極的壓電振動片130的平面圖。圖3(b)是壓電振動片130的截面圖。
    圖4(a)是壓電振動片230的平面圖。圖4(b)是壓電振動片230的截面圖。圖4(c)是壓電振動片230的放大部分截面圖。
    圖5(a)是印刷基板200及安裝於印刷基板200的壓電元件100的概略截面圖。圖5(b)是壓電振動片230a的概略平面圖。圖5(c)是壓電振動片230b的概略截面圖。
    圖6是表示施加至第一區域131a的中央的應力的圖解。
    圖7(a)是表示應力施加至壓電振動片時的施加至連結部的最大應力的圖解。圖7(b)是表示施加至激振部的第一區域131a的中央的應力的圖解。
    圖8(a)是壓電振動片430a的截面圖。圖8(b)是壓電振動片430b的截面圖。
    圖9(a)是壓電振動片530a的平面圖。圖9(b)是壓電振動片530a的截面圖。圖9(c)是壓電振動片530a的截面圖。
    圖10(a)是壓電振動片530b的平面圖。圖10(b)是壓電振動片530b的截面圖。
    圖11(a)~圖11(d)是表示壓電振動片530b的製作方法的流程圖。
    圖12(a)~圖12(d)是表示壓電振動片530b的製作方法的流程圖。
    圖13(a)是壓電振動片630a的平面圖。圖13(b)是壓電振動片630b的部分平面圖。圖13(c)是壓電振動片630c的部分平面圖。
    圖14(a)是壓電振動片730a的平面圖。圖14(b)是壓電振動片730b的部分平面圖。圖14(c)是壓電振動片730c的部分平面圖。
    圖15(a)是壓電振動片830a的部分平面圖。圖15(b)是壓電振動片830b的部分平面圖。圖15(c)是壓電振動片830c的部分平面圖。圖15(d)是壓電振動片830d的部分平面圖。
    圖16(a)是壓電振動片930a的平面圖。圖16(b)是壓電振動片930b的平面圖。
    110‧‧‧蓋板
    112、122‧‧‧接合面
    120‧‧‧基底板
    123‧‧‧連接電極
    124‧‧‧安裝端子
    125‧‧‧側面電極
    126‧‧‧城堡形部分
    130‧‧‧壓電振動片
    131‧‧‧激振部
    132‧‧‧框部
    133‧‧‧連結部
    134‧‧‧激振電極
    135‧‧‧引出電極
    135a‧‧‧側面
    141‧‧‧密封材料
    X、Y'、Z'‧‧‧軸
    权利要求:
    Claims (10)
    [1] 一種壓電振動片，包括：激振部，為矩形形狀，包含第一邊以及第二邊，所述第一邊沿著第一方向延伸，所述第二邊沿著第二方向延伸，所述第二方向與所述第一方向正交；框部，將所述激振部予以包圍；以及連結部，將所述激振部的所述第一邊與所述框部予以連結，所述連結部在第三方向上具有第一厚度，所述第三方向與所述第一方向及所述第二方向正交，所述激振部包含第一區域、第二區域以及第三區域；在所述第一區域的兩個主面上形成有一對激振電極；所述第二區域包含所述第一邊的至少一部分，且所述第二區域以所述第一厚度而直接連結於所述連結部；所述第三區域配置在所述第一區域與所述第二區域之間，且所述第三區域是所述第一區域及所述第二區域以外的區域，而且所述第三區域在所述第三方向上的厚度為所述第二厚度，所述第二區域在所述第三方向上的厚度形成得比所述第二厚度更厚。
    [2] 如申請專利範圍第1項所述之壓電振動片，其中所述第一區域在所述第三方向上的厚度形成比所述第二厚度更厚。
    [3] 如申請專利範圍第1項所述之壓電振動片，其中所述第二區域借由第二斜面而連接於所述第三區域，所述第二斜面相對於所述第三方向具有預定的角度。
    [4] 如申請專利範圍第1項所述之壓電振動片，更包括：第一輔助連結部，設置於所述連結部的所述第一方向的側面形成有第一輔助連結部，所述第一輔助連結部具有第三厚度，其中所述第三厚度比所述第一厚度更薄且比所述第二厚度更厚，所述激振部的所述第二區域包含具有所述第一厚度的第一連結區域，所述第一連結區域直接連結於所述連結部；以及具有所述第三厚度的第二連結區域，所述第二連結區域連結於所述第一輔助連結部。
    [5] 如申請專利範圍第1項所述之壓電振動片，更包括：第二輔助連結部，設置於所述連結部的所述第一方向的側面，所述第二輔助連結部具有所述所述第二厚度。
    [6] 如申請專利範圍第5項所述之壓電振動片，其中所述第二輔助連結部利用曲面或平面來將所述連結部的所述第一方向的側面與所述第一邊及所述框部予以連結，所述平面具有從所述第一方向朝所述第二方向傾斜了預定角度的法線。
    [7] 如申請專利範圍第1項所述之壓電振動片，其中對所述第二區域的所述激振電極側的側面的角部進行倒角以具有曲面或平面。
    [8] 如申請專利範圍第1項所述之壓電振動片，其中所述連結部在所述第一方向上具有第一寬度，所述第二區域在所述第一方向上具有第二寬度，所述第二區域包含所述第一邊的第二寬度，所述第一寬度小於所述第二寬度。
    [9] 如申請專利範圍第1項所述之壓電振動片，更包括：多個輔助框部，分別設置於所述框部的所述激振部側的側面的四個角落，其中所述輔助框部包含與所述激振部相向的側面，所述與所述激振部相向的側面具有曲面或平面，所述平面具有從所述第一方向朝所述第二方向傾斜了預定角度的法線。
    [10] 一種壓電元件，包括：申請專利範圍1至9中任一項所述的壓電振動片；蓋板，接合於所述壓電振動片的所述框部的一個主面；以及基底板，接合於所述壓電振動片的所述框部的另一個主面。
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