ウェハ・スタックからウェハを分離する方法と装置

专利摘要:
垂直のウェハ・スタック(16)からウェハ(12)を分離する方法で、ウェハ(12)は、上から作用する移動手段(23)を介して上から個別に転送される。移動手段(23)はウェハ(12)の最上部が接する吸引表面(25)を持つ回転ベルト(24)として製造され、吸引表面(25)へのウェハ(12)の接触は負圧の吸引で加速される。他のウェハの上に配置された複数のウェハ(12)を分離するため、移動手段(23)は下記２つステップの少なくとも１つを受け、 ａ）水(30)は最上部のウェハ(12)の先端に力が加わるように下斜めから噴射される。 ｂ）移動手段(23)は移動中ウェハ(12)の下方表面に下から接する剥離装置(32)の上をウェハ(12)が超えるように案内し、双方がウェハ(12)を吸引表面(25)に押しつけブレーキ作用する。 その後、ウェハ(12)は、転送パス(35, 37)へ移動し更なる処理へ転送される。
公开号:JP2011507242A
申请号:JP2010537313
申请日:2008-12-11
公开日:2011-03-03
发明作者:フバー，ラインハルト
申请人:ゲブリューダー シュミット ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー；
IPC主号:H01L21-677

专利说明:

[0001] 本発明は、ウェハ・ブロックを切断して例えば、硝子からなるビームから取出した後、引き続いてウェハ・スタックからウェハを分離する方法、及びこの方法の実施に適した装置に関する。]
背景技術

[0002] シリコン・ウェハ・ブロックを切断した後、ウェハを切断の結果生成されたスタックあるいは他のウェハから分離して、単一の形態となって引き続いて処理されることができるように、個別のウェハに分離する必要がある。ウェハ、あるいは、ウェハ・ブロックが固定されている、ビームからウェハのスタックが解放された後、通常、個々のウェハが次々に上にスタックされるように、垂直に配置される。そして、非常に薄く、それ故、非常に弱く破損しやすいウェハは、手で個々に取出されて、後続のさらなる処理ステーションへとさらに転送するための転送手段の上に配置される。]
[0003] このような作業を手で実行することは、非常に時間と費用がかかるものである。また、非常に弱く破損しやすく薄いウェハを注意深く取扱うことはほとんど不可能であって、その結果、ウェハが破損してしまう、かなりのリスクがあるという課題もある。]
先行技術

[0004] 独国特許第１０２００７０６１４１０．３号明細書]
[0005] 本発明の課題は、上述の従来技術の課題を解決することを可能にする、特に、ウェハ・スタックからウェハを迅速にかつ注意深く分離することができる、上述の方法と装置を提供することである。]
[0006] この課題は、請求項１に記載の特徴を持つ方法、及び請求項１０に記載の特徴を持つこの方法を実施する装置によって解決される。有利で好適な本願発明の発展型は、以下、非常に詳細に記載され、また、その他の請求項に記載の発明によってなされている。この装置の特徴のいくつかは、不必要な繰返しを避けるため、別々に説明されておらず、方法に関連付けてのみ説明されている。さらに、先行出願である、本願と同一の出願人によって２００７年１２月１１日に出願された特許文献１の記載内容をここで引用補充するものとし、添付の特許請求の範囲の記載はここで明示的に本明細書の一部とするものとする。]
[0007] 本発明によれば、回転する、また、下方に向けられている吸引表面を持つように、上方からのウェハ・スタックあるいは最上部の（最も上にある）ウェハに対して作用する移動手段が構成される。この吸引表面上に最も上のウェハは配置されて、その結果、ウェハが吸引表面に係合され、あるいは、真空あるいは吸引によって移動手段上にさらに強く吸引されることができる。このように、移動手段と吸引表面によって、一方の領域は静的摩擦によって、もう一方の領域は真空によって、十分な量の力をウェハに加えることができ、付着しようとする作用があっても、ウェハ・スタックから解放して転送することができる。この付着作用は、ウェハ・スタック表面上の水及び個々のウェハ間の水に起因する、特に、その部分に形成される水素結合力を介した、付着力によってもたらされる。移動手段あるいは最も上にあるウェハにサスペンドされていると呼ばれる、いくつかの重なったウェハの分離を支援するために、少なくとも２つの後続の、ステップａ）、ステップｂ）が実施されて、効果的には、その双方を実施される。ステップａ）においては、水は、最も上のウェハの先端に対して、斜めに、下方から、汲み上げられ、あるいは、噴射される。この目的のため、目的に対応して効果的に構成された、少なくとも１つ、効果的には２あるいはそれ以上の水ノズルが提供される。それらの作用の結果、水噴射は、水に浸された状態で生成されても効果的に機能して、互いに付着した複数のウェハの先端を分離して取出すことができる。]
[0008] ステップｂ）においては、移動中のウェハあるいは複数のグリップされたウェハの下側に下方から係合するように構成される、剥離装置の上を通過するように、移動手段によって、ウェハは案内される。剥離装置は、１枚のウェハ、あるいは、複数のウェハを移動手段あるいは吸引表面に押付ける。最も上のウェハの最も上側は、移動手段によって、ウェハ・スタックから離れるように移動するが、ウェハの下側にはブレーキ作用をもたらす。この結果、剥離装置は、さらに一旦ウェハ・スタックから離れるように移動しはじめた複数のウェハを分離するように作動する。移動手段上にただ１枚のウェハしかない場合、剥離装置のブレーキ作用は、もはやウェハを保持するには十分ではなく、移動手段からウェハを離してしまう。このように、上述の水の噴射と同様に、剥離装置は、いくつかのグリップされたウェハを分離するように作動する。上述のステップのうち、少なくとも１つのステップを実行した後、ウェハは、移動手段から転送手段に移動して、離れて行くように転送される。]
[0009] ステップａ）、あるいは、ステップｂ）の各々を個別に実行することは、基本的に可能である。しかしながら、両ステップを共にかつ連続的に実行することが効果的である。これは、移動手段による最も上にあるウェハをグリップするに続いて、最初に、水の噴射、次に、その後続あるいは下流に剥離装置が備わっている、シーケンスあるいは構成に依存する。]
[0010] 本発明の発展型において、移動手段は、可動回転ベルトを持つように構成することができる。効果的に非常に長い距離を走ることができ、ほぼウェハ・スタックの最上面に平行な後続の転送手段に対して特に効果がある。上述の吸引表面は、可動ベルト上に配置、あるいは、可動ベルトによって形成されて、最も上にあるウェハが移動手段に近づいたとき、最も上にあるウェハの上側面で可能な限り広い面積で可動ベルトが吸引表面に係合する。本発明の別の発展型において、移動手段は、ホイール様の構成を持つあるいは少なくとも１つのホイールあるいはロールを備えることができる。効果的には、いくつかのホイールあるいはロールは、移動手段とウェハの上面の間に複数の接触点を持つ長尺状の移動手段を形成して、十分な力が最も上のウェハに加わって、ウェハ・スタックから解放されて転送できるように連続的に備えられている。]
[0011] 本発明の発展型において、少なくとも２つの類似する移動手段が備えられて、並列にあるいは平行に配置される。これらは、効果的に、互いに物理的に離れて配置されるか、少なくとも２つの類似する移動手段を設けられて、それらの間に必要な空間的間隔あるいは相応のギャップが設けられる。移動手段は、効果的には、閉じた表面を持っており、特に、上述の吸引表面を形成するために、必要な空間的間隔の近傍で、具体的には硬くて開口あるいは孔を持った、それらの間にパーフォレーションが穿たれた表面が形成される。パーフォレーションが穿たれた表面上あるいは開口で上方からの、例えば、真空度に対応する単純な吸引効果として、吸引作用が発生する。この結果、最も上のウェハの上面は、ウェハ・スタックから上方に引かれて、移動手段の下側あるいはパーフォレーションが穿たれた表面によって形成された吸引表面に押付けられて、十分に移動できるようになる。この目的のために、パーフォレーションが穿たれた表面は、硬くあるいはプレートのように平面形状に効果的に構成されるので、吸引表面の幾分上方に効果的に配置される。あるいは、移動手段は、例えば、パーフォレーションが穿たれたベルトの態様で、開口をもつこともできて、ウェハの上面に吸引効果を及ぼすために吸引作用によって上方から真空を供給する。一般に、分離しているあるいは移動手段でグリップしている間、ウェハ・スタックを水の中に浸してウェハがより簡単に分離し易くすることは可能である。]
[0012] 本発明のさらなる発展型において、ウェハ・スタックからウェハの分離を支援するために、水噴射を換気したり、あるいは、水噴射に空気泡を混ぜたりすることができ、あるいは、空気あるいはガスを含ませることができる。このような換気効果は、空気あるいはガスを水噴射あるいは水噴射させるためのノズルの中へ注入することによって生成することができる。このようにすることは、例えば、ネオぺリル（Ｎｅｏｐｅｒｌ）社によってメッシュあるいはネットの態様で製造された、換気装置を使用して給水栓あるいは蛇口の出口を換気するあるいは空気泡を混入するのと同様の態様で可能である。このような換気された水噴射は、ウェハ・スタックの最も上のウェハの先端を取出すことができる、水圧のみならず、空気泡が個々のウェハの間を通過できて結果として付着作用をなくすことができるという有利な効果を有している。この水噴射の他の有利な効果は、剥離装置について以下に記載するものと同じであり、また、ウェハを吸引表面に押付けることに寄与することができる。]
[0013] 水噴射が水平に対して２０°から７０°の間の角度、特に、３５°から６０°の間の角度を持っている場合、効果的である。]
[0014] １つの可能性として、ウェハ・スタックに後続する移動手段に乗ったウェハの転送パスの下方に上方を向くようにしたブラシを持つように剥離装置を構成できる。ブラシは、十分に柔軟な材料から構成されており、脆弱なウェハに損傷を与える、あるいは、引っ掻き傷をつけないようにしなければならない。しかしながら、ブラシは、１つあるいはそれ以上のウェハは自身が乗っている移動装置を超えたとき、一定のブレーキ作用ができなければならない。特に、上述のステップａ）の水噴射と組合わされたとき、水噴射の結果、移動手段が複数のウェハを最も上でグリップあるいはサスペンドして、グリップされたウェハに転送方向と反対方向に一定の変位が発生する。これは分離を容易にするものであり、剥離装置が加速することになる。]
[0015] ブラシの代わりに、剥離装置は、例えば、また、ローラー、ベルト等の、回転する態様で構成することができる。これは、移動装置と係合している１つあるいはそれ以上のウェハの下側表面と係合することができ、下方のウェハを減速、あるいは、上方のウェハから幾分引離すことができる。]
[0016] その上をウェハが転送されるための転送手段は、ローラー・コンベアとして効果的に構成することができる。しかしながら、転送手段は、ベルト、ストラップ、あるいは、これに類するものを備えることができる。効果的にウェハを配置して転送するために、依然として部分的に重なっているウェハを更に分離するように作動するように、転送手段は、剥離装置の後続に効果的に構成される。この目的のため、転送手段は、転送方向に連続的に構成配置される各々の速度が上昇するようになっている複数の部分を有している。ステップａ）、ｂ）によれば、上流の水噴射ノズルと剥離装置の結果、例えば、依然として互いに部分的に付着している３あるいは４枚のウェハからなるグループは、最も上にあるウェハの先端が下側のウェハの上方に十分に突出するように変位し、先端は、後続の各々の転送手段部分によって最初にグリップされる。この部分がその前にある部分と速度差があってこの部分がその前にある部分よりも速ければ、さらに、完全に、あるいは、少なくともある一定量だけその他のウェハから引き離されることになる。各々の場合により速い速度を持つこのような部分を設けることによって、究極的には、さらに信頼性の高いウェハの分離を実施することができる。転送手段の上側あるいは表面がウェハの下側と付着性の高いものとして構成されると、この目的のためには効果的である。]
[0017] ウェハ・スタックから個々のウェハを分離するさらなる改善は、ウェハ・スタックは、振動運動を伴って一様に上昇あるいは下降することによってもたらされる。この振動運動は、例えば、３秒から５秒の、数秒の繰返し周期で発生させることができる。スイング幅、あるいは、振幅は、最大で１０ｍｍ、好適には、５ｍｍである。ウェハ・スタックからウェハを分離するサイクル・タイムが上述の繰返し周期と近似するように選択されれば、すなわち、数秒が選択されれば、ウェハ・スタックがその頂点に到達するとき、移動手段あるいは吸引表面に幾分押し付けられて、その後、下方に移動してはならない最も上にあるウェハは、毎回、確実にこのようにすることが可能となる。連続的な吸引による、グリップ作用、あるいは、付着作用は、非常に迅速に行わなければならない。これによって、横方向に離れるように転送されるように動き、また、ウェハ・スタックが下がるように動いて、移動手段が最も上のグリップされているウェハからぶら下がる、ただ１つのあるいは多くとも数枚のウェハしかグリップしないようになる可能性が非常に高くなる。一定の場合には、ウェハ相互の解放を支援するように、ウェハ・スタックをわずかに振動させることができる。]
[0018] 記載した方法を実施する本願発明の装置は、各々の場合にステップａ）、ステップｂ）のための個々の機能単位を有するように、上述の方法を組合せて構成することができる。可能な具体的構成に関しては、添付の図面とその記載にて参照される。]
[0019] これらの及び更なる特徴は、本出願の請求項、明細書、及び図面から理解することができ、個々の特徴、単独でサブ・コンビネーションの態様の双方で、本発明の１つの実施態様及び他の分野において実装でき、また、本出願で保護を主張する、効果的な、独立して保護され得る、構成を表すことができる。本出願の個々の部分及び小見出しへの分割によって、その部分及び小見出しの記載の一般的な妥当性、有効性を、一切、制限するものであってはならない。]
図面の簡単な説明

[0020] 本発明の実施態様は、添付の概略的な図面に図示されて、以下に詳細に記述されている。
本発明の方法を説明するための、本発明の装置の概略的な機能的構成を示す側面図である。
２つの平行なベルトであって、２つの平行なベルトの間にパーフォレーションが穿たれた表面を持つ２つの平行なベルトを有する態様の移動手段の平面図である。
パーフォレーションが穿たれた表面を持つ単一のベルトを有する、図２の移動手段の変形態様である。] 図２
実施例

[0021] 図１は、複数のウェハ１２の個々をウェハ・スタック１６から分離して、さらなる処理へと転送するために移動できる、本発明による装置１１を示している。複数のウェハ１２は、最も上側１４が上方に向けられて、先端１３が左側に向けられた状態で示されている。後に持上げ装置１８に取り付けられる、マガジン１７の内あるいはその上に位置する、ウェハ・スタック１６に、それらのウェハはスタックされている。ウェハ・スタック１６を備えたマガジン１７は、図示されていない手段によって、後に水２１で満たされた水タンク２０内に配置される、持上げ装置１８内へ運ばれる。ウェハ・スタック１６の最も上にあるウェハ１２の最も上側１４は、ほぼ水タンク２０の端部の水準に、あるいは、水タンク２０の端部の幾分下方にあることは明らかである。このように、水タンク２０は、例えば、後続する下方からの水２１のリフィル処理を保証する、一定のオーバーフローを保持することができ、個々のウェハ１２、あるいは、ウェハ・スタック１６は、浮くか、上方に押出されて、一定の水の循環を保証する。水タンク２０内の主な水２１に替えて、ＤＩ水（脱イオン水）あるいは洗浄溶媒を含むこともできる。] 図１
[0022] 例えば、移動周期が数秒の時間間隔で、最大移動高さが１０ｍｍで、持上げ装置１８に沿った破線で図示されたように、ウェハ・スタックは上下に動く。]
[0023] ウェハ・スタック１６の上方に、時計回りに回転する１つの、あるいは、並列に配置された、ベルト２４を持つ、移動手段２３が備わっている。さらに詳細については、図２が参照されるべきである。ベルト２４の１つの表面２５は、上述の吸引表面２５を形成する。吸引装置２７によって、ウェハ・スタック１６の最も上にあるウェハ１２の最も上側がベルト２４あるいはその吸引表面２５に押付けられて吸引表面によってグリップされてウェハ・スタック１６から離れるように左側へ移動するように真空を引く。] 図２
[0024] ウェハ・スタック１６に沿って少し左側に、その噴射の向きが水平に対して約４５°の角度でウェハ・スタック１６の最も上にあるウェハ１２の先端１３に対して向けられている、水ノズル２９が示されている。上述したように、水ノズル２９によって生成される水噴射３０には、図示していない換気手段、あるいは、空気注入手段によって、換気、あるいは、空気を入れることができる。水噴射３０が擬似的に水タンク２０内の水２１の内部に生成された場合でも、依然として噴射作用を得ることができ、特に、移動手段２３を使用して、好適には単一のウェハあるいは最大数枚のウェハ１２をウェハ・スタック１６から解放するために、ウェハ・スタック１６の最上部でウェハ１２の先端を押し出すように作動する。上述の分離手段の１つとして水噴射３０に直接後続して、移動手段２３は、単一のあるいは数枚のウェハを分離することを目的としてブラシ３２として構成される、上述の剥離装置上に案内する。それは、効果的に、ウェハ１２の幅あるいはウェハ・スタック１６の幅を完全に超えて延びており、選択的に幾分ウェハ１２の転送方向に向けることもできる、上方を向いたブラシの毛を備えている。移動手段２３によって、小さなスタックとしてウェハ・スタック１６から他の複数のウェハ１２と共に解放された、ウェハ１２の下側１５は、ブラシと係合するという事実によって、それは、他の複数のウェハ、あるいは、吸着表面２５と直接係合している、少なくとも最も上にあるウェハ１２と比較して吸着表面によって減速される。ウェハ１２の長さと寸法がほぼ同じオーダーである、移動方向のブラシ３２の長さによって、いくつかの互いに付着したままの状態でいる複数のウェハ１２を分離する、あるいは、少なくともそれらの先端１３が、例えば、数ｃｍの一定の空間的間隔を持つように互いに位置をずらすことができる。]
[0025] 吸引装置２７の吸引作用、あるいは、さらに、図示されていない吸引装置をブラシ３２の上方にも提供することができる。このように、移動手段２３によってブラシ３２に対して減速され、あるいは、ブラシ３２から解放された、ウェハ１２は、次に、再び、吸引表面２５によってグリップされて左側へ転送される。]
[0026] 移動手段２３は、ブラシ３２を超えて延びていることも明確である。そして、ブラシ３２から所定の空間的間隔を持って、第一の転送ベルト３５が提供されて、第二の転送ベルト３７他に続いている。第一の転送ベルト３５は、移動装置２３及びブラシ３２から一定の空間的間隔を持っている。少なくとも複数のウェハが吸引表面２５に付着している場合の後続ブラシ、その先端１３が左側に変位していることは明らかである。この結果、第一に吸引表面２５に直接付着しているウェハ１２が、第一の転送ベルト３５に達するかあるいは係合することを意味する。第一の転送ベルト３５は、移動手段２３よりも高速で、例えば、２倍の速度で、作動する。このように、最も上にあるウェハ１２の先端１３は第一の転送ベルト３５によってグリップされるが、残りのウェハは、依然としてブラシ３２によって減速されている。このように、最も上にあるウェハ１２は、単一のウェハとして引き離されて、第一の転送ベルト３５上に個別に配置されることになる。]
[0027] 転送ベルト３５に直接続いている、第二の転送ベルト３７は、より高速で、例えば、２倍の速度で作動する。この速度差の結果、ブラシ３２に対するよりも効果がある。すなわち、ここでは、速度差もまた、左側へ最も遠くに延びているウェハ１２を最初にグリップして、下側１５が依然として第一の転送ベルト３５に留まっている他のウェハから引き離すこと様に作動する。]
[0028] 直後の後続の第二の転送ベルト３７で、すべてのウェハが分離される。転送手段上で相互の間隔が如何様に異なったとしても、既知の機構によって補償することができる。]
[0029] ウェハ１２は、通常、約２００μｍの厚さを有し、長尺状あるいはほぼ四角形の形状を有し、１００ｍｍから２００ｍｍの端から端の長さを有している。]
[0030] 図２は、メジアン面の図１の移動手段２３を通る部分の部分平面図である。移動手段２３は、それら自身の幅よりも狭い一定の間隔を持って並列して配置されて、ホイール２６ａ、２６ｂによって駆動される、２つの類似するベルト２４ａ、２４ｂを有している。ベルト２４ａ、２４ｂの外側、あるいは、表面は、上述した吸引表面２５を形成する。このことは、この表面２５が吸引作用をすることを必ずしも意味せず、吸引作用によってウェハ１２の上側１４はこの面に対面して配置されていることを意味する。] 図１ 図２
[0031] ベルト２４ａ、２４ｂの間のギャップを越えて、例えば、数ｍｍの直径を持つ複数の小さい孔４０を持つ、パーフォレーションが穿たれたプレート３９が配置されている。パーフォレーションが穿たれたプレート３９の上方に、例えば、管状形状を持つ３つの吸引装置２７が配置されている。これらは、真空様の吸引作用を有して、水タンク２０から水２１を引く。同時に、孔４０を通して、ウェハ・スタック１６の最上部のウェハ１２の上側表面１４に吸引作用を行う。この結果、吸引作用によって依然として上方に引かれており、上方に移動して後続工程においてもベルト２４ａ、２４ｂの吸引面２５との係合が維持される。パーフォレーションが穿たれたプレート３９に直接係合すべきでなく、ベルト２４ａ、２４ｂのみに係合すべきなので、同時に、図１、２の左側へ連続的に移動するので、この結果、ウェハ・スタック１６から離れて行く。ここでは、ウェハ１２は、ウェハ・スタック１６上の位置を占めており、破線で示されている。] 図１
[0032] 図２によって、移動装置２３とパーフォレーションが穿たれたプレート３９の転送方向に沿うかなりの長さに渡って吸引作用を確実に作用させるために、複数の吸引装置２７を備えることは必須ではないが効果的であることは明からである。これにより、ウェハ１２がベルト２４ａ、２４ｂの吸引表面２５に常に吸引されていることを確実にすることが可能になる。] 図２
[0033] 本発明の１つのさらなる発展形として、それらの間に対応する複数のパーフォレーションが穿たれたプレート３９を有する、２つ以上の並列するベルト２４を備えることができる。上述したように、ベルト２４の替わりにホイールを使用することができる。しかしながら、ウェハ・スタック１６からウェハ１２を分離して転送するための、必要な静的摩擦を得ること可能ではあるが、難しいので、それらのベルトは明らかに好適化される。]
[0034] 単一のベルト１２４を有する移動手段１２３を持つ、移動手段の変形態様が図３に示さている。ベルト１２４は、２つのホイール１２６上を走っており、図２のベルトと非常に類似したものである。しかしながら、ここでは、複数のベルトの間の間隔がまったくないので、この結果、図２に示されるようなパーフォレーションが穿たれたプレートを使用する必要はまったくなく、ベルト１２４は、例えば、図２に示されたパーフォレーションが穿たれたプレート３９の複数の孔と同じように、それ自身にパーフォレーションが穿たれ、複数の孔１４０を備えている。その外側に吸引表面１２５が形成されている、下側ベルト１２４の上方に、複数の吸引装置１２７が所定の配置で備えられている。それらの吸引作用、効果的に直接構成された配置に関しては、複数の吸引装置は、ベルト１２４の長さ方向に所定量だけ超えて延びると共に、ベルト１２４、あるいは、破線で示されたウェハ１２の幅を超えて延びるべきである。しかしながら、図２に管状で示される吸引装置２７は、直接、上方に向かって連続することができるが、図３では、ベルト１２４の仮想的な回転ループから側方に変位させられるべきである。] 図２ 図３
[0035] 図３による構成によって、パーフォレーションが穿たれたプレート３９に比べてより構成が単純であるという有利な効果が得られる。さらに、パーフォレーションが穿たれたベルト１２４を使用した吸引は、ベルト１２４の吸引表面１２５に直接実施できるので、ウェハ１２の上側表面１４は、吸引されて横方向に転送して行く表面に正確に付着する。吸引作用の強さは、一般に、吸引装置を使用して調整するか、あるいは、孔の大きさによって調整するかして調整することができる。このようなことは、選択的に、図２による複数のベルト２４の下側表面の上方のパーフォレーションが穿たれたプレート３９の高さによって調整することもできる。] 図２ 図３

权利要求:

請求項1
ウェハ・スタックは、垂直に重ねてスタックされており、ウェハは、上方から作用する移動手段を介して上方から個別に転送される、ウェハ・スタックからウェハを分離する方法において、前記移動手段は、最上部にあるウェハに作用する、吸引表面を持ち、回転式に構成され、真空、あるいは、吸引によって前記ウェハと前記吸引表面あるいは前記移動手段との係合を強め、数枚の重なったウェハを分離するために、前記移動手段上で、以下の２つのステップのうちの少なくとも１つが実施される、ａ）最上部のウェハの先端に、下方から斜めに向けられて、強く水が噴射される、ｂ）前記移動手段は、ウェハを、移動しているウェハの下側表面に下方から係合して、前記ウェハを前記移動手段あるいは前記吸引表面に押し付けて、ブレーキ作用を生成する、剥離装置上を案内する、ことを特徴とする、ウェハ・スタックからウェハを分離する方法。
請求項2
前記移動手段は、好適には、後続の転送手段まで到る、相当の長さ、前記ウェハ・スタックの最上面にほぼ平行に、ラン・オーバーする可動ベルトを持つことを特徴とする、請求項１に記載の方法。
請求項3
少なくとも２つの類似する移動手段が並列にあるいは平行に配置されて、相互間の間隔を持っており、複数の閉じた表面とこれらの間の間隔にあるパーフォレーションを穿たれた、好適には硬い表面を持つ、前記移動手段に、前記ウェハ・スタックの前記最上部のウェハの最上面を前記移動手段の下方部に吸引するか押すかするために吸引作用が上方から生成される、開口を有することを特徴とする、請求項１、あるいは、２のいずれか１つに記載の方法。
請求項4
前記の水の噴射は、換気されて、好適には、空気あるいはガスを前記の水の噴射用のノズルに導入することによって生成される、空気あるいはガス泡、を含むことを特徴とする、請求項１、２、あるいは、３のいずれか１つに記載の方法。
請求項5
前記の水の噴射は、水平に対して２０°から７０°、好適には、３５°から６０°の間にあることを特徴とする、請求項１、２、３、あるいは、４のいずれか１つに記載の方法。
請求項6
前記剥離装置は、好適には、少なくとも幅及び／又は長さがウェハと同じである、上方を向いたブラシを持つことを特徴とする、請求項１、２、３、４、あるいは、５のいずれか１つに記載の方法。
請求項7
前記剥離装置は、好適には、ローラーあるいはベルトの態様で回転して、前記移動手段に係合している上方のウェハに付着している下方のウェハにブレーキをかけて分離するために、前記移動手段に係合しているウェハの下側表面に係合することを特徴とする、請求項１、２、３、４、あるいは、５のいずれか１つに記載の方法。
請求項8
前記転送手段は、前記の転送の方向に連続して配置されている個々の複数の転送手段部分の速さが上昇した結果、依然として重なったウェハを更に分離するために、複数のウェハを前記剥離装置の後続側に配置するように構成されており、前記転送手段は、好適には、ローラー・コンベアあるいはベルト・コンベアとして製造されていることを特徴とする、請求項１、２、３、４、５、６、あるいは、７のいずれか１つに記載の方法。
請求項9
前記ウェハ・スタックは、特に、５秒の時間間隔の、好適には、３秒の時間間隔の、かつ、最大移動高さが１０ｍｍ、好適には、５ｍｍの、振動運動を伴って上下に移動することを特徴とする、請求項１、２、３、４、５、６、７、あるいは、８のいずれか１つに記載の方法。
請求項10
下側表面に吸引表面を持つ回転運動手段、水噴射ノズルおよび／あるいは前記水噴射ノズルと後続の転送手段との間の剥離装置、及び、前記転送手段は、前記ウェハ・スタックから前記ウェハを取出して転送するように構成されていることによって特徴とする、請求項１、２、３、４、５、６、７、８、あるいは、９のいずれか１つに記載の方法を実施する装置。