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  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:
    Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, bei Bauelementen, die mit akustischen oberflächenwellenbauelementen als frequenzbestimmenden Elementen aufgebaut sind, die Temperaturstabilität wesentlich zu verbessern. DOLLAR A Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass DOLLAR A a) die frequenzbestimmenden Elemente akustische Oberflächenwellenresonatoren sind, bei denen der interdigitale Wandler zwischen je zwei Reflektoren angeordnet ist und DOLLAR A b) der Temperaturkoeffizient n-ter Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten des jeweils anderen Oberflächenwellenresonators im Vorzeichen unterscheidet und im Fall n > 1 die Temperaturkoeffizienten erster bis (n-1)-ter Ordnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur, gleich null sind, wobei n größer oder gleich 1 ist und DOLLAR A c) die Oberflächenwellenresonatoren Koppelelemente enthalten, mit deren Hilfe eine gegenseitige Kopplung der Wellenfelder der Oberflächenwellenresonatoren hergestellt ist und DOLLAR A d) das Verhältnis der Aperturen der Wandler und das Verhältnis der Längen der Koppelelemente in Richtung senkrecht zu den Zinkenkanten der Wandler und den Streifen der Reflektoren so gewählt sind, dass die Variation der Oszillatorfrequenz im gegebenen Temperaturbereich minimal ist. DOLLAR A Die Erfindung ist beispielsweise bei Oszillaten und Sensoren anwendbar.
    公开号:DE102004028421A1
    申请号:DE200410028421
    申请日:2004-06-04
    公开日:2006-01-12
    发明作者:Günter Dr. Martin
    申请人:Tele Filter Zweigniederlassung der Dover Germany GmbH；Leibniz Institut fuer Festkorper- und Werkstofforschung；
    IPC主号:H03B5-04
    专利说明:
    [0001] DieErfindung bezieht sich auf das Gebiet Elektrotechnik/Elektronik.Objekte, bei denen die Anwendung möglich und zweckmäßig ist,sind Bauelemente auf der Basis akustischer Oberflächenwellen wieOszillatoren und Sensoren, insbesondere solche Sensoren, bei denensich der Temperaturgang der Oszillatorfrequenz einstellen lässt.
    [0002] Essind Oszillatoren bekannt, die einen Verbund aus zwei frequenzbestimmendenElementen, von denen jedes Element mindestens einen interdigitalenWandler fürakustische Oberflächenwellenenthältund eine einen Verstärkerenthaltende Rückkopplungvom Ausgang zum Eingang des Verbundes umfasst, wobei die frequenzbestimmendenElemente sich durch die Temperaturabhängigkeit der Synchronfrequenzvoneinander unterscheiden.
    [0003] Beieiner speziellen Ausführungenthältder Verbund aus zwei frequenzbestimmenden Elementen zwei Verzögerungsleitungen,deren Substrate ein und demselben Kristallschnitt angehören, aberverschiedene Ausbreitungsrichtungen benutzen (T. I. Browning andM. F. Lewis, „Anovel technique for improving the temperature stability of SAW/SSBWdevices" in Proc.1978 IEEE Ultrasonics Symposium, S. 474 – 477 [1]). Als Kristallschnittdient der ST-Schnitt von Quarz. Das Substrat der Hauptverzögerungsleitunghat die X-Achse von Quarz als Ausbreitungsrichtung, während dieAusbreitungsrichtung der Hilfsverzögerungsleitung um 41° dazu geneigtist. Demzufolge verschwindet bei der Hauptverzögerungsleitung der Temperaturkoeffizientder Synchronfrequenz erster Ordnung. Dagegen ist der Temperaturkoeffizientder Synchronfrequenz erster Ordnung der Hilfsverzögerungsleitungungleich null. Trotz der unterschiedlichen Ordnungen der Temperaturkoeffizientengelingt es, den Temperaturkoeffizienten der Synchronfrequenz zweiterOrdnung der Hauptverzögerungsleitungzu kompensieren. Der zur Kompensation des Temperaturkoeffizientender Synchronfrequenz zweiter Ordnung der Hauptverzögerungsleitungerforderliche Temperaturkoeffizient der Synchronfrequenz ersterOrdnung der Hilfsverzögerungsleitungwird als Funktion des zu kompensierenden Temperaturkoeffizientenzweiter Ordnung, der Amplitude der Hilfsverzögerungsleitung und der für beideVerzögerungsleitungengleichen Ausbreitungsstrecke angegeben.
    [0004] Eswurde bereits vorgeschlagen, als Verbund aus zwei frequenzbestimmendenElementen zwei Zweitor-Oberflächenwellenresonatorenso zu kombinieren, dass die Wandler zwei parallel geschaltete Paarebilden, wobei jeweils ein Wandler des ersten Zweitorresonators undein Wandler des jeweils zweiten Zweitorresonators ein solches Paarbilden ( DE 103 39 865.1 ).Dabei sind die Aperturen, die Zwischenräume zwischen den Wandlern unddie Synchronwellenlängenin den Resonatoren so gewählt, dassdie Oszillatorfrequenz bei einer vorgegebenen Temperatur einer vorgegebenenFrequenz entspricht.
    [0005] ImZusammenhang mit fernabfragbaren Sensoren, die im speziellen FallEintorresonatoren auf der Basis akustischer Oberflächenwellenenthalten, ist es bekannt, zur Temperaturkompensation zwei Eintorresonatorenzu kombinieren, deren Substrate verschiedene Ausbreitungsrichtungenein und desselben Kristallschnitts repräsentieren (A differential measurementSAW device for passive remote sensoring, W. Buff, M. Rusko, T. Vandahl,M. Goroll und F. Möller,Proc. 1996 IEEE Ultrasonics Symposium, S. 343 – 346 [2]). Voraussetzung für die Temperaturkompensationist dabei, dass diese Ausbreitungsrichtungen unterschiedliche Phasengeschwindigkeitenund nahezu gleiche Temperaturkoeffizienten der Synchronfrequenzhaben.
    [0006] Diein der Druckschrift [1] beschriebene Lösung hat folgende Nachteile: (1) Verzögerungsleitungenbei vorgegebener Substratlängekönneneine zu kleine Phasensteilheit haben, was eine ungenügende Stabilität der Oszillatorenzur Folge hat. (2) Die Größe |S21| bei der Oszillatorfrequenz, die sichtemperaturabhängigeinstellt, ist zu stark temperaturabhängig, so dass der Verstärker in derRückkopplunginfolge eines zu großenVerstärkungsbereichsunerwünschtenichtlineare Effekte oder als geregelter Verstärker zu hohe Kosten verursacht. (3) Die Methode der Temperaturkompensation aus [1] ist nur für breitbandigefrequenzbestimmende Elemente anwendbar. (4) Das in [1] verwendete Modell zur Beschreibung des Verbundeszweier Verzögerungsleitungenist eine Näherungfür denFall, dass die Eingangs- bzw. Ausgangsimpedanz des Verbundes derVerzögerungsleitungensehr groß imVergleich mit dem Quell- bzw. Lastwiderstand ist und alle Wandlerreflexionsfrei sind. Die mit Hilfe dieses Modells gewonnene Lehre,beispielsweise die oben erwähnteFunktion fürden Temperaturkoeffizienten der Synchronfrequenz erster Ordnung derHilfsverzögerungsleitungist deshalb in vielen Fällennicht anwendbar und nicht auf solche frequenzbestimmende Elemente übertragbar,bei denen Reflexionen eine wesentliche Rolle spielen.
    [0007] DerErfindung liegt die Aufgabe zugrunde, temperaturstabile Oszillatorenmit akustischen Oberflächenwellenbauelementenals frequenzbestimmende Elemente der bekannten Art so zu verändern, dass – diePhasensteilheit der frequenzbestimmenden Elemente bei vorgegebenerSubstratlängeund demzufolge die Stabilitätder Oszillatoren erhöht wird, – dieGröße |S21| an der Oszillatorfrequenz, die sich beider jeweiligen Temperatur einstellt, nur schwach temperaturabhängig istund – diefrequenzbestimmenden Elemente schmalbandig sind sowie – eineLehre fürdie Gestaltung temperaturstabiler Oszillatoren anzugeben, die nichtauf einer Näherungwie in der Druckschrift [1] basiert und die auch auf solche frequenzbestimmendeElemente übertragbarist, bei denen Reflexionen eine wesentliche Rolle spielen.
    [0008] DieseAufgabe wird dadurch gelöst,dass a) die frequenzbestimmenden Elemente akustischeOberflächenwellenresonatorensind, bei denen der interdigitale Wandler zwischen je zwei Reflektorenangeordnet ist und b) der Temperaturkoeffizient n-ter Ordnung der Synchronfrequenzjedes der beiden Oberflächenwellenresonatorenungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten desjeweils anderen Oberflächenwellenresonatorsim Vorzeichen unterscheidet und im Fall n > 1 die Temperaturkoeffizienten ersterbis (n-1)-ter Ordnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur,gleich null sind, wobei n größer odergleich 1 ist und c) die OberflächenwellenresonatorenKoppelelemente enthalten, mit deren Hilfe eine gegenseitige Kopplungder Wellenfelder der Oberflächenwellenresonatorenhergestellt ist und d) das Verhältnisder Aperturen der Wandler und das Verhältnis der Längen der Koppelelemente in Richtungsenkrecht zu den Zinkenkanten der Wandler und den Streifen der Reflektorenso gewähltsind, dass die Variation der Oszillatorfrequenz im gegebenen Temperaturbereichminimal ist.
    [0009] Dieerfindungsgemäße Lösung hatden Vorteil, dass sowohl der Temperaturkoeffizient der Synchronfrequenzerster als auch zweiter Ordnung kompensiert werden kann. Wenn derTemperaturkoeffizient der Synchronfrequenz erster Ordnung beider Oberflächenwellenresonatorengleich null ist und sich deren Temperaturkoeffizienten der Synchronfrequenzzweiter Ordnung im Vorzeichen unterscheiden, so ist sowohl der Temperaturkoeffizientder Synchronfrequenz zweiter als auch dritter Ordnung kompensierbar.
    [0010] DieErfindung kann wie folgt zweckmäßig ausgestaltetsein: Es ist besonders zweckmäßig, wenn der Temperaturkoeffizienterster Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatorenungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten desjeweils anderen Oberflächenwellenresonatorsim Vorzeichen unterscheidet oder wenn der Temperaturkoeffizientzweiter Ordnung der Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatorenungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten desjeweils anderen Oberflächenwellenresonatorsim Vorzeichen unterscheidet und die Temperaturkoeffizienten ersterOrdnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur, gleich null sind.
    [0011] DieOberflächenwellenresonatorenkönnen alsKoppelelement einen Koppelwandler enthalten In diesem Fall ist derKoppelwandler des ersten Oberflächenwellenresonatorsmit dem Koppelwandler des jeweils zweiten Oberflächenwellenresonators über zweielektrische Verbindungen verbunden. Dabei kann es zweckmäßig sein,zwischen die elektrischen Verbindungen, die die Koppelwandler verschiedener Oberflächenwellenresonatoren verbinden,eine Induktivität,bezeichnet als Koppelinduktivität,oder eine Kapazität,bezeichnet als Koppelkapazität,zu schalten.
    [0012] Esist zweckmäßig, wennsich die Aperturen der Koppelwandler voneinander unterscheiden und dieZinkenzahlen der Koppelwandler gleich sind oder sich die Zinkenzahlender Koppelwandler voneinander unterscheiden und die Aperturen derKoppelwandler gleich sind.
    [0013] Beikleinem elektomechanischem Koppelfaktor ist es günstig, wenn die Koppelwandlermehr Zinken enthalten als der jeweils zweite Wandler desjenigenOberflächenwellenresonatorszu dem der jeweilige Koppelwandler gehört.
    [0014] Mindestenseiner der Koppelwandler kann mindestens eine Gruppe, die aus einergeraden Anzahl aufeinanderfolgender Zinken mit gleicher Polarität besteht,enthalten. Dadurch wird mindestens eine Polaritätsumkehr mindestens innerhalbeines Koppelwandlers realisiert. Das ist zweckmäßig, wenn Resonanzen benutztwerden, die zu Hohlraummoden mit mindestens einer Nullstelle inder jeweiligen Hüllkurvegehören.
    [0015] BeideOberflächenwellenresonatorenkönnenmit Substraten der gleichen Kristallart aufgebaut sein. Die Substrateder Oberflächenwellenresonatorenkönnenaber auch verschiedenen Kristallarten angehören. Dabei können dieOberflächenwellenresonatorenunterschiedliche Ausbreitungsrichtungen für akustische Oberflächenwellenauf ein und demselben Kristallschnitt benutzen. Das kann dadurch ausgestaltetsein, dass der Kristallschnitt ein ST-Schnitt von Quarz und dieRichtung senkrecht zu den Zinken der Wandler und den Reflektorstreifen desersten bzw. zweiten Oberflächenwellenresonatorsum einen Winkel größer als0° und kleinerals 45° bzw.einen Winkel größer als45° zurkristallografischen X-Achse von Quarz geneigt ist.
    [0016] DieOberflächenwellenresonatorenkönnen aufseparaten Substraten, aber auch auf einem gemeinsamen Substrat angeordnetsein.
    [0017] DieKoppelelemente beider Oberflächenwellenresonatorenkönneneinen Multistreifenkoppler bilden.
    [0018] DieZinkenperiode der Wandler, die Streifenperiode der Reflektorstreifen,die Abständeder Wandler zu den Koppelelementen und zu den Reflektoren sowiedie Dicke der Elektrodenschicht der Oberflächenwellenresonatoren können sogewählt sein,dass deren Resonanzen an einer vorgegebenen Temperatur einen vorgegebenenFrequenzabstand haben. Dieser Frequenzabstand kann auch gleich nullsein.
    [0019] DieErfindung ist nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels und einer zugehörigen Zeichnungnäher erläutert.
    [0020] Derzu beschreibende Oszillator besteht aus einem Resonatorverbund alsfrequenzbestimmendes Element und einer einen Verstärker enthaltenden Rückkopplungvom Ausgang zum Eingang des Verbundes. Die Phase dieser Rückkopplungwird als gleich null vorausgesetzt. Im folgenden werden die Eigenschaftendes Resonatorverbundes beschrieben.
    [0021] Aufeinem Substrat 1, das ein ST-Schnitt von Quarz ist, sinddie Oberflächenwellenresonatoren 2;3,zusammengesetzt aus den Reflektoren 21;22 unddem interdigitalen Wandler 24 bzw. aus den Reflektoren 31;32 unddem interdigitalen Wandler 34, angeordnet. Außerdem istim Oberflächenwellenresonator 2 bzw. 3 zwischendem Wandler 24 bzw. 34 und dem Reflektor 21 bzw. 31 einKoppelwandler 23 bzw. 33 angeordnet. Die Oberflächenwellenresonatoren 2;3 bildeneinen Resonatorverbund. Die Elektroden bestehen aus einer Aluminiumschichteiner Dicke von 300 nm. Die Ausbreitungsrichtung des Oberflächenwellenresonators 2,d. h. die Richtung senkrecht zu den Zinken des Koppelwandlers 23 und desWandlers 24 und den Streifen der Reflektoren 21;22,ist um den Winkel α2= 30° zurkristallografischen x-Achse von Quarz geneigt. Deshalb ist der Temperaturkoeffizienterster Ordnung der Synchronfrequenz des Oberflächenwellenresonators 2 positiv. DieAusbreitungsrichtung des Oberflächenwellenresonators 3,d. h. die Richtung senkrecht zu den Zinken des Koppelwandlers 33 unddes Wandlers 34 und den Streifen der Reflektoren 31;32,ist um den Winkel α3= 47,5° gegenüber derkristallografischen x-Achse von Quarz geneigt. Deshalb ist der Temperaturkoeffizienterster Ordnung der Synchronfrequenz des Oberflächenwellenresonators 3 negativ. DieZwischenräume 25 und 35 zwischendem Wandler 24 und dem Koppelwandler 23 des Oberflächenwellenresonators 2 bzw.dem Wandler 34 und dem Koppelwandler 33 des Oberflächenwellenresonators 3 sindgleich breit. Jeweils eine Kammelektrode des Wandlers 24 unddes Wandlers 34 stehen überdie am Massepotential liegende Verbindung 4 miteinanderin elektrischem Kontakt. Jede Kammelektrode des Koppelwandlers 23 stehtmit einer Kammelektrode des Koppelwandlers 33 über dieVerbindungen 5 und 6 elektrisch in Verbindung,wobei die Verbindung 5 an das Massepotential angeschlossenist. Zwischen die Verbindungen 5 und 6 ist eineKoppelinduktivität 7 geschaltet.Diese bildet zusammen mit den Kapazitäten der Koppelwandler 23 und 33 einen Schwingkreis.Der Wandler 34 des Oberflächenwellenresonators 3 dientals Eingang 8 und der Wandler 24 des Oberflächenwellenresonators 2 dientals Ausgang 9 des Resonatorverbundes. Die Aperturen 26 und 36 desKoppelwandlers 23 und des Wandlers 24 bzw. desKoppelwandlers 33 und des Wandlers 34 sowie dieKoppelinduktivität 7 sind sogewählt,dass die Variation der Oszillatorfrequenz im gegebenen Temperaturbereichminimal ist. Der Abstand der Mitten benachbarter Zinken, der Abstandder Mitten benachbarter Reflektorstreifen, die Zwischenräume 25 und 35 zwischendem Koppelwandler 23 und dem Wandler 24 bzw. demKoppelwandler 33 und dem Wandler 34 und die Zwischenräume zwischendem Koppelwandler 23 und dem Reflektor 21, demWandler 24 und dem Reflektor 22, dem Koppelwandler 33 unddem Reflektor 31 sowie dem Wandler 34 und demReflektor 32 in den Oberflächenwellenresonatoren 2; 3 sindso gewählt,dass jeweils eine Resonanz beider Oberflächenwellenresonatoren 2; 3 beiRaumtemperatur an der gleichen Frequenz liegt.
    [0022] DerOszillator schwingt an einer Resonanz desjenigen Resonanzpaares,das aus der Kopplung der zur jeweiligen symmetrischen Hohlraummode gehörenden Resonanzender Oberflächenwellenresonatoren 2 und 3 resultiert.Diese Kopplung wird durch die Verbindungen 5 und 6 erzeugt.Als Resonanz des erwähntenResonanzpaares ist diejenige ausgewählt, die zur symmetrischenKoppelmode gehört.Diese Koppelmode ist durch gleichphasige elektrische Signale derKoppelwandler 23 und 33 gekennzeichnet.
    权利要求:
    Claims (19)
    [1] Oszillator, der einen Verbund aus zwei frequenzbestimmendenElementen, von denen jedes Element mindestens einen interdigitalenWandler (24;34) für akustische Oberflächenwellenenthältund eine einen Verstärkerenthaltende Rückkopplung vomAusgang (9) zum Eingang (8) des Verbundes umfasst,wobei die frequenzbestimmenden Elemente (2;3)sich durch die Temperaturabhängigkeitder Synchronfrequenz voneinander unterscheiden, dadurch gekennzeichnet,dass a) die frequenzbestimmenden Elemente akustische Oberflächenwellenresonatoren(2;3) sind, bei denen der interdigitale Wandler(24 bzw. 34) zwischen je zwei Reflektoren (21;22 bzw. 31;32)angeordnet ist und b) der Temperaturkoeffizient n-ter Ordnungder Synchronfrequenz jedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren (2;3)ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizienten desjeweils anderen Oberflächenwellenresonatorsim Vorzeichen unterscheidet und im Fall n > 1 die Temperaturkoeffizienten ersterbis (n-1)-ter Ordnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur,gleich null sind, wobei n größer odergleich 1 ist und c) die Oberflächenwellenresonatoren (2;3)Koppelelemente (23;33) enthalten, mit deren Hilfeeine gegenseitige Kopplung der Wellenfelder der Oberflächenwellenresonatoren(2;3) hergestellt ist und d) das Verhältnis derAperturen der Wandler (24;34) und das Verhältnis derLängender Koppelelemente (23;33) in Richtung senkrechtzu den Zinkenkanten der Wandler (24;34) und denStreifen der Reflektoren (21;22 bzw, 31;33)so gewähltsind, dass die Variation der Oszillatorfrequenz im gegebenen Temperaturbereichminimal ist.
    [2] Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass der Temperaturkoeffizient erster Ordnung der Synchronfrequenzjedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren(2;3) ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizientendes jeweils anderen Oberflächenwellenresonatorsim Vorzeichen unterscheidet.
    [3] Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass der Temperaturkoeffizient zweiter Ordnung der Synchronfrequenzjedes der beiden Oberflächenwellenresonatoren(2;3) ungleich null ist und sich von diesem Temperaturkoeffizientendes jeweils anderen Oberflächenwellenresonatorsim Vorzeichen unterscheidet und die Temperaturkoeffizienten ersterOrdnung, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur, gleich null sind.
    [4] Oszillator nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet,dass die Oberflächenwellenresonatoren(2;3) als Koppelelement einen Koppelwandler (23;33)enthalten und der Koppelwandler (23) des ersten Oberflächenwellenresonators(2) mit dem Koppelwandler (33) des jeweils zweitenOberflächenwellenresonators(3) überzwei elektrische Verbindungen (5;6) miteinanderverbunden sind.
    [5] Oszillator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,dass sich die Aperturen der Koppelwandler (23;33)voneinander unterscheiden und die Zinkenzahlen der Koppelwandler(23;33) gleich sind.
    [6] Oszillator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,dass sich die Zinkenzahlen der Koppelwandler (23;33) voneinanderunterscheiden und die Aperturen der Koppelwandler (23;33)gleich sind.
    [7] Oszillator nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,dass die Koppelwandler (23;33) mehr Zinken enthaltenals der Wandler (24;34) desjenigen Oberflächenwellenresonators(2;3), zu dem der jeweilige Koppelwandler (23;33)gehört.
    [8] Oszillator nach Anspruch 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet,dass zwischen die elektrischen Verbindungen (5;6),die die Koppelwandler (23;33) verschiedener Oberflächenwellenresonatoren(2;3) verbinden, eine Induktivität (7),bezeichnet als Koppelinduktivität,geschaltet ist.
    [9] Oszillator nach Anspruch 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet,dass zwischen die elektrischen Verbindungen (5;6,die die Koppelwandler (23;33) verschiedener Oberflächenwellenresonatoren(2;3) verbinden, eine Kapazität, bezeichnet als Koppelkapazität, geschaltetist.
    [10] Oszillator nach Anspruch 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet,dass mindestens ein Koppelwandler (23;33) mindestenseine Gruppe, die aus einer geraden Anzahl aufeinanderfolgender Zinkenmit gleicher Polaritätbesteht, enthält.
    [11] Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass beide Oberflächenwellenresonatoren (2;3)mit Substraten der gleichen Kristallart aufgebaut sind.
    [12] Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass die Substrate der Oberflächenwellenresonatoren(2;3) verschiedenen Kristallarten angehören.
    [13] Oszillator nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet,dass die Oberflächenwellenresonatoren(2;3) unterschiedliche Ausbreitungsrichtungenfür akustischeOberflächenwellenauf ein und demselben Kristallschnitt benutzen.
    [14] Oszillator nach Anspruch 2 und 13, dadurch gekennzeichnet,dass der Kristallschnitt ein ST-Schnitt von Quarz und die Richtungsenkrecht zu den Zinken der Wandler und den Reflektorstreifen desersten bzw. zweiten Oberflächenwellenresonators(2;3) um einen Winkel größer als 0° und kleiner als 45° bzw. einenWinkel größer als45° zurkristallografischen X-Achse von Quarz geneigt ist.
    [15] Oszillator nach Anspruch 1 und 12, dadurch gekennzeichnet,dass die Oberflächenwellenresonatoren(2;3) auf separaten Substraten angeordnet sind.
    [16] Oszillator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass die Elektrodenstrukturen beider Oberflächenwellenresonatoren (2;3)auf einem gemeinsamen Substrat (1) angeordnet sind.
    [17] Oszillator nach Anspruch 13 und 16, dadurch gekennzeichnet,dass die Koppelelemente (23;33) beider Oberflächenwellenresonatoren(2;3) einen Multistreifenkoppler bilden.
    [18] Oszillator nach Anspruch 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet,dass die Zinkenperiode der Wandler (24;34), dieStreifenperiode der Reflektorstreifen, die Abstände der Wandler (24;34)zu den Koppelelementen (23;33) und zu den Reflektoren(21;22;31;32) sowie die Dickeder Elektrodenschicht der Oberflächenwellenresonatoren(2;3) so gewähltsind, dass deren Resonanzen an einer vorgegebenen Temperatur einenvorgegebenen Frequenzabstand haben.
    [19] Oszillator nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet,dass der vorgegebene Frequenzabstand gleich null ist.
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
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    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2006-01-12| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2006-11-02| 8364| No opposition during term of opposition|
    2010-04-22| 8339| Ceased/non-payment of the annual fee|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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