专利摘要:
Eswird eine Ventilanordnung zur Fluidsteuerung vorgeschlagen, beider ein mit einer Magnetspule (21) ausgestatteter elektromagnetischerVentilantrieb (3) an einen Betätigungs-Stromkreis(24) angeschlossen ist, der mit einer Bestätigungsspannung versorgt wird. Indem Betätigungs-Stromkreis(24) befindet sich ein Piezo-Aktor als Schalter, der durch einevon der Betätigungsspannungabweichende Steuerspannung so schaltbar ist, dass der Betätigungs-Stromkreiswahlweise geschlossen oder unterbrochen ist.
公开号:DE102004026963A1
申请号:DE200410026963
申请日:2004-06-02
公开日:2005-12-29
发明作者:Johannes Volzer
申请人:Festo AG and Co KG;
IPC主号:F15B13-043
专利说明:
[0001] DieErfindung betrifft eine Ventilanordnung zur Fluidsteuerung, miteinem elektromagnetischen Ventilantrieb, der mindestens eine Magnetspuleenthält,die an einen zur Speisung mit einer Betätigungsspannung vorgesehenenBetätigungs-Stromkreisangeschlossen ist.
[0002] Beieiner aus der DE 19727 158 C2 bekannten Ventilanordnung dieser Art ist derelektromagnetische Ventilantrieb Bestandteil eines Magnetventils, dasals Vorsteuerventil zur Betätigungeines zugeordneten Hauptventils vorgesehen ist. Üblicherweise ist der Ventilantriebfür eineBetätigungmit einer Spannung von 24 Volt ausgelegt, die unmittelbar von einerangeschlossenen elektronischen Steuereinrichtung geliefert werdenkann. Bedingt durch den Umstand, dass die Kraft eines Elektromagnetenim wesentlichen proportional zu dem Produkt aus Windungszahl derMagnetspule und der Stromstärkeist, kann bei derartigen Ventilanordnungen die Schaltkraft und folglichauch die Schaltgeschwindigkeit nur durch Vergrößerung der Magnetspule realisiertwerden, was jedoch eine oft nicht tolerierbare Vergrößerung dergesamten Ventilabmessung zur Folge hat. Dem steht das Bestrebengegenüber,bei der Auslegung einer Spule diese möglichst klein zu gestalten beimöglichstgeringem elektrischem Verbrauch.
[0003] Eswäre zwardenkbar, anstelle eines Elektromagneten einen Piezo-Aktor als Ventilantriebeinzusetzen. Eine möglicheAusgestaltung füreinen solchen Piezo-Aktor, mit dem eine 3/2-Ventilfunktion realisierbar ist, gehtaus der DE 36 08 550A1 hervor. Der Vorteil von Piezo-Aktoren besteht in derRegel darin, dass sie schnelle Schaltzeiten ermöglichen. Allerdings ist entwedereine großeSchaltkraft bei nur kleinem Hub oder ein großer Hub bei nur relativ kleinerSchaltkraft möglich.Bei Piezo-Aktoren mit Biegewandler als Aktorelement können daherbei einem bestimmten Druck nur sehr geringe Nennweiten beherrschtwerden.
[0004] Esist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Ventilanordnungzu schaffen, mit der sich bei kompakten Abmessungen kurze Schaltzeitenbei hoher Schaltkraft realisieren lassen.
[0005] ZurLösungdieser Aufgabe ist vorgesehen, dass sich in dem Betätigungs-Stromkreisein durch eine von der Betätigungs-Spannung abweichende SteuerspannungbetätigbarerPiezo-Aktor als Schalter befindet, dessen Aktorelement als Schaltglied zumwahlweisen Schließenoder Unterbrechen des Betätigungs-Stromkreises fungiert.
[0006] Aufdiese Weise wird ein Piezo-Aktor nicht zur Steuerung eines Fluideseingesetzt, sondern als Schalter mit elektrischer Relaisfunktionfür daswahlweise Schließenoder Unterbrechen eines die Magnetspule beinhaltenden Betätigungs-Stromkreises, derdurch eine Betätigungsspannungversorgt wird. Beim Einsatz der Ventilanordnung kann somit durch eine üblicherweisevorhandene elektronische Steuereinrichtung auf Basis der standardmäßig vorhandenengeringen Steuerspannung der Piezo-Aktor betätigt werden, der seinerseitsin der Lage ist, eine relativ hohe Betätigungsspannung, beispielsweise220 Volt oder 380 Volt, zu steuern, die für die eigentliche Betätigung deselektromagnetischen Ventilantriebes zuständig ist. Aufgrund der sehrgeringen Leistungsaufnahme des Piezo-Aktors wird der Ausgang derzur Ansteuerung vorgesehenen elektronischen Steuereinrichtung nurunwesentlich belastet. Seine sehr kurze mechanische Schaltzeit kannin voller Höhe ausgenutztwerden, da sich die schaltbare Starkstromquelle (Betätigungsspannung)mit Lichtgeschwindigkeit ausbreiten und die Magnetspule aktivierenkann. Dem Elektromagneten hingegen steht ein sehr leistungsstarkerAnschluss zur Verfügung.
[0007] Dadie Kraft eines Elektromagneten im wesentlichen proportional zumProdukt aus Windungszahl und Stromstärke ist, kann ein mit 220 Volt/380 VoltbetätigterElektromagnet bei gleichbleibender Betätigungskraft mit wesentlichkleineren Abmessungen realisiert werden als ein zur Ansteuerungmit lediglich 24 Volt ausgelegter Elektromagnet. Bei gleichbleibenderWindungszahl kann ein dünnererSpulendraht verwendet werden, was kleinere Spulenabmessungen zulässt. Andererseitskann bei gleicher Baugröße einewesentlich größere Betätigungskraft gewährleistetwerden, so dass sich größere Strömungsquerschnitteschalten und/oder kürzere Schaltzeitenrealisieren lassen.
[0008] Eshat sich überdiesherausgestellt, dass der Piezo-Aktor bei einer Verwendung als elektrischer Schalterwesentlich leichter auslegungs- und betriebstechnisch in den Griffzu bekommen ist wie bei einer Verwendung als fluidischer Schalterbzw. fluidisches Ventil. Es treten keine Strömungskräfte auf, die das Schaltverhaltenbeeinflussen, so dass sich große Schalthübe realisierenlassen, die einen Funkenüberschlagtrotz der hohen Betätigungsspannungverhindern.
[0009] VorteilhafteWeiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
[0010] Derelektromagnetische Ventilantrieb ist zweckmäßigerweise Bestandteil einesMagnetventils. Die Magnetspule kann zu einem Elektromagneten gehören oderauch als Tauchspule eingesetzt werden, was dann allerdings eineGleichspannungsquelle erforderlich macht.
[0011] DasMagnetventil kann unmittelbar ein direkt betätigtes Hauptventil sein. Alsbesonders vorteilhaft wird allerdings die Ausgestaltung als Vorsteuerventil zurBetätigungeines zugeordneten fluidbetätigten Hauptventilsangesehen.
[0012] DasAktorelement des Piezo-Aktors ist zweckmäßigerweise als Biegewandlerausgeführt. Hierlassen sich bei kompakten Abmessungen besonders große Hübe realisieren,in Verbindung mit einer äußerst geringenLeistungsaufnahme.
[0013] DerPiezo-Aktor kann mit einem besonders einfach ausgebildeten Aktorelementausgerüstet werden,wenn das Aktorelement im elektrisch spannungslosen Zustand eineden Betätigungs-Stromkreisunterbrechende Offenstellung einnimmt, in die es zurückkehrt,wenn es nach einer elektrischen Aktivierung erneut elektrisch spannungslosgeschaltet und entladen wird. In diesem Falle ist eine durch die Steuerspannungnotwendige aktive Auslenkung in nur einer Richtung erforderlich.Gleichwohl wärees prinzipiell ohne weiteres möglich,ein Aktorelement mit zwei möglichenWirkrichtungen einzusetzen, beispielsweise einen Bimorph-Biegewandler.
[0014] Umeine kompakte Ventilanordnung zu erhalten, kann der Piezo-Aktor mit dem Ventilantriebzu einer Baugruppe oder Baueinheit zusammengefasst sein.
[0015] Dieim Vergleich zur Betätigungsspannung niedrigereSteuerspannung liegt beispielsweise bei 24 Volt, einer von den handelsüblichenelektronischen Steuereinrichtungen typischerweise zur Verfügung gestelltenSpannungshöhe.Ist fürdie Betätigungdes Aktorelementes allerdings eine höhere Spannung erforderlich,beispielsweise 60 Volt, kann diese durch eine die angelegte SteuerspannungerhöhendeSpannungswandlerschaltung zur Verfügung gestellt werden. DieseSpannungswandlerschaltung kann bei Bedarf ein Bestandteil des Piezo-Aktorssein.
[0016] Imfolgenden wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. Dieeinzige Figur (1) zeigt im Längsschnittschematisch eine bevorzugte Bauform einer auf Basis des erfindungsgemäßen Konzeptsaufgebauten Ventilanordnung.
[0017] Diein ihrer Gesamtheit mit Bezugsziffer 1 bezeichnete Ventilanordnungverfügt über einHauptventil 2, das mit einem elektromagnetischen Ventilantrieb 3 undeinem zur Betätigungdes Ventilantriebes 3 dienenden Piezo-Aktor 4 zueiner Ventileinheit zusammengefasst ist. Für die Vorgabe des Betriebszustandesder vorgenannten Ventileinheit dient eine in der Regel extern angeordneteelektronische Steuereinrichtung 5, die eine SteuerspannungUS ausgeben kann.
[0018] DasHauptventil 2 ist grundsätzlich beliebiger Art. Beispielsweisekönntees sich um ein Sitzventil handeln. Beim Ausführungsbeispiel ist es als Schieberventilkonzipiert.
[0019] Durchdas Hauptventil 2 könnenFluidströmungengesteuert werden. Beispielsgemäß ist eine 3/2-Ventilfunktionalität vorgesehen.Andere Funktionalitätensind jedoch ebenfalls möglich.
[0020] DasHauptventil 2 besitzt ein Hauptventilgehäuse 6,in dem ein beweglicher Ventilschieber 7 angeordnet ist.Durch eine Rückstellfeder 8 istder Ventilschieber 7 in die abgebildete Grundstellung vorgespannt.In dieser Grundstellung steht ein mit einer nicht näher dargestelltenDruckquelle verbundener Speisekanal P mit einem zu einem nicht näher dargestelltenVerbraucher führendenArbeitskanal A in Verbindung. Gleichzeitig ist ein je nach Fluidmit einem Tank oder mit der Atmosphäre verbundener EntlastungskanalR von den beiden vorgenannten Ventilkanälen abgetrennt. Die Kanäle verlaufenim Hauptventilgehäuse 6.
[0021] ZumUmschalten in eine zweite Schaltstellung wird ein mit dem Ventilschieber 7 bewegungsgekoppelterAntriebskolben 12 mit einem Betätigungsfluid beaufschlagt.Die daraus resultierende BetätigungskraftFB wirkt entgegengesetzt zur Rückstellfeder 8 undist größer alsderen Federkraft, so dass der Ventilschieber 7 sich axialverlagert, worauf dann der Arbeitskanal A mit dem EntlastungskanalR verbunden und gleichzeitig der Speisekanal P abgetrennt ist.
[0022] Für die Verbindungund Trennung der Ventilkanälesorgen ringförmigeDichtungseinrichtungen 11, die beim Ausführungsbeispielam Hauptventilgehäuse 6 fixiertsind und den überdie Längehinweg abgestuften Ventilschieber 7 in an sich bekannter Weisekoaxial umschließen.
[0023] DieBeaufschlagung des Antriebskolbens 12 mit dem Betätigungsfluidwird durch den elektromagnetischen Ventilantrieb 3 gesteuert.Dieser fungiert in Bezug auf das Hauptventil 2 als Vorsteuerventilund ist als 3/2-Magnetventil ausgebildet.
[0024] Ineiner Vorsteuer-Ventilkammer 13, die im Innern des Ventilantriebsgehäuses 14 ausgebildet ist,sitzt ein mit einem beweglichen Magnetanker bewegungsgekoppeltesoder unmittelbar von diesem Magnetanker gebildetes Vorsteuer-Ventilglied 15, dasdurch eine Rückstellfeder 16 indie abgebildete Grundstellung vorgespannt ist, aus der es durchAufbringen von Magnetkräftenin eine zweite Schaltstellung auslenkbar ist.
[0025] Einvon der Vorsteuer-Ventilkammer 13 ausgehender Betätigungskanal 17 mündet ineine vom Antriebskolben 12 begrenzte Beaufschlagungskammer 18.Ein ebenfalls in die Vorsteuer-Ventilkammer 13 einmündenderVorsteuer-Speisekanal 22 steht mit dem Speisekanal P desHauptventils 2 in ständiger Verbindungund liefert so das Betätigungsfluid.Alternativ wärehier allerdings auch eine getrennte Zufuhr des Betätigungsfluidesmöglich.Schließlichist noch ein je nach Fluidart mit einem Tank oder mit der Atmosphäre verbundenerVorsteuer-Entlastungskanal 23 vorgesehen.
[0026] Inder Grundstellung des Vorsteuerventilgliedes 15 liegt inder Beaufschlagungskammer 18 Atmosphärendruck an, so dass der Ventilschieber 7 durchdie Rückstellfeder 8 inder Grundstellung gehalten wird. Ist hingegen das Vorsteuerventilglied 15 indie zweite Schaltstellung umgeschaltet, gibt es die Verbindung zwischendem bis dahin verschlossenen Vorsteuer-Speisekanal 22 und dem Betätigungskanal 17 frei,bei gleichzeitigem Verschluss des Vorsteuer-Entlastungskanals 23.Dadurch kann das vom Speisekanal P abgezweigte Betätigungsfluidden Antriebskolben 12 beaufschlagen und den Ventilschieber 7 inseine zweite Schaltstellung verlagern.
[0027] Diefür dasUmschalten des Vorsteuerventilgliedes 15 erforderlicheMagnetkraft liefert mindestens eine den beweglichen Magnetankerumschließende,im Ventilantriebsgehäuse 14 untergebrachte Magnetspule 21.Diese ist an einen Betätigungs-Stromkreis 24 angeschlossen,der von einer BetätigungsspannungUB gespeist ist. Für das Anlegen der BetätigungsspannungUB ist eine elektromechanische Schnittstelle 25 vorgesehen, diesich beim Ausführungsbeispielam als Aktorgehäuse 26 bezeichnetenGehäusedes Piezo-Aktors 4 befindet. Von hier gehen zwei Leiterstränge 27, 28 aus,die zur Magnetspule 21 führen.
[0028] DieBetätigungsspannungUB ist im Vergleich zu den üblicherweisebei der Ansteuerung von elektrisch betätigten Ventilen herrschendenZuständen alsStarkstromquelle einzustufen. Sie liegt bevorzugt bei 220 Volt oder380 Volt. Demgegenüberwerden die Magnetspulen von Magnetventilen bisher regelmäßig mitweit niedrigeren Spannungen betrieben, die in der Regel bei 24 Voltliegen, eine Spannung die standardmäßig von vielen elektronischenSteuereinrichtungen bereitgestellt werden.
[0029] Beider abgebildeten Ventilanordnung 1 erfolgt die elektrischeAnsteuerung ursächlichnicht durch die relativ hohe BetätigungsspannungUB, sondern durch eine diesbezüglich niedrigereSteuerspannung US, die durch eine elektronischeSteuereinrichtung 5 geliefert wird. Diese Steuerspannung US wird zur Aktivierung des Piezo-Aktors 4 eingesetzt,der als Schalter in den Betätigungs-Stromkreis 24 eingeschaltetist, wobei sein auf der Basis des umgekehrten piezo-elektrischenEffektes aktivierbares Aktorelement 32 als Schaltgliedfungiert, mit dem sich der Betätigungs-Stromkreis 24 wahlweise schließen oderunterbrechen lässt.
[0030] Umdie Schalterfunktion zu realisieren, ist beim Ausführungsbeispieleiner der Leiterstränge 28 inzwei Leiterstrangabschnitte 28a, 28b unterteilt,deren einer zur Schnittstelle 25 und deren anderer zu einemAnschluss der Magnetspule 21 führt. Die beiden anderen Endeneines jeweiligen Leiterstrangabschnittes 28a, 28b sindmit beabstandeten Kontaktflächen 31a, 31b verbunden,denen eine am Aktorelemente 32 angeordnete, elektrischleitende Überbrückungsfläche 33 gegenüberliegt.
[0031] DurchFedermittel 34 oder allein aufgrund einer entsprechendenJustierung und eigenem Rückstellverhaltennimmt das Aktorelement 32 im elektrisch spannungslosenZustand eine Offenstellung ein, in der die Überbrückungsfläche 33 von den beidenKontaktflächen 31a, 31b beabstandetist. Durch Anlegen der Steuerspannung US andas Aktorelement 32 bewegt sich dieses so, dass die Überbrückungsfläche 33 letztlichgleichzeitig an den beiden Kontaktflächen 31a, 31b zurAnlage gelangt und dadurch den zuvor noch unterbrochenen Betätigungs-Stromkreis 24 schließt.
[0032] Umin der Offenstellung einen einen Funkenüberschlag ausschließenden,relativ großenAbstand zwischen der Überbrückungsfläche 33 undden Kontaktflächen 31a, 31b einhaltenzu können,empfiehlt sich der Einsatz eines Biegewandlers als piezo-elektrischesAktorelement 32. Dies ist beim Ausfüh rungsbeispiel der Fall. DerBiegewandler ist hier einenends am Aktorgehäuse 26 fixiert undträgt andernendsdie Überbrückungsfläche 33.Wird eine Steuerspannung US angelegt, findetein durch einen Pfeil 35 angedeutetes seitliches Auslenkendes Aktorelementes 32 an seinem nicht gehäusefesteingespannten Längenabschnittstatt.
[0033] Umdie Rückbewegungin die Grundstellung zu bewirken, wird die Steuerspannung US entfernt und durch eine entsprechende Schaltungdas Abfließender Ladungen von den Elektroden des Aktorelementes 32 ermöglicht.
[0034] Für den Anschlussder die Steuerspannung US liefernden elektronischenSteuereinrichtung 5 ist an der Ventileinheit, vorzugsweiseam Aktorgehäuse 26,eine weitere elektromechanische Schnittstelle 36 vorgesehen.An ihr lässtsich jede handelsübliche elektronischeSteuereinrichtung anschließen.Von der Schnittstelle gehen elektrische Leiter 38 aus,die mit dem Aktorelement 32 kontaktiert sind.
[0035] Dasbeim Ausführungsbeispieleingesetzte Aktorelement 32 ist ein Niedervolt-Piezobiegewandler,der sich unmittelbar durch die von der elektronischen Steuereinrichtung 5 gelieferteniedrige Steuerspannung US von vorzugsweise24 Volt betätigen lässt. Kommtstattdessen ein piezo-elektrisches Aktorelement 32 zumEinsatz, das einer höherenSteuerspannung US bedarf – typischsind hier beispielsweise 60 Volt – kann zusätzlich eine strichpunktiert angedeuteteSpannungswandlerschaltung 37 vorgesehen werden, durch diedie Steuerspannung entsprechend erhöht wird. Die Spannungswandlerschaltung 37 kannzwischen der elektronischen Steuereinrichtung 5 und demPiezo-Aktor 4 sitzen, kann allerdings auch unmittelbarerBestandteil einer dieser beiden vorgenannten Komponenten sein. Gleichesgilt füreine die Rückstellungdes Aktorelementes 32 ermöglichende Entladeschaltung.
[0036] Ersichtlichkann mit der Erfindung ein elektromagnetisch vorgesteuertes, fluidbetätigtes Hauptventilrealisiert werden, das – trotzunmittelbarer Ansteuerung durch die relativ niedrige Steuerspannung einerelektronischen Steuereinrichtung – mit sehr kompakten Abmessungen,hoher Betätigungskraft undgeringen Schaltzeiten realisiert werden kann. Bedingt durch dendie Schalterfunktion übernehmendenPiezo-Aktor ist die steuerseitige Leistungsaufnahme bei gleichzeitigsehr kompakten Abmessungen äußerst gering.Wird durch das Anlegen der Steuerspannung US derBetätigungsstromkreisgeschlossen, liegt an der Magnetspule 21 schlagartig diehohe BetätigungsspannungUB an, was extrem kurze Schaltzeiten garantiert.Bedingt durch die hohe BetätigungsspannungUB lässtsich überdie angeschlossene Magnetspule 21 eine hohe Schaltkrafterzeugen, so dass man sehr hohe Vorsteuerdrücke beherrschen kann, bzw.bei gleichem Vorsteuerdruck großeNennweiten öffnenkann.
[0037] Manverwendet quasi einen Piezo-Aktor zum Zuschalten einer elektrischenEnergiequelle mit gegenüberder Steuerspannung weitaus höhererEnergiedichte und Signalübertragungsgeschwindigkeit.
[0038] Legtman einem Vergleich zwischen einem mit 24 Volt betriebenen elektromagnetischenVentilantrieb und einem mit 220 Volt bzw. 380 Volt betriebenen elektromagnetischenVentilantrieb die gleichen Abmessungen zugrunde, so kann bei dem220 Volt/380 Volt-Ventilantrieb durch Reduzierung der Spulendrahtdickebei gleichzeitig erhöhtemWiderstand die Windungszahl erhöhtwerden, so dass bei vergleichbarer Stromstärke – weil die Kraft eines Elektromagnetenim wesentlichen proportional ist zum Produkt aus Windungszahl undStromstärke – eine wesentlichhöheremagnetische Schaltkraft herbeigeführt werden kann.
[0039] BeimAusführungsbeispielsind der Piezo-Aktor 4 und der elektromagnetische Ventilantrieb 3 zueiner Baugruppe zusammengefasst, die als Einheit am Hauptventil 2 installiertist. Um noch kompaktere Abmessungen zu erreichen, können derelektromagnetische Ventilantrieb 3 und der Piezo-Aktor 4 auchunmittelbar als integrierte Baueinheit ausgebildet werden, die dannbeim Zusammenbau einer Ventilanordnung vergleichbar einem konventionellen elektromagnetischenVentilantrieb als Gesamtheit installiert werden kann.
[0040] Während derelektromagnetische Ventilantrieb 3 beim Ausführungsbeispielein Vorsteuerventil bildet, kann er bei Bedarf auch direkt als mechanischerAntrieb fürein Ventilglied eingesetzt werden. Denkbar sind jedoch auch andereelektrische Ventilantriebe wie Tauchspulen, Torque-Motoren oder ähnliches.
权利要求:
Claims (10)
[1] Ventilanordnung zur Fluidsteuerung, mit einem elektromagnetischenVentilantrieb (3), der mindestens eine Magnetspule (21)enthält,die an einen zur Speisung mit einer Betätigungsspannung vorgesehenenBetätigungs-Stromkreis(24) angeschlossen ist, dadurch gekennzeichnet,dass sich in dem Betätigungs-Stromkreis(24) ein durch eine von der Betätigungsspannung abweichendeSteuerspannung betätigbarerPiezo-Aktor (4) als Schalter befindet, dessen Aktorelement(32) als Schaltglied zum wahlweisen Schließen oderUnterbrechen des Betätigungs-Stromkreises(24) fungiert.
[2] Ventilanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass der elektromagnetische Ventilantrieb (3) Bestandteileines Magnetventils ist.
[3] Ventilantrieb nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,dass das Magnetventil als Vorsteuerventil zur Betätigung ei neszugeordneten fluidbetätigtenHauptventils (2) ausgebildet ist.
[4] Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis3, dadurch gekennzeichnet, dass der Piezo-Aktor (4) mindestenseinen Biegewandler als Aktorelement (32) aufweist.
[5] Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis4, dadurch gekennzeichnet, dass der Piezo-Aktor (4) mitdem elektromagnetischen Ventilantrieb (3) zu einer Baugruppeoder Baueinheit zusammengefasst ist.
[6] Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis5, dadurch gekennzeichnet, dass das Aktorelement (32) imelektrisch spannungslosen Zustand eine den Betätigungs-Stromkreis (24)unterbrechende Offenstellung einnimmt.
[7] Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis6, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungsspannung 220 Volt oder380 Volt und die Steuerspannung 24 Volt oder 60 Volt beträgt.
[8] Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis7, dadurch gekennzeichnet, dass dem Piezo-Aktor (4) einedie angelegte Steuerspannung erhöhendeSpannungswandlerschaltung (37) zugeordnet ist.
[9] Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis8, dadurch gekennzeichnet, dass die Betätigungsspannung höher istals die Steuerspannung.
[10] Ventilanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis9, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuerspannung durch eine anden Piezo-Aktor (4) angeschlossene elektronische Steuereinrichtung(5) geliefert wird.
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