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    Die vorliegende Erfindung betrifft einen Staubabscheider (20) für Laser (10) sowie Laser (10) mit derartigen Staubabscheidern. DOLLAR A Gemäß der Erfindung ist ein Staubabscheider (20) zur Verwendung in einer Laserkammer (11), in der ein Gas enthalten ist, in welchem durch eine Elektrodenanordnung (12) eine Gasentladung erzeugt wird, bestimmt. Gemäß der Erfindung ist vorgesehen, dass der Staubabscheider (20) aus einer Magnetanordnung besteht, welche ein Magnetfeld erzeugt.The present invention relates to a dust separator (20) for lasers (10) and lasers (10) with such dust collectors. DOLLAR A According to the invention, a dust separator (20) for use in a laser chamber (11) in which a gas is contained, in which a gas discharge is generated by an electrode arrangement (12), is determined. According to the invention it is provided that the dust collector (20) consists of a magnet arrangement which generates a magnetic field.
    公开号:DE102004023382A1
    申请号:DE200410023382
    申请日:2004-05-13
    公开日:2005-12-15
    发明作者:Aleksandar Djordjevic
    申请人:Tuilaser AG；
    IPC主号:H01S3-03
    专利说明:
    [0001] Dievorliegende Erfindung betrifft einen Staubabscheider für Lasersowie Laser mit derartigen Staubabscheidern. Bei Gaslasern ist ineiner Laserkammer ein Gas enthalten. Darüber hinaus ist in der Laserkammereine Elektrodenanordnung gegeben, in welcher eine elektrische Entladungerzeugt wird, die zur Anregung erregter Zustände der Atome oder Moleküle des Gasesführt,welche dann das Laserlicht erzeugen. Um eine optische Kavität zu bilden,in der sich ein synchronisierter, kohärenter Lichtstrahl als dasLaserlicht ausbildet, sind optische Elemente in der Laserkammernotwendig, insbesondere Spiegel, zwischen denen sich eine stehendeWelle von Licht ausbildet. Einer dieser Spiegel ist üblicherweise nurteilspiegelnd und ein Teil des Lichtstrahls tritt durch ihn hindurchund dann durch ein Austrittsfenster aus der Laserkammer hinaus.TheThe present invention relates to a dust collector for lasersas well as lasers with such dust collectors. For gas lasers is ina laser chamber containing a gas. In addition, in the laser chamberan electrode arrangement is given, in which an electrical dischargewhich is used to excite excited states of the atoms or molecules of the gasleads,which then generate the laser light. To form an optical cavity,in which a synchronized, coherent light beam than theLaser light forms are optical elements in the laser chambernecessary, in particular mirrors, between which a standingWave of light is forming. One of these mirrors is usually justpartially reflecting and a part of the light beam passes through itand then through an exit window out of the laser chamber.
    [0002] Beiderartigen Lasern tritt schon aufgrund der Funkenerosion im Bereichder Elektroden, währendeine Hochspannungsentladung stattfindet, eine Verschmutzung desInnenraums der Laserkammer mit festen Partikeln auf, die dann durchdas zirkulierende Gas auch in der ganzen Kammer verteilt werden.Auch das intensive Licht im Inneren der Laserkammer kann an unterschiedlichenStellen eine erodierende Wirkung auf das Material haben, wodurch eineweitere Quelle fürVerschmutzung des Innenraumes der Laserkammer mit Stäuben gegebenist. Darüberhinaus ist auch meist ein ständigerAustausch des Gases in der Laserkammer vorgesehen, so dass auch über denGasstrom ein ständigesZuführenvon Verunreinigungen fester Art in das Innere der Laserkammer stattfindet.atsuch lasers already occurs due to the spark erosion in the areaof the electrodes whilea high voltage discharge takes place, a pollution of theInside the laser chamber with solid particles on, then throughthe circulating gas can also be distributed throughout the chamber.The intense light inside the laser chamber can also be differentMake an eroding effect on the material, causing aanother source forContamination of the interior of the laser chamber with dustsis. About thatIn addition, usually is a permanentReplacement of the gas provided in the laser chamber, so that too over theGas flow a permanentRespectivelyof impurities of a solid kind takes place in the interior of the laser chamber.
    [0003] DerartigeStäubekönnensich auf allen Innenflächeneiner Laserkammer niederschlagen. Dies hat den Nachteil, dass auchund gerade optische Elemente, wie Fenster für den Austritt von Laserlichtaus der Laserkammer und im Inneren der Laserkammer angeordnete optischeElemente, wie Spiegel, an ihrer Oberfläche durch sich absetzende Stäube verunreinigtund in ihrer Lichtdurchlässigkeitbeeinträchtigt werdenkönnen.Hierdurch leidet die Effizienz des Lasers, also die abgestrahlteLichtleistung pro zugeführterEnergiemenge. Um den entgegenzutreten, sind Staubabscheidungssystemebekannt, bei denen ein starkes elektrisches Feld erzeugt wird, umein Abscheiden von Stäubenin unerwünschtenBereichen zu verhindern und auf Abscheidungsflächen zu erreichen.suchdustscanon all inner surfacesknock down a laser chamber. This has the disadvantage that tooand even optical elements, such as windows for the exit of laser lightfrom the laser chamber and arranged inside the laser chamber opticalElements, such as mirrors, on their surface contaminated by settling dustsand in their translucencybe affectedcan.This suffers the efficiency of the laser, so the radiatedLight output per suppliedAmount of energy. To counter this are dust removal systemsknown in which a strong electric field is generated toa separation of dustsin unwantedTo prevent areas and to reach deposition areas.
    [0004] Demgegenüber istes Aufgabe der Erfindung, einfach aufzubauende und kostengünstige Staubabscheiderzu schaffen.In contrast, isIt is an object of the invention, easy to build and inexpensive dust collectorto accomplish.
    [0005] Dieseder Erfindung zugrunde liegende Aufgabe wird durch einen Staubabscheidergemäß dem Anspruch1 gelöst.Vorteilhafte Verwendungen des Staubabscheiders ergeben sich insbesonderein Verbindung mit einem Laser gemäß dem unabhängigen Anspruch 15.TheseThe object underlying the invention is achieved by a dust collectoraccording to the claim1 solved.Advantageous uses of the dust collector arise in particularin conjunction with a laser according to independent claim 15.
    [0006] Gemäß der Erfindungist ein Staubabscheider zur Verwendung in einer Laserkammer, inder ein Gas enthalten ist, in welchem durch eine Elektrodenanordnungeine Gasentladung erzeugt wird, bestimmt. Gemäß der Erfindung ist vorgesehen,dass der Staubabscheider aus einer Magnetanordnung besteht, welcheein Magnetfeld erzeugt.According to the inventionis a dust collector for use in a laser chamber, ina gas is contained, in which by an electrode assemblya gas discharge is generated, determined. According to the invention it is providedthat the dust separator consists of a magnet arrangement, whichgenerates a magnetic field.
    [0007] DerartigeStaubabscheider haben den Vorteil, dass die aufgrund der Magnetanordnungeinfach und in kompakter Bauweise gestaltbar sind. Sie sind geeignet,sämtlicheStäubeaus einem Lasergas herauszufiltern, die ein magnetisierbares Materialenthalten.suchDust collectors have the advantage that due to the magnet arrangementcan be designed simply and in a compact design. They are suitableallduststo filter out of a laser gas, which is a magnetizable materialcontain.
    [0008] Esentspricht einer vorteilhaften Ausgestaltung, wenn die Magnetanordnungso gestaltet ist, dass das sich ergebende Magnetfeld inhomogen ist. Damagnetisierbare Staubpartikel in einem homogenen Magnetfeld im Wesentlichenin Suspension gehalten werden, ist es von Vorteil, wenn ein inhomogenesMagnetfeld erzeugt wird, so dass durch das Wandern der Partikelvon dem Bereich eines schwächerenMagnetfelds in den Bereich eines stärkeren Magnetfelds diese sichauf einer vorgesehenen Abscheidungsfläche abzsetzen. Es ist alsovon Vorteil, wenn das sich ergebende Magnetfeld einen sehr hohenGradienten aufweist und diesen Bereichen Staubabscheidungsflächen vorgesehensind, auf denen sich dann die magnetisierbaren Stäube niederschlagen.Itcorresponds to an advantageous embodiment, when the magnet assemblyis designed so that the resulting magnetic field is inhomogeneous. Theremagnetizable dust particles in a homogeneous magnetic field substantiallybe kept in suspension, it is advantageous if an inhomogeneousMagnetic field is generated, so by moving the particlesfrom the area of a weaker oneMagnetic field in the area of a stronger magnetic field these themselvesDecline on a designated deposition surface. So it isadvantageous if the resulting magnetic field is a very highGradients and these areas provided dust collecting surfacesare on which then the magnetizable dusts precipitate.
    [0009] Gemäß vorteilhafterAusgestaltung der Erfindung weist die Magnetanordnung wenigstensein Funktionselement aus einem magnetisierbaren Material auf. DieVerwendung von Funktionselementen aus magnetisierbarem Materialermöglichtes, ohne magnetisches Material zu verwenden bzw. ohne ausschließlich Magnetezu verwenden, die Gestaltung des Magnetfelds und insbesondere denVerlauf von Feldlinien zu beeinflussen. Insbesondere wird es ermöglicht,den räumlichenBereich des Bestehen eines Magnetfeldes zu beeinflussen. Andererseitshat beispielsweise die Verwendung von Funktionselementen aus magnetisierbaremMaterial dann einen Vorteil, wenn diese die Staubabscheidungsfläche, alsodie Zonen des größten Gradientendes Magnetfelds aufweisen. In diesen Bereichen findet die Staubabscheidungder magnetisierbaren Stäubestatt. Nach bestimmten Betriebsdauern reicht es nun aus, die alsStaubabscheider dienenden Funktionselemente aus magnetisierbaremMaterial, welche diese Staubabscheidungsflächen aufweisen, zu reinigen oderauszutauschen, um die abgeschiedenen Stäube zu entfernen. Es ist dannnicht erforderlich, die gesamte Magnetanordnung auszutauschen. Hierdurch wirdinsbesondere die Instandhaltung und Wartung des Staubabscheidersvereinfacht und kostengünstiger.According to an advantageous embodiment of the invention, the magnet arrangement has at least one functional element of a magnetizable material. The use of functional elements of magnetizable material makes it possible to use without magnetic material or without exclusively using magnets to influence the design of the magnetic field and in particular the course of field lines. In particular, it is possible to influence the spatial area of the existence of a magnetic field. On the other hand, for example, the use of functional elements of magnetizable material has an advantage if they have the dust deposition surface, ie the zones of the largest gradient of the magnetic field. In these areas dust separation of the magnetisable dusts takes place. After certain operating times, it is now sufficient to serve as a dust separator Funktionsele Magnetic material that have these dust collecting surfaces may be cleaned or replaced to remove the deposited dusts. It is then not necessary to exchange the entire magnet arrangement. As a result, in particular the maintenance and service of the dust collector is simplified and cheaper.
    [0010] Gemäß vorteilhafterAusgestaltung der Erfindung weist die Magnetanordnung wenigstenseinen permanentmagnetischen Magnetkörper auf. Die Verwendung vonPermanentmagneten hat den Vorteil, dass zum Erzeugen des Magnetfeldskeine andauernde Energiezufuhr erforderlich ist, wie dies bei Verwendungvon elektromagnetischen Elementen der Fall wäre. Darüber hinaus besteht bei Permanentmagnetendas Magnetfeld unabhängigvon dem Bestehen einer Energieversorgung und somit auch dann, wennder Laser nicht in Betrieb ist. Die Staubabscheidungsfunktion istalso unabhängigvon dem Betrieb des Lasers und benötigt nicht unbedingt eine eigene Energieversorgung.Darüberhinaus ermöglichtdie Verwendung von Permanentmagneten auch eine einfachere kompakteGestaltung des Staubabscheiders. Es muss nicht unbedingt eine Zufuhrfür elektrischeEnergie vorgesehen sein, die wiederum entsprechende Durchführöffnungenin der Laserkammer benötigen.Darüberhinaus sind Permanentmagneten in ihrer Formgebung in weiten Bereichengestaltbar. Nachteilig bei Permanentmagneten ist lediglich, dass ihremagnetische Feldstärkeauf Feldstärkenbegrenzt ist, die durch magnetisches Material erzeugbar sind. Die üblichenPermanentmagneten sind Feldstärkenim Bereich von 0,1 bis 1 MA/m erreichbar. Felder in diesen Feldstärken sindaber insbesondere ausreichend, um eine Staubabscheidungsfunktiondann zu gewährleisten,wenn eine hinreichende Inhomogenität der Feldlinien vorliegt.Dies gilt insbesondere in Verbindung mit Funktionselementen aus magnetisierbaremMaterial, deren Formgebung einfacher gestaltbar ist und somit ineinfacherer Weise Zonen besonders hohen Gradienten von Feldlinien erzeugbarsind.According to advantageousEmbodiment of the invention, the magnet assembly at leasta permanent magnet magnetic body. The usage ofPermanent magnet has the advantage that for generating the magnetic fieldNo continuous energy supply is required, as in useof electromagnetic elements would be the case. In addition, there is permanent magnetthe magnetic field independentof the existence of a power supply and thus also ifthe laser is not in operation. The dust removal function isso independentfrom the operation of the laser and does not necessarily require its own power supply.About thatalso allowsThe use of permanent magnets also makes a simpler compactDesign of the dust collector. It does not necessarily have a feedfor electricalEnergy be provided, in turn, corresponding through openingsin the laser chamber.About thatIn addition, permanent magnets are in shape over a wide rangedesigned. The disadvantage of permanent magnets is only that theirmagnetic field strengthon field strengthsis limited, which are generated by magnetic material. The usualPermanent magnets are field strengthswithin the range of 0.1 to 1 MA / m. Fields in these field strengths arebut especially enough to have a dust removal functionthen to ensureif there is sufficient inhomogeneity of the field lines.This applies in particular in conjunction with functional elements made of magnetizableMaterial whose shape is easier to shape and thus inmore easily zones of particularly high gradient of field lines can be generatedare.
    [0011] Durchdie Verwendung von Elektromagneten in der Magnetanordnung kann,insbesondere unter Inkaufnehmen größerer räumlicher Ausdehnung und derNachteile einer erforderlichen Energiezufuhr in Form von elektrischemStrom zu dem Elektromagneten hin Verwendung finden. Elektromagnetehaben dabei den Vorteil, dass die erzielbaren magnetischen Feldstärken erheblichgrößer sind.Bythe use of electromagnets in the magnet arrangement can,in particular taking into account greater spatial extent and theDisadvantages of a required power supply in the form of electricalUse current to the electromagnet. electromagnetshave the advantage that the achievable magnetic field strengths significantlyare bigger.
    [0012] Esentspricht jedoch einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung,wenn die Magnetanordnung frei von Elektromagneten ist. In diesenFällen kanndie Magnetanordnung in besonders einfacher Weise insbesondere betriebskostengünstig gestaltet sein.Sie ist insbesondere sehr kompakt und von der Formgebung weitgehendfrei gestaltbar.ItHowever, corresponds to an advantageous embodiment of the invention,when the magnet assembly is free of electromagnets. In theseCases canthe magnet assembly can be designed in a particularly simple manner, in particular operating cost-effective.It is particularly very compact and largely of the shapefreely configurable.
    [0013] Gemäß einervorteilhaften Ausgestaltung weist ein Staubabscheider eine Magnetanordnung auf,welche aus einem ringförmigenMagneten, insbesondere ringförmigenPermanentmagneten besteht, welcher bezüglich der Hauptachse des Rings axialvoneinander getrennte magnetische Pole aufweist. Dabei ist der Ringvorzugsweise an wenigstens einer Seite von einer Platte aus magnetisierbaremMaterial begrenzt. Die Platte aus magnetisierbarem Material istdabei insbesondere so gestaltet, dass sie um die Hauptachse desRings herum eine Bohrung aufweist. Ein derartiger Ringmagnet kann insbesonderebeidseitig mit einer so gestalteten magnetischen Platte versehensein. Dabei dient insbesondere die wenigstens eine magnetische Platteals Abscheideflächefür magnetisierbareStäube.Hierzu kann insbesondere vorgesehen sein, dass die magnetischenPlatten in ihrer radialen Erstreckungsfläche auf der den Magnetpolenzugewandten Innenseite radial einwärts des ringförmigen Magneteneine Profilgestaltung aufweisen, die einen hohen Gradienten desMagnetfelds erzeugen. Ein derartig gestalteter ringförmiger Magnet,insbesondere mit Platten, welche mittig eine Bohrung aufweisen,ist besonders gut zur Anordnung unmittelbar vor optischen Elementenwie Spiegeln oder Fenster geeignet, wobei der Strahlverlauf desdurchquerenden Laserstrahls insbesondere die Bohrungen der Plattenbzw. den Ringkörperdes Magneten längsder Hauptachse des ringförmigenMagneten durchsetzt.According to oneadvantageous embodiment, a dust collector on a magnet assembly,which from an annularMagnets, in particular annularPermanent magnet exists, which with respect to the main axis of the ring axiallyHaving separate magnetic poles. Here is the ringpreferably on at least one side of a plate of magnetizableMaterial limited. The plate is made of magnetizable materialin particular designed so that they are around the main axis of theHas a hole around it. Such a ring magnet can in particularprovided on both sides with a so-designed magnetic platebe. In particular, the at least one magnetic plate is usedas separation surfacefor magnetizableDust.For this purpose, it can be provided in particular that the magneticPlates in their radial extension surface on the magnetic polesfacing inside radially inwardly of the annular magnethave a profile design, which has a high gradient ofGenerate magnetic field. Such a shaped annular magnet,in particular with plates which have a bore in the center,is particularly good for placing directly in front of optical elementslike mirrors or windows suitable, the beam path of thepassing through the laser beam in particular the holes of the platesor the ring bodythe magnet alongthe main axis of the annularMagnet interspersed.
    [0014] Esentspricht einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung, wenn die Magnetanordnungeinen sich linear erstreckenden Permanentmagneten aufweist. Einsolcher Permanentmagnet, auch Stabmagnet genannt, ist die einfachsteAusgestaltung eines Magneten und kann schon als Staubabscheiderverwendet werden. Gemäß bevorzugterAusgestaltung einer solchen Magnetanordnung ist vorgesehen, dassder Permanentmagnet beiderseits an seinen Polen senkrecht zur Erstreckungsrichtungdes Permanentmagneten abragende Platten aus magnetisierbarem Materialaufweist. Durch die Platten aus magnetisierbarem Material, welchevon den Polen seitlich, insbesondere senkrecht abragen, wird die Zonedes Magnetfelds besonderer Stärkeund besonderen Gradienten definierbarer. Es kann hierbei insbesonderevorgesehen sein, dass die Platten auf ihren einander zugewandtenSeiten derart profiliert sind, dass Zonen besonders hoher Intensität des Magnetfeldsund besonders hohen Gradienten des Magnetfelds entstehen. Dies kanninsbesondere dadurch erfolgen, dass die Platten sich über dieBreiten der Platten erstreckende Kanten aufweisen, wobei die Kanteninsbesondere spitz zulaufend ausgebildet sind.Itcorresponds to another advantageous embodiment, when the magnet assemblyhaving a linearly extending permanent magnet. Onesuch permanent magnet, also called bar magnet, is the simplestDesign of a magnet and can already be used as a dust separatorbe used. According to preferredEmbodiment of such a magnet arrangement is provided thatthe permanent magnet on both sides at its poles perpendicular to the extension directionthe permanent magnet protruding plates of magnetizable materialhaving. Through the plates of magnetizable material, whichfrom the poles on the side, in particular protrude vertically, the zonethe magnetic field of particular strengthand special gradients definable. It can in particular herebe provided that the plates on their facing each otherPages are profiled in such a way that zones of particularly high intensity of the magnetic fieldand especially high gradient of the magnetic field. This canin particular by the fact that the plates on theWidths of the plates have extending edges, wherein the edgesare designed in particular tapered.
    [0015] Darüber hinauskann ergänzendzur Gestaltung der Platten oder alternativ hierzu ein parallel zu denPlatten ausgerichteter, mittig zu diesen verlaufender Draht vorgesehensein, welcher beabstandet zum Permanentmagneten angeordnet ist.Dabei besteht der Draht aus magnetisierbarem und vorzugsweise ausmagnetischem Material und erstreckt sich insbesondere wenigstens über dieBreite des Permanentmagneten. Er ist insbesondere mittig zu der Längserstreckungdes Permanentmagneten, insbesondere eines Stabmagneten und querzur Längsachsedes Stabmagneten mit dem Verlauf der Nord-Süd-Richtung des Magnetfeldesausgerichtet. Durch diese Maßnahmewird im Bereich des Drahtes ein sehr starker Gradient des Magnetfeldserzeugt, der um so größer ist,wenn der Draht selbst aus magnetischem oder magnetisierbarem Materialist. Stäube,die magnetisierbar sind, schlagen sich daher insbesondere auf demDraht nieder. Der Draht selbst ist leicht austauschbar und an sichkostengünstig. Hierdurchwird eine besonders wartungsfreundliche Anordnung geschaffen.In addition, in addition to Gestal tion of the plates or, alternatively, an aligned parallel to the plates, centrally extending to this wire be provided which is spaced from the permanent magnet. In this case, the wire consists of magnetizable and preferably of magnetic material and in particular extends at least over the width of the permanent magnet. It is in particular aligned centrally with respect to the longitudinal extent of the permanent magnet, in particular a bar magnet and transversely to the longitudinal axis of the bar magnet with the course of the north-south direction of the magnetic field. By this measure, a very strong gradient of the magnetic field is generated in the region of the wire, which is the greater when the wire itself is made of magnetic or magnetizable material. Dust that can be magnetized, therefore, especially on the wire down. The wire itself is easily replaceable and inexpensive in itself. As a result, a particularly maintenance-friendly arrangement is created.
    [0016] Eineweitere vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung sieht vor, dassdie Magnetanordnung aus zwei plattenförmigen Elementen besteht, diebenachbart zueinander aber durch einen Spalt voneinander getrenntangeordnet sind, wobei wenigstens eines der plattenförmigen Elementeeinen Magneten, insbesondere Permanentmagneten, enthält, wasauch umfasst, dass sie ausschließlich aus einem Magneten odereinem Pol eines Magneten besteht. Durch eine solche Anordnung wirdin vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung eine besonders flacheund kompakte Lösungeines Staubabscheiders geschaffen.AFurther advantageous embodiment of the invention provides thatthe magnet assembly consists of two plate-shaped elements, thebut adjacent to each other separated by a gapare arranged, wherein at least one of the plate-shaped elementsa magnet, in particular permanent magnets, containing whatAlso includes that they are made exclusively from a magnet ora pole of a magnet. By such an arrangement isin an advantageous embodiment of the invention, a particularly flatand compact solutioncreated a dust collector.
    [0017] Gemäß bevorzugterAusgestaltung ist dabei vorgesehen, dass eine der beiden plattenförmigen Elementeeine profilierte Fläche,insbesondere mit spitz zulaufenden Kanten aufweist, welche sich über dieBreite der Magnetanordnung erstrecken. Dabei sind diese profiliertenFlächeninsbesondere in einem plattenförmigenElement aus magnetisierbarem Material geschaffen und vorzugsweisesind die Kanten in einem Bereich ausgebildet, der nicht direkt den Magnetender anderen Platte gegenüberliegt.Hierbei weist die Platte mit dem Magneten vorzugsweise sich lateralzu dem Magneten selbst erstreckende, vorzugsweise flächig ausgebildete,magnetisierbare Platten auf, welche den Bereich der Kanten der gegenüberliegendenPlatten abdeckt und diesem gegenüberliegt. Auch durch diese Maßnahmewerden Zonen des starken Gradienten des magnetischen Feldes in Bereichengeschaffen, die außerhalbdem Magneten liegen und somit leicht austauschbar sind. Insbesonderewird dabei verhindert, dass sich größere Anteile des magnetischenMaterials auf den Magneten selber niederschlagen, vielmehr erfolgtder Niederschlag auf den sich gegenüber oder neben dem Magnetenbefindlichen Platten aus magnetisierbarem Material, welche einfacherund kostengünstigeraustauschbar sind und somit sozusagen die Opferflächen für die Staubabscheidungbilden.According to preferredDesign is provided that one of the two plate-shaped elementsa profiled surface,has in particular with tapered edges, which extend over theWidth of the magnet assembly extend. These are profiledsurfacesespecially in a plate-shapedElement of magnetizable material created and preferablyThe edges are formed in an area that is not directly the magnetthe other plate is opposite.In this case, the plate with the magnet is preferably laterallyto the magnet itself extending, preferably flat trained,magnetizable plates on which the area of the edges of the oppositeCovering plates and facing thislies. Also by this measurebecome zones of strong gradient of magnetic field in areascreated outsidelie the magnet and thus are easily replaceable. EspeciallyThis prevents that larger portions of the magneticMaterial precipitate on the magnet itself, rather takes placethe rainfall on the opposite or next to the magnetlocated plates of magnetizable material, which easierand cheaperare interchangeable and thus, so to speak, the sacrificial surfaces for the dust separationform.
    [0018] EineAusgestaltung des Magnetfelds mit besonders starkem Magnetfeld undGradienten des Magnetfeldes kann geschaffen werden, in dem die beideneinander gegenüberliegendenPlatten die Pole einander anziehender Magnetisierung von Magnetenoder eines Magneten sind und wenigstens eine der Platten auf ihrerder anderen Platte zugewandten Innenseite ein Profil mit Kanten,insbesondere scharf profilierten, spitz zulaufenden Kanten aufweist.Diese Anordnung hat den Vorteil, dass die Flächen, auf welchen sich dermagnetisierbare Staub niederschlägt, selbstMagnete sind und das sich ausbildende Magnetfeld besonders starkist. Die Verwendung rein flächigerMagnete ist dabei aufgrund des dadurch entstehenden homogenen Profilsdes entstehenden Magnetfelds ungünstig,so dass insbesondere durch entsprechende Profilgebung der Plattendann Zonen entsprechend starken magnetischen Felds und hohen Gradientendes Feldes geschaffen werden müssen,um eine starke und günstigeStaubabscheidung zu erzielen. Insbesondere ein U-förmig gestalteter Magnetmit entsprechend profiliertem Innenschenkel auf wenigstens einerder beiden Schenkel des U entspricht einer solchen Ausgestaltung.ADesign of the magnetic field with a particularly strong magnetic field andGradients of the magnetic field can be created in which the twoopposite each otherPlates the poles of magnet magnetically attracting each otheror a magnet and at least one of the plates on theirsthe inner side of the other panel has a profile with edges,especially sharply profiled, pointed edges.This arrangement has the advantage that the surfaces on which themagnetizable dust precipitates, itselfMagnets are particularly strong and the magnetic field formingis. The use of purely flatMagnets is due to the resulting homogeneous profileunfavorable to the resulting magnetic field,so that in particular by appropriate profiling of the platesthen zones corresponding to strong magnetic field and high gradientof the field have to be createda strong and cheapTo achieve dust separation. In particular, a U-shaped magnetwith correspondingly profiled inner leg on at least onethe two legs of the U corresponds to such a configuration.
    [0019] Einevorteilhafte Verwendung derartiger Staubabscheider erfolgt bei Lasern,insbesondere bei Lasern mit einer gasgefüllten Laserkammer wie beispielsweiseExcimer-Laser auf Gas-Basis. Dabei handelt es sich vorzugsweiseum Laser, die eine Elektrodenanordnung mit Elektroden aus magnetisierbaremMaterial enthalten, insbesondere nickelhaltige Elektroden. Derartigenickelhaltige Elektroden finden insbesondere bei Xenonchlorid (Xe-Cl)in der Gasfüllungenthaltenden Excimerlasern Verwendung, weil hier eine besondersgünstigeErregung des Gasgemischs erreichbar ist. Derartige Laser erzeugendabei insbesondere Licht im Bereich einer Wellenlänge von308 nm. Hierbei wird insbesondere nickelhaltiger Staub und metallischesNickel durch Funkenerosion im Bereich der Elektroden erzeugt unddurch das Gasgemisch in der Gaskammer verteilt. Derartige Stäube können insbesonderedurch dementsprechende Staubabscheider abgeschieden werden und somitkann hierdurch verhindert werden, dass eine Verminderung der Lichtleistungeines Lasers aufgrund des Absetzens von Stäuben auf optischen Elementendes Lasers eintritt. Demgemäß entsprichtes einer vorteilhaften Ausgestaltung, wenn die Staubabscheider wenigstensnahezu unmittelbar vor optischen Elementen oder den optischen Elementenzugeordnet, angeordnet sind, wobei sie vorzugsweise so ausgebildetsind, dass sie nicht in den optischen Pfad des Laserstrahls hineinragen,sie könnendiesen aber vorzugsweise umgeben und ein magnetisches Feld erzeugen,das in den Bereich des optischen Pfades hineinwirkt. Als optischeElemente innerhalb einer Laserkammer sind insbesondere Spiegel undFenster anzusehen, welche in einer Laserkammer enthalten sind.An advantageous use of such Staubabscheider takes place in lasers, especially in lasers with a gas-filled laser chamber such as gas-based excimer laser. These are preferably lasers which contain an electrode arrangement with electrodes of magnetizable material, in particular nickel-containing electrodes. Such nickel-containing electrodes are used in particular in xenon chloride (Xe-Cl) in the gas filling excimer lasers use, because here a particularly favorable excitation of the gas mixture can be achieved. In this case, in particular, nickel-containing dust and metallic nickel are produced by spark erosion in the region of the electrodes and distributed through the gas mixture in the gas chamber. Such dusts can be deposited in particular by means of corresponding dust separators and thus it can be prevented that a reduction in the light output of a laser due to the deposition of dusts on optical elements of the laser occurs. Accordingly, it corresponds to an advantageous embodiment, when the dust collectors are arranged at least almost immediately before the optical elements or the optical elements, wherein they are preferably formed so that they do not protrude into the optical path of the laser beam, but they can preferably surround it and generate a magnetic field that is in the range of optical path. As optical elements within a laser chamber in particular mirrors and windows are to be regarded, which are contained in a laser chamber.
    [0020] Im übrigen istdie Erfindung nachfolgend anhand der in den Figuren dargestelltenAusführungsbeispielenvon Staubabscheidern nähererläutert. Dabeiwurde auf die Darstellung von Staubabscheidern unter Verwendungvon Elektromagneten verzichtet, Elektromagneten mit einem Kern ausmagnetisierbarem Material und wenigstens eine um den Kern herumangeordneten Spule könnenjedoch als Austauschelement fürdie Permanentmagnete der dargestellten Ausführungen angesehen werden. Auchandere Anordnungen und Ausbildungen elektromagnetischer Staubabscheidersind denkbar und also zur Erfindung gehörig anzusehen.Otherwise it isthe invention below with reference to the figures shown in the figuresembodimentsfrom dust collectors closerexplained. therewas used on the representation of dust collectorsof electromagnets omitted, electromagnets with a coremagnetizable material and at least one around the corearranged coil canhowever, as an exchange element forthe permanent magnets of the illustrated embodiments are considered. Alsoother arrangements and designs of electromagnetic dust collectorare conceivable and therefore to be considered part of the invention.
    [0021] Eszeigt:Itshows:
    [0022] 1 inschematischer Darstellung einen Laser mit einem magnetischen Staubabscheider; 1 a schematic representation of a laser with a magnetic dust collector;
    [0023] 2a bis 2c einerstes Ausführungsbeispiel einesmagnetischen Staubabscheiders; 2a to 2c a first embodiment of a magnetic dust collector;
    [0024] 3 einzweites Ausführungsbeispieleines magnetischen Staubabscheiders; und 3 a second embodiment of a magnetic dust collector; and
    [0025] 4a, 4b eindrittes Ausführungsbeispiel einesmagnetischen Staubabscheiders. 4a . 4b a third embodiment of a magnetic dust collector.
    [0026] Die 1 zeigteinen Laser 10, welcher zur Erzeugung einer elektromagnetischenEntladung und eines in der Laserkammer 11 enthaltenen Gasgemischseine Elektrodenanordnung 12 aufweist. Dabei findet zwischenden beiden Elektroden der Elektrodenanordnung 12 vorzugsweiseeine Funkenentladung aufgrund an den Elektroden anliegender Hochspannungstatt. Zwischen den beiden Spiegeln 13 der Laseranordnungbildet sich eine stehende Lichtwelle kohärentem Licht 15 aus.Aufgrund der Teilverspiegelung eines der beiden Spiegel 13 trittein Laserstrahl 16 aus, dieser durchquert den magnetischenStaubabscheider 20, der dem Austrittsfenster 14 für den Laserstrahl 16 ausder Laserkammer unmittelbar zugeordnet ist, und tritt dann durchdas Fenster 14 aus der Laserkammer als nutzbarer Laserstrahl 16 aus.Diese schematische Anordnung ist ein mögliches Beispiel einer Anordnungeines Staubabscheiders in einem Laser. Magnetische Staubabscheiderkönnendabei auch dem Spiegel 13 zugeordnet und vor deren Spiegelfläche angeordnetsein. Daneben könnenentsprechende Staubabscheider 20 auch unmittelbar zu derElektrodenanordnung 12 benachbarten Bereichen vorgesehensein, um magnetisierbare Stäubeunmittelbar an der Hauptquelle ihrer Entstehung, nämlich beispielsweisenickelhaltigen Elektroden abzufangen.The 1 shows a laser 10 which is used to generate an electromagnetic discharge and one in the laser chamber 11 contained gas mixture, an electrode assembly 12 having. It takes place between the two electrodes of the electrode assembly 12 preferably a spark discharge due to the high voltage applied to the electrodes instead. Between the two mirrors 13 The laser arrangement forms a standing light wave coherent light 15 out. Due to the partial mirroring of one of the two mirrors 13 occurs a laser beam 16 out, this passes through the magnetic dust collector 20 , the exit window 14 for the laser beam 16 from the laser chamber is immediately associated, and then passes through the window 14 from the laser chamber as a usable laser beam 16 out. This schematic arrangement is a possible example of an arrangement of a dust collector in a laser. Magnetic dust collectors can also be the mirror 13 be assigned and arranged in front of the mirror surface. In addition, appropriate dust collector 20 also directly to the electrode assembly 12 be provided adjacent areas to intercept magnetizable dusts directly to the main source of their formation, namely, for example, nickel-containing electrodes.
    [0027] Die 1 zeigtdabei nur eine schematische Möglichkeitder Anordnung, konstruktive Gestaltungen von Lasern mit elektrischarbeitenden Staubabscheidern sind in unterschiedlichster Ausgestaltung bekanntund magnetische Staubabscheider gemäß der Erfindung können ergänzend oderalternativ zu den elektrischen Staubabscheidern in entsprechenderAnordnung Verwendung finden. Insbesondere das Sicherstellen, dassGasströmungender Laserkammer auftreten, die das Lasergas an den Staubabscheidernvorbei oder durch die Staubabscheider hindurchführt, um ein wirksames Abscheidender Stäubeaus dem Gas zu erreichen, kann entsprechend der Vorgehensweise beielektrischen Staubabscheidern erfolgen.The 1 shows only a schematic possibility of the arrangement, constructive designs of lasers with electrically operated dust collectors are known in various configurations and magnetic dust collector according to the invention can be used in addition to or as an alternative to the electrical dust in a corresponding arrangement. In particular, ensuring that gas flows of the laser chamber occur, which passes the laser gas past the dust collectors or through the dust collectors, in order to achieve an effective separation of the dusts from the gas, can be carried out according to the procedure in electrical dust collectors.
    [0028] Die 2 bis 4 zeigendrei unterschiedliche Varianten für die Konstruktion magnetischer Staubabscheider.Dabei sind teilweise unterschiedliche Ausführungsbeispiele für die gleicheVariante beschrieben, wobei jeder der Varianten eine eigene Figurgewidmet ist und innerhalb der Varianten die unterschiedlichen Gestaltungsformenmit Kleinbuchstaben voneinander unterschieden sind.The 2 to 4 show three different variants for the construction of magnetic dust collectors. In this case, different embodiments are described in part for the same variant, each of the variants is dedicated to a separate figure and within the variants, the different shapes are distinguished from each other with lowercase letters.
    [0029] Die 1a bis 1c zeigt drei unterschiedliche Varianteneines Staubabscheiders mit einem Stabmagneten 26 als magnetischemElement. Die Längsrichtungbzw. Haupterstreckungsrichtung des magnetischen Staubabscheidersergibt sich dabei aus der Achse des Stabmagneten 26 undseiner Polung. Allen drei Ausführungsformenist es gemeinsam, dass an den Enden unterschiedlicher Polung des Stabmagneten 26 jeweilseine Platte 22 aus magnetisierbarem Material angeordnetist. Dabei ragen die Platten 22 senkrecht von dem Stabmagnetenab und erstrecken sich überdie gesamte Breite des Stabmagneten 26.The 1a to 1c shows three different variants of a dust collector with a bar magnet 26 as a magnetic element. The longitudinal direction or main extension direction of the magnetic dust separator results from the axis of the bar magnet 26 and his polity. All three embodiments have in common that at the ends of different polarity of the bar magnet 26 one plate each 22 is arranged made of magnetizable material. The plates protrude 22 perpendicular to the bar magnet and extending over the entire width of the bar magnet 26 ,
    [0030] DieAusführungsformder 1a bildet die Grundform und kann ausreichend sein,um einen magnetischen Staubabscheider auszubilden. Insbesonderekann der Laserstrahl im Bereich zwischen den beiden Platten 22 benachbartzu dem Stabmagneten und in Richtung seiner Breite den Staubabscheider 20,der hierdurch gebildet ist, durchtreten.The embodiment of the 1a forms the basic form and may be sufficient to form a magnetic dust collector. In particular, the laser beam may be in the area between the two plates 22 adjacent to the bar magnet and in the direction of its width the dust collector 20 that is formed by it, pass through.
    [0031] DieAusführungsformgemäß der 1b unterscheidetsich dadurch von der Ausführungsform gemäß der 1a,dass zusätzlichder Draht 27 vorgesehen ist, welcher sich mittig zwischenden zwei Platten überdie Breite des Stabmagneten hinweg sich erstreckend gehalten ist,wobei der Draht 27 zu dem Stabmagneten 26 beabstandetangeordnet ist. Diese Ausführungsformzeichnet sich dadurch aus, dass das magnetische Feld einen besondershohen Gradienten im Bereich des Drahtes aufweist und die Feldstärke desmagnetischen Feldes in diesem Bereich besonders groß ist, sodass das Abscheiden des Staubes überwiegendim Bereich des Drahtes erfolgt. Hierzu kann der Draht 27 insbesondereaus magnetischem Material oder aus magnetisierbarem Material bestehen.The embodiment according to the 1b differs from the embodiment according to the 1a that in addition the wire 27 is provided, which is held in the middle between the two plates across the width of the bar magnet extending away, wherein the wire 27 to the bar magnet 26 spaced apart. This embodiment is characterized in that the magnetic field has a particularly high gradient in the region of the wire and the Field strength of the magnetic field in this area is particularly large, so that the deposition of dust is predominantly in the region of the wire. This can be done by the wire 27 in particular made of magnetic material or of magnetizable material.
    [0032] DieAusführungsformder 1c zeigt eine andere Variante des Staubabscheiders,der sich durch unterschiedliche Gestaltung des Magnetfeldes zwischenden Platten 22 und dem Staubabscheider gemäß der 1a unterscheidet.Hierbei weisen die beiden Platten 22 auf den ihnen zugewandtenSeiten jeweils ein Profil 24 auf, wobei das Profil insbesonderespitze Kanten 25 umfasst, im Bereich derer der Gradientund die Feldstärkedes Magnetfeldes besonders groß ist.The embodiment of the 1c shows another variant of the dust collector, which is characterized by different design of the magnetic field between the plates 22 and the dust collector according to the 1a different. Here are the two plates 22 each on the sides facing them a profile 24 on, the profile in particular sharp edges 25 includes, in the region of which the gradient and the field strength of the magnetic field is particularly large.
    [0033] 2 zeigteine Ausführungsformeines erfindungsgemäßen Staubabscheiders,der ringförmig gestaltetist. Hierzu dient als magnetisches Element der Ringmagnet 28,welcher ringförmigdie Hauptachse 29 umschließt und ein Magnetfeld erzeugt,das im Wesentlichen in Richtung seiner Hauptachse ausgerichtet ist.Insbesondere sind die beiden magnetischen Pole in Richtung der Hauptachse 29 desRingmagneten zueinander angeordnet, so dass jeder der beiden Poledie Hauptachse 29 ringförmigumschließt.Beiderseits des Ringmagneten 28 ist jeweils eine Platte 22 angeordnet,welche eine Durchtrittsöffnung 30 aufweist,die konzentrisch zu der Hauptachse 29 ist. Somit wird einringförmigesGebilde geschaffen, das eine Hauptachse 29 umschließt, jedocheine Durchtrittsöffnungum die Hauptachse 29 herum aufweist, so dass insbesonderein Richtung der Hauptachse 29 ein Laserstrahl den Staubabscheider 20 durchsetzenkann. Gemäß bevorzugter Ausgestaltungschließtsich dann unmittelbar an den Staubabscheider 20 ein optischesElement, beispielsweise ein Spiegel 13 oder ein Durchtrittsfenster 14 an,so dass eine sehr effiziente und wirkungsvolle Maßnahme geschaffenist, um zu verhindern, dass sich magnetisierbare Stäube aufdiesem optischen Element niederschlagen. 2 shows an embodiment of a dust collector according to the invention, which is designed annular. For this serves as a magnetic element of the ring magnet 28 , which annular the main axis 29 encloses and generates a magnetic field which is aligned substantially in the direction of its major axis. In particular, the two magnetic poles are in the direction of the main axis 29 of the ring magnet to each other, so that each of the two poles the main axis 29 encloses annularly. On both sides of the ring magnet 28 is each a plate 22 arranged, which has a passage opening 30 which is concentric with the major axis 29 is. Thus, an annular structure is created, which is a major axis 29 encloses, however, a passage opening around the main axis 29 has around, so in particular in the direction of the main axis 29 a laser beam the dust collector 20 can prevail. According to a preferred embodiment then closes directly to the dust collector 20 an optical element, for example a mirror 13 or a passage window 14 so that a very efficient and effective measure is created to prevent magnetizable dusts precipitate on this optical element.
    [0034] Die 4a und 4b zeigenjeweils flächige Magnetanordnungen,die einen Staubabscheider 20 bilden. Die flächige Ausbildungermöglichteine besonders kompakte und enge Bauweise, wobei solche Magnetevorzugsweise außerhalbdes optischen Pfads Verwendung finden können, beispielsweise insbesondere,wenn benachbart zu einer Elektrodenanordnung 12 in einerLaserkammer 11 eines Lasers 10.The 4a and 4b each show two-dimensional magnet arrangements, a dust collector 20 form. The planar design allows a particularly compact and narrow design, such magnets preferably can be used outside of the optical path, for example, in particular, when adjacent to an electrode assembly 12 in a laser chamber 11 a laser 10 ,
    [0035] Die 4a zeigt dabei eine Anordnung, bei demzwei plattenförmigeElemente 31 den Staubabscheider 20 bilden. Dabeiweist eines der beiden plattenförmigenElemente einen Permanentmagneten 21 als magnetisches Elementder Magnetanordnung, die den Staubabscheider 20 bildet,auf. Seitlich neben dem Permanentmagneten 21 sind jeweilsPlatten 22 angeordnet, die aus magnetisierbarem Materialbestehen und den Magneten 21 auf beiden Seiten verlängern. Gegenüber diesemplattenförmigenElement 31 ist ein zweites plattenförmiges Element 31 angeordnet,das sich in der Längeund in der Breite überden Bereich des ersten plattenförmigenElements 31 hinweg erstreckt. Das zweite plattenförmige Elementist parallel zum ersten plattenförmigen Element 31 ausgerichtetund von diesem in vertikaler Richtung um einen Spalt beabstandet.Das zweite plattenförmigeElement 31 besteht im Wesentlichen aus der Gegenplatte 23.Die Gegenplatte 23 weist dabei in den den Platten 22 gegenüberliegendenAbschnitten 24 jeweils einen Profilbereich 24 auf,der auf der den Platten 22 zugewandten Seite ausgebildetist und in dem insbesondere quer zur Längserstreckung des Magneten 21 über diegesamte Breite hinweg verlaufende Kanten 25 vorgesehensind, welche Bereiche besonders hoher Feldstärke und besonders hohen Gradientendes Magnetfelds bilden. Besonders im Bereich dieser Kanten 25 findetdas Abscheiden von Stäubenstatt. Dabei dienen also insbesondere die Kanten 25 desaus vorzugsweise magnetisierbarem Material gebildeten Gegenplatte 23 dieAbscheidestelle fürmagnetische Stäube.Durch Austauschen der Gegenplatte 23 kann in einfacher Weiseeine Wartung erfolgen.The 4a shows an arrangement in which two plate-shaped elements 31 the dust collector 20 form. In this case, one of the two plate-shaped elements has a permanent magnet 21 as a magnetic element of the magnet assembly, the dust collector 20 makes up. Laterally next to the permanent magnet 21 are each plates 22 arranged, which consist of magnetizable material and the magnet 21 extend on both sides. Opposite this plate-shaped element 31 is a second plate-shaped element 31 arranged, extending in length and in width over the area of the first plate-shaped element 31 extends. The second plate-shaped element is parallel to the first plate-shaped element 31 aligned and spaced from it in the vertical direction by a gap. The second plate-shaped element 31 consists essentially of the counter-plate 23 , The counter plate 23 points in the plates 22 opposite sections 24 one profile area each 24 on top of the plates 22 is formed facing side and in particular transverse to the longitudinal extent of the magnet 21 over the entire width extending edges 25 are provided, which form regions of particularly high field strength and particularly high gradient of the magnetic field. Especially in the area of these edges 25 the removal of dusts takes place. Thus, in particular serve the edges 25 of the counter-plate formed from preferably magnetizable material 23 the deposition site for magnetic dusts. By replacing the counter plate 23 can be done easily maintenance.
    [0036] DieAusführungsformder 4b zeigt eine Variante, in dersowohl die Platte 22 als auch die Gegenplatte 23 einesStaubabscheiders aus magnetischem Material gebildet sind. Dabeistellen die beiden plattenförmigenElemente Platte 22 und Gegenplatte 23 insbesonderedie beiden unterschiedlichen Pole jeweils eines Permanentmagneten 21 dar.Insbesondere könnenes die beiden Schenkel eines U-förmigenMagneten sein, die einander gegenüberliegen. Neu ist die Platte 22 imWesentlichen flächig undprofillos ausgeführt,währenddie Gegenplatte 23 zur Erzeugung eines inhomogenen Magnetfeldsauf ihrer der Platte 22 zugewandten Seite ein Profil 24 aufweist,welches insbesondere durch parallel zueinander sich linear über diegesamte Breite oder die gesamte Schenkellänge eines U-förmigen Magneten hinwegerstreckende Kanten 25 gebildet sind, welche nach vornehin, dem der Platte 22 zugewandt spitz zulaufen und dadurchBereiche starken Magnetfelds und hohen Gradienten des Magnetfeldsbilden.The embodiment of the 4b shows a variant in which both the plate 22 as well as the counter plate 23 a dust collector of magnetic material are formed. Here are the two plate-shaped elements plate 22 and counter plate 23 in particular, the two different poles each of a permanent magnet 21 In particular, it may be the two legs of a U-shaped magnet, which face each other. New is the plate 22 essentially flat and profiled running, while the counter-plate 23 for generating an inhomogeneous magnetic field on its plate 22 facing side a profile 24 which, in particular, by edges extending parallel to each other linearly over the entire width or the entire leg length of a U-shaped magnet 25 are formed, which forward, that of the plate 22 tapering pointed and thereby form areas of strong magnetic field and high gradient of the magnetic field.
    权利要求:
    Claims (17)
    [1]
    Staubabscheider (20) für Laser(10), mit einer Laserkammer (11), in der ein Gasenthalten ist, in welchem durch ein Elektrodenanordnung (12)eine elektrische Entladung erzeugbar ist, mit einer Magnetanordnung(20) zum Erzeugen eines Magnetfelds als Staubabscheider(20).Dust collector ( 20 ) for lasers ( 10 ), with a laser chamber ( 11 ), in which a gas is contained, in which by an electrode arrangement ( 12 ) an electrical discharge can be generated, with a magnet arrangement ( 20 ) for generating a magnetic field as a dust separator ( 20 ).
    [2]
    Staubabscheider (20) nach Anspruch 1, dadurchgekennzeichnet, dass die Magnetanordnung derart gestaltet ist, dassein inhomogenes Magnetfeld erzeugt wird, wobei das inhomogene Magnetfeld vorzugsweiseso gestaltet ist, dass die Zone höchsten Gradienten des Magnetfeldesals Staubabscheideflächedient.Dust collector ( 20 ) according to claim 1, characterized in that the magnet arrangement is designed such that an inhomogeneous magnetic field is generated, wherein the inhomogeneous magnetic field is preferably designed so that the zone of highest gradient of the magnetic field serves as Staubabscheidefläche.
    [3]
    Staubabscheider nach einem der Ansprüche 1 oder2, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetanordnung wenigstens einFunktionselement aus einem magnetisierbaren Material umfasst.Dust separator according to one of claims 1 or2, characterized in that the magnet arrangement at least oneFunctional element comprises a magnetizable material.
    [4]
    Staubabscheider nach einem der vorgehenden Ansprüche, dadurchgekennzeichnet, dass die Magnetanordnung wenigstens einen Permanentmagneten(21) enthält.Dust separator according to one of the preceding claims, characterized in that the magnet arrangement has at least one permanent magnet ( 21 ) contains.
    [5]
    Staubabscheider nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,dass die Magnetanordnung frei von Elektromagneten ist.Dust separator according to claim 4, characterizedthat the magnet assembly is free of electromagnets.
    [6]
    Staubabscheider (20) nach einem der vorhergehendenAnsprüche,dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetanordnung einem Ringmagneten (28)mit bezüglichder Hauptachse (29) des Ringmagneten axial ausgerichtetenPolen aufweist, wobei der Ringmagnet (28) vorzugsweisean wenigstens einer Seite von einer Platte (22) vorzugsweiseaus magnetisierbarem Material begrenzt wird, wobei insbesonderedie wenigstens eine Platte (22) eine in ihrem Zentrum ausgebildeteDurchtrittsöffnung(30) aufweist.Dust collector ( 20 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the magnet arrangement is a ring magnet ( 28 ) with respect to the main axis ( 29 ) of the ring magnet axially aligned poles, wherein the ring magnet ( 28 ) preferably on at least one side of a plate ( 22 ) is preferably limited from magnetizable material, wherein in particular the at least one plate ( 22 ) formed in its center passage opening ( 30 ) having.
    [7]
    Staubabscheider nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurchgekennzeichnet, dass ein sich linear erstreckender Permanentmagnet(26) vorgesehen ist, wobei der Permanentmagnet (26)auf den Seiten seiner Pole vorzugsweise mit Platten (22) ausmagnetisierbarem Material versehen ist, welche insbesondere parallelzueinander ausgerichtet sind, und senkrecht von dem Permanentmagneten(26) abragen.Dust separator according to one of the preceding claims, characterized in that a linearly extending permanent magnet ( 26 ) is provided, wherein the permanent magnet ( 26 ) on the sides of its poles, preferably with plates ( 22 ) made of magnetizable material, which are aligned in particular parallel to each other, and perpendicularly from the permanent magnet ( 26 ) protrude.
    [8]
    Staubabscheider nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,dass Platten (22) vorgesehen sind, wobei die Platten (22)auf ihren einander zugewandten Seiten ein Profil (24) aufweisen,welches insbesondere aus spitzen, sich über die Breite der Platten (22)hinweg erstreckende Kanten (25) gebildet ist.Dust separator according to claim 7, characterized in that plates ( 22 ), the plates ( 22 ) on their sides facing each other a profile ( 24 ), which in particular from acute, across the width of the plates ( 22 ) extending edges ( 25 ) is formed.
    [9]
    Staubabscheider nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet,dass zwischen den Platten (20) insbesondere mittig zu demPermanentmagnet (26) ein Draht (27), vorzugsweiseaus magnetischem oder magnetisierbarem Material, angeordnet ist,welcher sich insbesondere überwenigstens die Breite des Permanentmagneten (26) erstreckt.Dust separator according to claim 7 or 8, characterized in that between the plates ( 20 ) in particular centrally to the permanent magnet ( 26 ) a wire ( 27 ), preferably of magnetic or magnetizable material, which in particular extends over at least the width of the permanent magnet ( 26 ).
    [10]
    Staubabscheider nach einem der Ansprüche 1 und5, dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetanordnung aus zwei plattenförmigen Elementen(31) besteht, die benachbart zueinander angeordnet und parallelzueinander ausgerichtet sind, wobei wenigstens eines dieser plattenförmigen Elemente(31) einen Permanentmagneten (21, 26)enthält.Dust separator according to one of claims 1 and 5, characterized in that the magnet arrangement consists of two plate-shaped elements ( 31 ) arranged adjacent to each other and aligned parallel to each other, at least one of these plate-shaped elements ( 31 ) a permanent magnet ( 21 . 26 ) contains.
    [11]
    Staubabscheider nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,dass die beiden einander gegenüberliegendenplattenförmigenElemente (31) magnetische Pole unterschiedlicher Polungsind, wobei vorzugsweise eine der beiden plattenförmigen Elemente (31)auf ihrer dem anderen plattenförmigenElement (31) zugewandten Seite ein Profil (24)aufweist, wobei das Profil (24) insbesondere parallel zueinander verlaufenden,dem gegenüberliegendenplattenförmigenElement (31) zugewandte spitze Kanten (25) aufweist,welche sich vorzugsweise überdie Breite der Magnetanordnung hinweg erstrecken.Dust separator according to claim 10, characterized in that the two opposing plate-shaped elements ( 31 ) are magnetic poles of different polarity, wherein preferably one of the two plate-shaped elements ( 31 ) on its other plate-shaped element ( 31 ) side facing a profile ( 24 ), the profile ( 24 ) in particular parallel to each other, the opposite plate-shaped element ( 31 ) facing sharp edges ( 25 ), which preferably extend across the width of the magnet assembly.
    [12]
    Staubabscheider (20) nach Anspruch 10,dadurch gekennzeichnet, dass die Magnetanordnung einerseits einenPermanentmagneten (21, 26) und gegenüberliegendeine Gegenplatte (23), insbesondere aus magnetisierbaremMaterial, aufweist.Dust collector ( 20 ) according to claim 10, characterized in that the magnet arrangement on the one hand a permanent magnet ( 21 . 26 ) and opposite a counter plate ( 23 ), in particular of magnetizable material having.
    [13]
    Staubabscheider nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,dass auf wenigstens einer Seite des Permanentmagneten (21, 26)eine Platte (22), vorzugsweise aus magnetisierbarem Materialangeordnet ist, wobei die Gegenplatte (23) sich über dieLänge vonMagnet (21, 26) und wenigstens eine Platte (22)erstreckt und vorzugsweise gegenüberliegend derwenigstens einen Platte (22) ein Profil (24) insbesonderemit scharfen, der Platte (22) zugewandten Kanten (25)aufweist. Dust separator according to claim 12, characterized in that on at least one side of the permanent magnet ( 21 . 26 ) a plate ( 22 ), preferably made of magnetizable material, wherein the counter-plate ( 23 ) over the length of magnet ( 21 . 26 ) and at least one plate ( 22 ) and preferably opposite the at least one plate ( 22 ) a profile ( 24 ) especially with sharp, the plate ( 22 ) facing edges ( 25 ) having.
    [14]
    Laser, insbesondere Gas-Excimer-Laser, dadurch gekennzeichnet,dass der Laser (10) eine Laserkammer (11) aufweist,in der wenigstens ein Staubabscheider (20) nach einem dervorhergegangenen Ansprücheangeordnet ist.Laser, in particular gas excimer laser, characterized in that the laser ( 10 ) a laser chamber ( 11 ), in which at least one dust separator ( 20 ) is arranged according to one of the preceding claims.
    [15]
    Laser nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,dass der Laser eine Elektrodenanordnung (11) mit magnetisierbaresMaterial enthaltenden Elektroden, insbesondere nickelhaltige Elektroden aufweist.Laser according to Claim 14, characterized in that the laser has an electrode arrangement ( 11 ) having electrodes containing magnetizable material, in particular nickel-containing electrodes.
    [16]
    Laser nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet,dass der Laser ein Excimer-Laser ist und vorzugsweise Xenonchlorid(XeCl) als Gasfüllungenthältund insbesondere Licht der Wellenlänge von 308 Nanometer (nm)abstrahlt.Laser according to claim 14 or 15, characterizedthe laser is an excimer laser and preferably xenon chloride(XeCl) as gas fillingcontainsand in particular light of wavelength of 308 nanometers (nm)radiates.
    [17]
    Laser nach einem der Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet,dass der Staubabscheider vor optischen Elementen, wie Spiegeln (13)und Fenstern (14) angeordnet und insbesondere so ausgebildetist, dass der Staubabscheider (20) nicht in den optischenPfad des Laserstrahls hineinragt.Laser according to one of claims 14 to 16, characterized in that the dust collector in front of optical elements, such as mirrors ( 13 ) and windows ( 14 ) is arranged and in particular designed so that the dust collector ( 20 ) not in protrudes the optical path of the laser beam.
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    公开号 | 公开日
    DE102004023382B4|2006-08-03|
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    申请号 | 申请日 | 专利标题
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