• 专利附录
  • 专利说明
  • 权利要求
  • 类似技术
  • 同族专利
  • 引用文献
  • 法律状态
  • 优先权
    • 专利摘要:
    Eine Übergabeeinrichtung für Substrate wird mit mehreren, insbesondere zwei, Übergabekammern ausgebildet, die etagenartig übereinander im Körper eines Schiebers angeordnet und über gehäuseseitige Beschickungsöffnungen zugänglich sind und durch Verstellung des Schiebers gegenüber dem Gehäuse angefahren werden.
    公开号:DE102004010599A1
    申请号:DE200410010599
    申请日:2004-03-02
    公开日:2005-09-29
    发明作者:Klaus HÜGLER
    申请人:ASYS GmbH；ASYS Automatic Systems GmbH and Co KG；
    IPC主号:B65G49-07
    专利说明:
    [0001] DieErfindung betrifft eine Übergabeeinrichtungin Handhabungs- und/oderBearbeitungszentren fürSubstrate, insbesondere von in Clusterbauweise aufgebauten Handhabungs-und/oder Bearbeitungszentren von Reinraumsystemen, gemäß dem Oberbegriffdes Anspruches 1.
    [0002] Übergabeeinrichtungender vorgenannten Art sind aus der DE 100 38 168 C2 bekannt und werden in dieserbekannten Ausgestaltung durch zwei Speichermodule gebildet, welchejeweils als Verbindungsglied zwischen einer Förderstation und einem Speicherkarussellangeordnet sind, wobei überan die Förderstationanzudockende Transportboxen Substrate in Form von Wafern angeliefertwerden, die im Weiteren überdie Speichermodule, das Speicherkarussell und mit diesem verbundeneweitere Stationen das unter Nutzung der Übergabeeinrichtung aufgebauteHandhabungs- undBearbeitungszentrum durchlaufen. Die die Übergabeeinrichtung bildenden Speichermoduleliegen mit ihren Übergabekammern atmosphärisch trennendzwischen der Förderstation unddem nachgeordneten Speicherkarussell, wobei im Regelfall in Richtungauf das Speicherkarussell mit den diesem nachgeordneten Bearbeitungsstationenein Druckgefälleherrscht, ausgehend von der Förderstation,die unter atmosphärischenBedingungen oder bei geringem Unterdruck arbeitet bis hin zu Arbeitsstationen,für dieunter UmständenReinstraumbedingungen gefordert sind. Den Speichermodulen sind dementsprechendbezüglichihrer zugangs- undabgangsseitigen Beschickungsöffnungen Schleusenzugeordnet, um eine entsprechende Abschottung zu erreichen, sowieauch durch entsprechende Druckanpassung in den abgeschotteten Übergabekammernbei Freigabe der auf das Speicherkarussell ausmündenden BeschickungsöffnungenBeeinträchtigungender fürdas Speicherkarussell geforderten Reinraumatmosphäre möglichstzu vermeiden. Dies bedeutet, dass die Übergabekammern vor Öffnung gegendas Speicherkarussell stets in Anpassung an das dort gegebene Unterdruckniveauevakuiert werden müssen,was mit einem entsprechenden Zeit- und Energieaufwand verbunden ist,ungeachtet dessen, dass den Speichermodulen auch Mehrfachablagenfür Substratezugeordnet sind, so dass mit der bekannten Konstruktion eine zwarvorteilhafte und in der Praxis bewährte Lösung angeboten wird, für die aberinsbesondere hinsichtlich des Raum- und Energiebedarfes und derKosten noch weitere Verbesserungen möglich sind.
    [0003] DerErfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Übergabeeinrichtung der eingangsgenannten Art im Sinne solcher Verbesserungen weiterzubilden.
    [0004] Erreichtwird dies mit den Merkmalen des Anspruches 1, demzufolge die Übergabekammern zueiner Baueinheit zusammengefasst werden, in der die einem Schieberzugeordneten Übergabekammerndurch Trennbödendes Schiebers gegeneinander abgegrenzt und durch Verlagerung desSchiebers mit jeweils gewünschtenBeschickungsöffnungenin Überdeckunggebracht werden können.Damit sind die Grundvoraussetzungen für eine sehr kompakte Übergabeeinrichtunggeschaffen, die sich sehr kompakt und kostengünstig gestalten lässt, unteranderem durch die durch die Ver lagerung der Übergabekammern eröffnete Möglichkeit,die Zahl der Beschickungsöffnungenzu reduzieren und schon dadurch auch die Anzahl der den Beschickungsöffnungenfallweise zuzuordnenden Schleusen.
    [0005] ImRahmen der Erfindung erweist es sich insbesondere als zweckmäßig, denSchieber mit zwei in Verstellrichtung des Schiebers übereinander liegenden Übergabekammernzu versehen, wobei eine Abtrennung dieser Übergabekammern gegeneinander über im Bereichder die axialen Begrenzungen fürdie Übergabekammernbildenden Trennbödenliegende und zwischen diesen und dem Schiebergehäuse wirkende Dichtungen vorgenommen werdenkann.
    [0006] Besonderszweckmäßig istes in diesem Zusammenhang, die Trennböden randnah mit Axialdichtungenzu versehen, denen gehäuseseitigdurch flanschartige, nach radial innen ragende Vorsprünge gebildeteGegenflächenzugeordnet sind, so dass sich ein Aufbau ähnlich einem Doppelsitzventilergibt, in dessen VentilkörperAblagen integriert sind.
    [0007] Zweckmäßig istes hierzu, die Trennböden über gegenüber demGehäusenach radial innen versetzte Tragabstützungen miteinander zu verbinden, wobeidie Tragabstützungeninsbesondere mit dem mittleren, die Übergabekammern gegeneinanderabgrenzenden Tragboden einstückigverbunden sein können,so dass sich ein einfacher Schieberaufbau realisieren lässt. ImRahmen der Erfindung liegt es aber auch, die Tragabstützungendurch mit Ausschnitten versehene Tragringe zu bilden, wobei über dieAusschnitte bei korrespondierender Überlagerung zu entsprechendengehäuseseitigenBeschickungsöffnungendie Beschickung der den Übergabekammernzugeordneten Ablagen erfolgen kann. Hierbei kann im Rahmen der Erfindungmit einer Ablage gearbeitet werden, bevorzugt finden aber zwei kassettenartiggestaltete, gegebenenfalls auch mehrere, als Kassette gestalteteAblagen Verwendung, so dass auch Zwischenspeicherfunktionen wahrgenommenwerden können.
    [0008] Inkonstruktiver Ausgestaltung sind den Übergabekammern im Bereich desSchieberweges, also axial versetzt, gehäuseseitig Beschickungsöffnungenin der Weise zugeordnet, dass durch Verstellung des Schiebers jededer Übergabekammernmit einer derselben und überdiese mit einer durch eine anschließende Station vorgegebenenAnschlussatmosphäre,hier als erste und zweite Anschlussatmosphäre bezeichnet, zu verbindenist. Der Anschluss an die erste bzw. zweite Anschlussatmosphäre erfolgterfindungsgemäß bevorzugtjeweils separat in zueinander versetzten Schieberstellungen. Einerfindungsgemäß gestalteterSchieber kann aber auch genutzt werden, um bei gleicher Schieberstellung eine Übergabekammerwahlweise an die eine oder andere Anschlussatmosphäre anzuschließen.
    [0009] ImRahmen der Erfindung könnendie jeweiligen Beschickungsöffnungenjeweils absperrbar sein, wobei diesbezüglich entsprechende Schleusen vorgesehensein können.Eine zweckmäßige undbesonders kostengünstigeLösungbesteht aber darin, dass bei der zweiten Anschlussatmosphäre zugeordneterzweiter Beschickungsöffnung,und bei bezogen auf die erste Anschlussatmosphäre auf höherem Unterdruckniveau liegenderzweiter Anschlussatmosphärebezüglichder zugeordneten zweiten Beschickungsöffnung auf eine dieser zugeordneteAbsperrbarkeit, beispielsweise durch eine Schleuse verzichtet wird.
    [0010] ImHinblick auf die Ausbildung der Übergabeeinrichtungals gekapselte, jeweils lediglich über die Beschickungsöffnungenmit anschließendenStationen verbundene Einheit erweist sich die Anordnung des Schiebersin einem geschlossenen Gehäuseals zweckmäßig, womitsich durch den Schieber in seiner jeweiligen Endstellung zumindestan seinem bezogen auf die Verschieberich tung rückwärtigen Ende jeweils gegen dasGehäusedie Abgrenzung eines Endraumes ergibt. Bezüglich der so bei Verstellungdes Schiebers abwechselnd entstehenden Endräume erweist sich im Rahmender Erfindung eine Bypassverbindung als zweckmäßig, die auf den jeweiligenEndraumbereich einen Anschlussquerschnitt aufweist, wobei die inder Überdeckungzu diesem Anschlussquerschnitt jeweils liegende Übergabekammer gegen diesenAnschlussquerschnitt offen ist. Dadurch ist in zweckmäßiger Weisedie Möglichkeitgeschaffen, den jeweiligen vom Schieber freigegebenen Endraum miteiner der Anschlussatmosphärenzu verbinden, wobei erfindungsgemäß diese Verbindung zur zweiten,auf niedrigerem Druckniveau liegenden Atmosphäre besteht, so dass auch dieVerstellkräftefür denSchieber sowie die Volumina minimiert werden, die in der Übergabeeinrichtung durchEvakuieren jeweils auf das niedrigere Druckniveau der zweiten Anschlussatmosphäre gebracht werdenmüssen.
    [0011] InVerbindung damit ist es erfindungsgemäß zweckmäßig, die den Endraumbereichenjeweils zugeordneten Anschlussquerschnitte über eine Bypassverbindung aneinanderanzuschließen,die eine Querverbindung zur zweiten Anschlussatmosphäre aufweist,wobei die Querverbindung zur Bypassverbindung zweckmäßigerweiseso gestaltet ist, dass auch jeweils lediglich einer der Anschlussquerschnittemit der zweiten Anschlussatmosphärezu verbinden ist.
    [0012] Bezüglich desAufbaus einer Übergabeeinrichtungin der vorgeschilderten erfindungsgemäßen Art kann für den Schiebermit einer einfachen Linearverstellung gearbeitet werden, die bevorzugtden Endlagen des Schiebers zugeordnete Totlagen aufweist.
    [0013] WeitereEinzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen. Fernerwird die Erfindung nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen erläutert. Eszeigen:
    [0014] 1 bis 4 eine Übergabeeinrichtung gemäß der Erfindungin verschiedenen Arbeitsphasen und einer stark schematisierten Schnittdarstellung,
    [0015] 5 einenAusschnitt aus der Darstellung gemäß 2, wobeiergänzend,und wiederum stark schematisiert, ein gesteuerte Verbindung zu einer Anschlussatmosphäre gezeigtist, und
    [0016] 6 bis 9 verschiedeneStellungsbilder des in 5 in der Verbindung der Bypassverbindungzur Anschlussatmosphäreliegenden Steuerelementes, und zwar, in der Reihenfolge der Aufzählung, inin den Arbeitsphasen gemäß 1 bis 4 entsprechenderSchaltstellung.
    [0017] 1 bis 4 zeigenverschiedene Arbeitsphasen einer Übergabeeinrichtung 1,wie sie in Handhabungs- und Bearbeitungszentren für Substrate,insbesondere von in Clusterbauweise aufgebauten Handhabungs- und/oderBearbeitungszentren von Reinraumsystemen, einzusetzen ist, wobeiein solches System ausschnittsweise in der DE 100 38 168 C2 veranschaulichtist, und zwar mit einer Übergabeeinrichtung,die durch zwei eigenständigeund räumlichgetrennte Speichermodule mit Übergabekammerngebildet ist, die gemeinsam in der Verbindung zweier anschließender Stationenliegen.
    [0018] Einein entsprechender Weise zwischen zumindest zwei anzuschließenden Stationenliegende Übergabeeinrichtung 1 istin den 1 bis 4 gezeigt, und zwar in erfindungsgemäßer Ausgestaltung,in der Übergabekammern 2 und 3 vorgesehen sind,die zu einer Baueinheit zusammengefasst Bestandteile eines Schiebers 4 bilden,der axial verschieblich in einem Gehäuse 5 ange ordnet ist,wobei die Übergabeeinrichtung 1 mitihren Beschickungsöffnungen 7 bis 9 unterschiedlichenAnschlussatmosphären 10 und 11 zugeordnetist.
    [0019] DieAnschlussatmosphären 10 und 11 sind durchdie jeweils mit den Beschickungsöffnungen 7 bis 9 verbundenen,hier nicht dargestellten Stationen vorgegeben, wobei bezogen aufdas Ausführungsbeispieldie Beschickungsöffnungen 7 und 8 alserste Beschickungsöffnungeneiner ersten Anschlussatmosphäre 10 unddie Beschickungsöffnung 9 als zweiteBeschickungsöffnungeiner zweiten Anschlussatmosphäre 2 zugeordnetsind. Weiter geht das dargestellte erfindungsgemäße Ausführungsbeispiel davon aus, dassdie zweite Anschlussatmosphäre 11 höheren Reinraumbedingungenals die erste Anschlussatmosphäre 10 genügt, dieerste Anschlussatmosphäre 10 alsobeispielsweise analog zu den Darstellungen in der DE 100 38 168 C2 den atmosphärischenBedingungen einer Förderstation entspricht,und die zweite Anschlussatmosphäre 11 denatmosphärischenReinraumbedingungen eines Speicherkarussells, über das unter verschärften Reinraumbedingungenarbeitende, angedockte Arbeitsstationen zu beschicken sind. Mitanderen Worten ist der Evakuierungsgrad bezüglich der zweiten Anschlussatmosphäre 11 höher alsbezüglichder ersten Anschlussatmosphäre 10,der die ersten Beschickungsöffnungen 7 und 8 zugeordnetsind, wobei bezüglichjeder dieser ersten Beschickungsöffnungen 7 und 8,beispielsweise durch Anschluss an verschiedene Stationen, auch unterschiedlicheatmosphärischeAnschlussbedingungen gegeben sein können, die jeweils aber im Verhältnis zurzweiten Anschlussatmosphäre 11 nurniedrigeren Reinraumbedingungen als die zweite Anschlussatmosphäre 11 genügen.
    [0020] DieBeschickungsöffnungen 7 bis 9 sinddem Gehäuse 5 zugeordnetund in Abhängigkeitvon der Stellung des Schiebers 4 mit jeweils einer der Übergabekammern 2, 3 verbunden,währenddie Be schickungsöffnung 9 abwechselndmit der einen oder der anderen Übergabekammer 2, 3 verbundenist. Die Zuordnung der Beschickungsöffnungen 7 bis 9 zu den Übergabekammern 2, 3 istin Abhängigkeitvon der Stellung des Schiebers 4 derart, dass bei Überdeckungder Übergabekammer 2 zurersten Beschickungsöffnung 7 die Übergabekammer 3 mitder zweiten Beschickungsöffnung 9 inVerbindung steht, und dass, nach Verfahren des Schiebers 4 inseine entgegengesetzte Endlage, die Übergabekammer 3 mitder ersten Beschickungsöffnung 8 in Überdeckungliegt, wenn die Übergabekammer 2 andie zweite Beschickungsöffnung 9 angeschlossenist.
    [0021] Bezeichnetman die auf die erste Anschlussatmosphäre 10 ausmündendenBeschickungsöffnungen 7 und 8 alserste Beschickungsöffnungenund die auf die zweite Anschlussatmosphäre 11 ausmündende Beschickungsöffnung 9 alszweite Beschickungsöffnung,so liegt, bezogen auf den Verschiebeweg des Schiebers 4,die zweite Beschickungsöffnung 9 zwischenden ersten Beschickungsöffnungen 7 und 8.Die Übergabekammern 2, 3 sindaxial durch Trennböden 12 bis 14 desSchiebers 4 begrenzt, die ihrerseits radial an die Wandungdes Gehäuses 5 angrenzenund randnah mit flanschartigen radial nach innen ragenden Vorsprüngen desGehäusesbei entsprechender Anlage zu den flanschartigen Vorsprüngen 15, 16 Dichtgrenzenbilden. Den Trennböden 12 bis 14,und gegebenenfalls auch den flanschartigen Vorsprüngen 15, 16 können inihren einander zugewandten Flächeneinerseits oder beiderseits Dichtungen 17 zugeordnet sein,wie fürdie Trennböden 12 bis 14 veranschaulicht.
    [0022] Jeweilsaufeinander folgende und eine Übergabekammer 2 bzw. 3 axialbegrenzende Trennböden 12, 13 bzw. 13, 14 sind über Tragabstützungen 18, 19 verbunden,die durch einzelne Stützenoder auch durch Wandelemente, beispielsweise in Form von Tragringen,gebildet sein können,wobei in der Ausbildung als Tragringe diese mit den Beschickungsöffnungenentsprechenden und zu diesen korrespondierenden Ausschnitten, hierinsgesamt mit 20 bezeichnet, versehen sind. Die Tragabstützungen 18, 19 sindgegenüberder Innenkontur des Gehäuses 5 bzw.dem Umfang der Trennböden 12 bis 14 in Abstimmungauf die radialen Vorsprünge 15, 16 radialnach innen versetzt. Ferner sind im dargestellten Ausführungsbeispieldie Tragabstützungen 18, 19 mit demmittleren Trennboden 13 einstückig verbunden, so dass derTrennboden 13 mit den Tragabstützungen 18, 19 quasiein Traggerüstfür dieaxial äußeren Trennböden 12, 14 bildet,von denen der Trennboden 14 mit einer Hubstangel 21 einerlinearen Stelleinrichtung 22 verbunden ist, über dieder Schieber 4 axial innerhalb des Gehäuses 5 zu verlagernist, wobei in Abhängigkeitvon der jeweils vom Schieber 4 eingenommenen Endlage stirnseitigzu diesem ein freier Endraum 23 (1 und 2)bzw. 24 (3 und 4) entsteht.Den Endräumen 23 und 24 sind jeweilsAnschlussquerschnitte 25, 26 zugeordnet, über dieder Anschluss des jeweils freigegebenen Endraumes 23 bzw. 24 zurzweiten Anschlussatmosphäre 11 erreichtwird, wobei eine diesbezügliche Steuerschaltungin den 5 bis 9 schematisch veranschaulichtist.
    [0023] 5 zeigt,dass die den Endräumen 23 bis 24 zugeordnetenAnschlussquerschnitte 25 bzw. 26 über eineBypassverbindung 27 miteinander in Verbindung stehen, inder, zur Veranschaulichung des Prinzips, ein Steuerelement 28 angeordnetist, das in einer Querverbindung 29 zwischen der zweitenAnschlussatmosphäre 11 undder Bypassverbindung 27 liegt, wobei die zweite Anschlussatmosphäre über dasSteuerelement 28 mit jeweils einem der Anschlussquerschnitte 25, 26 oderbeiden Anschlussquerschnitten 25, 26 zu verbindenist.
    [0024] DasSteuerelement 28 ist zur Veranschaulichung als Drehschieberdargestellt, und die entsprechenden Schaltstellungen des Drehschiebers,die in den 6 bis 9 aufgezeigtsind, entsprechen in der Reihenfolge der Aufzählung den in 1 bis 4 dargestelltenArbeitsphasen der Übergabeeinrichtung 1.Von den zwischen dem Steuerelement 28 und den Anschlussquerschnitten 25, 26 derBypassverbindung 27 verlaufenden Zweigen der Bypassverbindung 27 istder auf den Anschlussquerschnitt 25 ausmündende mit 30 undder auf den Anschlussquerschnitt 26 ausmündende mit 31 bezeichnet.Entsprechende Bezeichnungen finden auch in 6 bis 9 Verwendung,die zeigen, dass in der Arbeitsphase gemäß 1 beideEndräume 23, 24 andie zweite Anschlussatmosphäre 11 angeschlossenist (siehe 6), in der in 2 dargestelltenArbeitsphase aber lediglich der Endraum 23 mit der zweiten Anschlussatmosphäre 11 verbundenist. In 3 ist die zu 1 und 2 entgegengesetzteEndstellung des Schiebers 4 erreicht und zum Erreichendieser Endstellung ist die Verbindung der Bereiche beider Endräume 23, 24,analog zur Umstellung auf eine Endstellung gemäß 1 zur zweitenAnschlussatmosphäregegeben. In der Arbeitsphase gemäß 4 ist,wie in 9 veranschaulicht, die Verbindung der zweitenAnschlussatmosphäre 11 zumEndraumbereich 23, in dem sich nunmehr die Übergabekammer 3 befindetabgesteuert und lediglich der gegenüberliegende, freie Endraum 24 mitder zweiten Atmosphäreverbunden.
    [0025] Vonden Beschickungsöffnungenist im Ausführungsbeispielgemäß 1 bis 4 lediglich dender ersten Anschlussatmosphäre 10 zugeordnetenBeschickungsöffnungen 7 und 8 alsAbsperrmittel eine Schleuse 32, 33 zugeordnet,von denen überdie Schleuse 32 die Beschickungsöffnung 7 und über die Schleuse 33 dieBeschickungsöffnung 8 absteuerbar ist.Den Schleusen 32 und 33 ist jeweils ein Stellorgan 34, 35,beispielsweise in Form eines Stellzylinders, zugeordnet.
    [0026] Derauf die zweite Anschlussatmosphäre 11 ausmündendenBeschickungsöffnung 9 kannebenfalls eines Schleuse zugeordnet sein, was im Ausführungsbeispielaber nicht gezeigt ist.
    [0027] Die Übergabekammern 2, 3 enthaltenAblagen fürSubstrate 36, beispielsweise in Form von Wafern, und imgezeigten Ausführungsbeispielsind diese als Ablagen durch Auflageflächen 37 für zwei übereinanderliegende Wafer veranschaulicht. Selbstverständlich können anstelle von Ablagen mit einoder zwei Auflageflächen 37 auchAblagen, beispielsweise in Form von Kassetten, mit einer größeren Anzahlvon Auflageflächenvorgesehen sein.
    [0028] Dielediglich beispielsweise veranschaulichte Stelleinrichtung 22 bildetfür denSchieber 4 eine Zwangsführung,welche eine auf einer Drehachse 38 angeordnete Exzenterscheibe 39 umfasst,die mit einer Ringnut 40 versehen ist, in die ein der Hubstange zugeordneter,hier nicht gezeigter Führungszapfen eingreift,so dass der Schieber 4 entsprechend der Drehstellung derExzenterscheibe 39 in seiner Höhe verstellbar ist, wobei denEndlagen des Schiebers 4 Totlagen der Exzenterscheibe 39 entsprechen,deren Drehachse 38 in einer Ebene mit der Hubachse des Schiebers 4 beisenkrechter Erstreckung zur Hubachse liegt. Die Hubstange 21 istihrerseits übereinen säulengeführten Führungsschlitten 41 gegen dasGehäuse 5 abgestützt, sodass eine verkantungsfreie Führungdes Schiebers 4 gegenüberdem Gehäuse 5 gewährleistetist.
    [0029] Die 1 bis 4 veranschaulichendiverse Arbeitsphasen, und in der Arbeitsphase gemäß 1 istdie zur Stelleinrichtung 22 abgelegene, im Ausführungsbeispielobere Übergabekammer 2 inihrer der oberen Endlage des Schiebers 4 entsprechenden Überdeckungslagezur Beschickungsöffnung 7 gezeigt,wobei beide Schleusen 32, 33 geschlossen sind. 1 ergibtsich durch die Umstellung des Schiebers 4 aus seiner unterenLage, die vorgenommen wird, sobald die untere Schleuse 33 geschlossenwurde.
    [0030] Bevordie Übergabekammer 2 durch Öffnen derSchleuse 32 überdie Beschickungsöffnung 7 gegendie erste Anschlussatmosphäre 10 geöffnet wird, wird,gemäß 7,der Endraum 24 gegen die zweite Anschlussatmosphäre 11 abgesperrt,wobei im Ausführungsbeispieldavon ausgegangen wird, dass die zweite Anschlussatmosphäre 11 einenhöheren Reinheitsgradals die erste Anschlussatmosphäre 10 aufweist.
    [0031] Nacherfolgtem Beschicken der Übergabekammer 2,das bevorzugt gleichzeitig zum Beschicken der Übergabekammer 3 erfolgt,wird die Schleuse 32 geschlossen und auch die zuvor gegendie erste Anschlussatmosphäre 10 offene Übergabekammer 2 über dieBypassverbindung 27 gemäß 5 beieiner Schaltstellung des Steuerelementes 28 gemäß 8 andie zweite Anschlussatmosphäreangeschlossen. Danach erfolgt die Verlagerung des Schiebers 4 ausseiner oberen Endlage gemäß 1 und 2 inseine untere Endstellung gemäß 3 und 4,und zwar bei Anschluss beider Endraumbereiche an die zweite Anschlussatmosphäre 11,so dass keine der Stellbewegung entgegenwirkenden Drücke zu überwindensind. Aufgrund der Aufschaltung der zweiten Anschlussatmosphäre auf diein 1 und 2 obere Übergabekammer 2 sindfür dieseweitgehend bereits der zweiten Anschlussatmosphäre 11 entsprechendeKonditionen gegeben, wenn die untere Endstellung für den Schieber 4 erreichtwird und die Übergabekammer 2 nunmehrin Überdeckungzur Beschickungsöffnung 9 steht,so dass sehr kurze Schaltzeiten zu realisieren sind.
    [0032] Inder gemäß 3 erreichtenunteren Stellung des Schiebers 4 sind für die Übergabekammer 3 zunächst nochdie in der Stellung gemäß 2 gegebenenatmosphärischenBedingungen, entsprechend der zweiten Anschlussatmosphäre 11,gegeben, die erst bei Aufsteuern der der Beschickungsöffnung 8 zugeordnetenSchleuse 33 abgebaut werden. Ist die untere Stellung für den Schieber 4 angefahren, sowird die Bypassverbindung auf den unteren Endraum 23, dernunmehr von der Übergabekammer 3 überdecktist, abgesteuert, so dass bei Öffnender Schleuse 33 keine Kurzschlussverbindung zur zweitenAnschlussatmosphäre 11,bzw. der entsprechenden Arbeitsstation, entsteht. Nach Schließen der Schleuse 33 wirddie Bypassverbindung gemäß 1 geöffnet, beideEndräumewerden an die zweite Anschlussatmosphäre 11 angeschlossenund der Schieber 4 wird in die obere Endstellung verlagert. Danachschließtder Arbeitsprozess in entsprechender Wiederholung sich fort.
    [0033] Aufgrunddes erfindungsgemäßen Aufbaus istdas in Verbindung mit der Umstellung des Schiebers 4 zwischenseinen Endlagen abzusaugende Volumen trotz der Umstellung zweier Übergabekammernauf das Volumen einer Übergabekammerbeschränkt,so dass hohe Schaltgeschwindigkeiten realisiert werden können undder fürdie Aufrechterhaltung eines hohen Unterdruckniveaus bezüglich der zweitenAnschlussatmosphäregering ist.
    [0034] Dieerfindungsgemäße Ausbildungeiner Übergabeeinrichtungmit etagenartig übereinander liegendenund in den Körpereines Schiebers integrierten Übergabekammern,die durch Dichtgrenzen umfassende Ringzonen des Schiebers gegendas den Schieber aufnehmende Gehäuseund dem Schieberkörperzugeordnete Trennbödengegeneinander abgegrenzt sind, macht eine Reduzierung der Beschickungsöffnungenmöglichund bietet zudem die Möglichkeit,lediglich einen Teil der Beschickungsöffnungen mit Schleusen auszustatten,so dass sich ein sehr kompakter und auch kostengünstiger Aufbau ergibt, dervor allem auch zu kurzen Übergabezeitenfür dieumzusetzenden Substrate in Verbindung mit geringem Evakuierungsbedarfführt.
    [0035] DerEvakuierungsbedarf lässtsich im Rahmen der Erfindung weiter noch dadurch reduzieren, dassdie Endräume 23, 24 zuRingräumen 42, 43 reduziertwerden, wie in 1 bis 4 angedeutet, wobeidie Ringräumebeispielsweise durch Faltenbälge 44, 45 abgegrenztsind.
    权利要求:
    Claims (23)
    [1] Übergabeeinrichtungin Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentren für Substrate, insbesondere vonin Clusterbauweise aufgebauten Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentrenfür Substrate,mit im Durchlaufweg der Substrate liegenden, über die Übergabeeinrichtung atmosphärisch trennendzu verbindenden Stationen, wobei die Übergabeeinrichtung mehrere Übergabekammernmit gehäuseseitigenBeschickungsöffnungen,Ablagen für Substrateund mit im Beschickungsweg liegenden Schleusen umfasst, dadurchgekennzeichnet, dass die Übergabekammern(2, 3) der Übergabeeinrichtung(1) zu einer Baueinheit zusammengefasst sind, die einenSchieber (4) mit die axiale Begrenzung der Übergabekammern(2, 3) bildenden, axial beabstandeten Trennböden (12–14)aufweist und bei der jede der Übergabekammern(2, 3) durch Verlagerung des Schiebers (4)jeweils mit einer anderen, einer Station zugeordneten Anschlussatmosphäre (10, 11)zu verbinden ist, in deren Verbindung die jeweilige Übergabekammer(2, 3) liegt.
    [2] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Schieber (4)mit zwei Übergabekammern(2, 3) versehen ist.
    [3] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Übergabekammern(2, 3) im Bereich der Trennböden (12, –14)liegende Dichtungen (17) gegen das Schiebergehäuse (15)gegeneinander abtrennbar sind.
    [4] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennböden (12–14) randnahmit Axialdichtungen (17) versehen sind, denen gehäuseseitigdurch flanschartige Vorsprünge (15, 16)gebildete Gegenflächenzugeordnet sind.
    [5] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennböden (12–14) über gegenüber demGehäuse(5) radial nach innen versetzte Tragabstützungen(18, 19) miteinander verbunden sind.
    [6] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Tragabstützungen (18, 19)mit dem mittleren, die Übergabekammern(2, 3) gegeneinander abgrenzenden Tragboden (13)einstückigverbunden sind.
    [7] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Tragabstützungen (18, 19)durch mit Ausschnitten (20) versehene Tragringe gebildetsind.
    [8] Übergabeeinrichtungnach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dassvon den den Übergabekammern(2, 3) zugeordneten, im Bereich des Verschiebewegesdes Schiebers (4) liegenden gehäuse seitigen und über die Übergabekammern(2, 3) jeweils einer Anschlussatmosphäre (10, 11)zugeordneten Beschickungsöffnungen(7–9)die der einen, zweiten Anschlussatmosphäre (11) zugeordnetezweite Beschickungsöffnung(9), bezogen auf den Verschiebeweg des Schiebers (4),zwischen den der anderen, ersten Anschlussatmosphäre (10)zugeordneten ersten Beschickungsöffnungen(7, 8) liegt.
    [9] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die erste und diezweite Anschlussatmosphäre(10, 11) auf unterschiedlichem Druckniveau liegen.
    [10] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass die bezogenauf den Verschiebeweg des Schiebers (4) zwischen den erstenBeschickungsöffnungen(7, 8) liegende zweite Beschickungsöffnung (9)an die auf niedrigerem Druckniveau liegende zweite Anschlussatmosphäre (11)angeschlossen ist.
    [11] Übergabeeinrichtungnach einem der Ansprüche1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass die der ersten Anschlussatmosphäre (10)zugeordneten ersten Beschickungsöffnungen(7, 8) absperrbar sind.
    [12] Übergabeeinrichtungnach einem der Ansprüche1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die der zweiten Anschlussatmosphäre (11)zugeordnete zweite Beschickungsöffnung(9) absperrbar ist.
    [13] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass den Beschickungsöffnungen(7, 8) Schleusen zugeordnet sind.
    [14] Übergabeeinrichtungnach einem der Ansprüche1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der Schieber (14)in seiner jeweiligen Endstellung zumindest an seinem bezogen aufdie Verschieberichtung jeweiligen rückwärtigen Ende gegen das Gehäuse (5)einen Endraum (23, 24) abgrenzt und dass zwischenden in den jeweiligen Endstellungen gegebenen Bereichen der Endräume (23, 24)eine Bypassverbindung (27) gegeben ist.
    [15] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Bypassverbindung (27)auf die jeweiligen Endräume(23, 24) Anschlussquerschnitte (25, 26)aufweist, von denen der vom Schieber (4) in der jeweiligenEndstellung überdeckte gegendie im Überdeckungsbereichliegende Übergabekammer(2, 3) offen ist.
    [16] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Bypassverbindung(27) eine umsteuerbare Querverbindung (28) zurzweiten Anschlussatmosphäre(11) aufweist.
    [17] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Querverbindung(29) zur Bypassverbindung (27) absteuerbar ist.
    [18] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Querverbindung(29) zur Bypassverbindung (27) bei gegen die ersteAnschlussatmosphäre(10) offener Verbindung einer zugehörigen Beschickungsöffnung (7, 8)absperrbar ist.
    [19] Übergabeeinrichtungnach einem der Ansprüche16 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Querverbindung (29)zur Bypassverbindung (27) lediglich bezüglich des einen der Zweige(30, 31) der Bypassverbindung (27) absteuerbarist, der auf den Anschlussquerschnitt (25, 26)ausmündet,welcher in der jeweiligen Endstellung des Schiebers (4)im Überdeckungsbereichzur jeweiligen Übergabekammer(2, 3) liegt.
    [20] Übergabeeinrichtungnach einem der Ansprüche16 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass die Querverbindung (29)bei Verstellung des Schiebers (4) gegen beide Anschlussquerschnitte(25, 26) offen ist.
    [21] Übergabeeinrichtungnach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dassdem Schieber (4) eine Stelleinrichtung (22) zugeordnetist.
    [22] Übergabeeinrichtungnach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dassdie Stelleinrichtung (22) als in jeder Stellrichtung arbeitendeZwangsführungfür denSchieber (4) ausgebildet ist.
    [23] Übergabeeinrichtungnach Anspruch 21 oder 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Stelleinrichtung(22) den Endlagen des Schiebers (4) zugeordneteTotlagen aufweist.
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
    JP6113227B2|2017-04-12|基板処理ツール
    US9496159B2|2016-11-15|Wafer position correction with a dual, side-by-side wafer transfer robot
    US20160091227A1|2016-03-31|Magnetic Refrigeration System with Improved Coaxial Valve
    US20190375105A1|2019-12-12|Substrate deposition systems, robot transfer apparatus, and methods for electronic device manufacturing
    KR100313825B1|2002-04-24|Wafer Type Workpiece Handling Device
    JP5409063B2|2014-02-05|真空処理装置
    US9174253B2|2015-11-03|Purge nozzle unit, purge apparatus and load port
    US6729824B2|2004-05-04|Dual robot processing system
    US6854708B2|2005-02-15|High-vacuum valve with retractable valve plate to eliminate abrasion
    JP3408278B2|2003-05-19|マイクロ回路ウェファー加工装置
    US5730573A|1998-03-24|Clean transfer method and apparatus therefor
    US5364219A|1994-11-15|Apparatus for clean transfer of objects
    DE4447977B4|2009-09-10|Vorrichtung und Verfahren zur Plasmabehandlung von flachen Werkstücken, insbesondere flachen, aktiven Bildschirmen, sowie Verwendung der Vorrichtung
    ES2286372T3|2007-12-01|Valvula secuencial giratoria con placa de orificios flexible.
    KR100483902B1|2005-09-14|이온주입시스템용로드락어셈블리
    EP2215387B1|2013-04-24|Vakuumventil
    US20130333621A1|2013-12-19|Apparatus for the deposition of high dielectric constant films
    US6347918B1|2002-02-19|Inflatable slit/gate valve
    US6450750B1|2002-09-17|Multiple loadlock system
    JP6006643B2|2016-10-12|真空処理装置
    KR20150100567A|2015-09-02|멀티-스테이션 프로세싱 및 전-프로세싱 스테이션 및/또는 후-프로세싱 스테이션을 갖는 컴팩트 기판 프로세싱 툴
    US6199604B1|2001-03-13|Clean box, clean transfer method and apparatus therefor
    US6837663B2|2005-01-04|Loading and unloading station for semiconductor processing installations
    EP1195795B1|2009-04-01|Vakuumvorrichtung und -Verfahren
    DE69730097T2|2005-08-11|Verfahren und Vorrichtung zur Behandlung von Wafers
    同族专利:
    公开号 | 公开日
    DE102004010599B4|2005-12-29|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2005-09-29| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2006-06-22| 8364| No opposition during term of opposition|
    2017-10-27| R084| Declaration of willingness to licence|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DE200410010599|DE102004010599B4|2004-03-02|2004-03-02|Übergabeeinrichtung in Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentren|DE200410010599| DE102004010599B4|2004-03-02|2004-03-02|Übergabeeinrichtung in Handhabungs- und/oder Bearbeitungszentren|
    PCT/EP2005/002135| WO2005086207A1|2004-03-02|2005-03-01|Übergabeeinrichtung in handhabungs- und/oder bearbeitungszentren|
    [返回顶部]