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    • 专利摘要:
    DieAnzahl Fehlerbits wird in bezug auf jede Zeile und jede Spalte ineiner Fehlerbitabbildung (9) gezählt,um jeweils die mittlere Anzahl von Fehlerbits in bezug auf die Zeilenund Spalten zu ermitteln. Eine Hälfteder mittleren Anzahl der Fehlerbits der Zeilen wird als ein Zeilengrenzwertdefiniert, und eine Hälfteder mittleren Anzahl der Fehlerbits der Spalten wird als ein Spaltengrenzwertdefiniert. Danach wird auf der Basis der jeweiligen Grenzwerte derZeilen und Spalten die Anzahl Fehlerbits in Digitalform in bezugauf jede Zeile und jede Spalte umgewandelt. Die jeweiligen Mittelwerteder digitalisierten Anzahl von Fehlerbits in bezug auf Zeilen undSpalten werden berechnet, die als Mittelwerte von Zeilen bzw. Spalten bezeichnetwerden. Es wird bestimmt, daß eineHalbleiterbaugruppe einen Blockfehler in einer Zeilenrichtung, einen Blockfehlerin einer Spaltenrichtung oder einen beliebigen Blockfehler enthält.
    公开号:DE102004002901A1
    申请号:DE200410002901
    申请日:2004-01-20
    公开日:2004-12-23
    发明作者:Fumihito Ohta
    申请人:Renesas Technology Corp；
    IPC主号:G01R31-28
    专利说明:
    [0001] DieErfindung betrifft ein Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppe,wobei das Verfahren insbesondere die Fehleranalyse eines Blockfehlersbetrifft, der in einer Halbleiterbaugruppe enthalten ist, die eineVielzahl von Speicherzellen aufweist.
    [0002] EinherkömmlichesVerfahren verwendet einen LSI-Tester zum Analysieren eines Fehlerseiner Halbleiterbaugruppe, die eine Vielzahl von Speicherzellenaufweist, die in einer Matrix angeordnet sind. Nach diesem Verfahrenzur Fehleranalyse, das einen LSI-Tester verwendet, werden sämtlicheSpeicherzellen in der Halbleiterbaugruppe hinsichtlich der elektrischenCharakteristik getestet, und Daten der Fehlerspeicherzellen (nachstehendalternativ als "Fehlerbits" bezeichnet) werdengesammelt. Die dadurch gesammelten Daten werden auf einer Abbildungin Matrixform angezeigt (nachstehend alternativ als "Fehlerbitabbildung" bezeichnet), wodurchdie Ursache von Fehlern analysiert wird. Die Analyse der Ursachevon Fehlern umfaßtdas Erkennen eines Musters eines auf der Fehlerbitabbildung angezeigtenFehlers und die Bestimmung der Koinzidenzrate dieses Musters miteinem bestimmten Muster. Je nach der dadurch erhaltenen Koinzidenzratewird der Fehler als ein Blockfehler oder ein Zeilenfehler klassifiziert.
    [0003] Einbeispielhaftes Verfahren zur Fehleranalyse, das eine Fehlerbitabbildungverwendet, wird in der JP-Offenlegungsschrift Nr. 2000-306395 (Seiten 5bis 10 und 1 bis 14) vorgestellt. Nach demVerfahren der JP-Offenlegungsschrift Nr. 2000-306395 gewinnt einLSI-Tester Fehlerbitdaten von einer Halbleiterbaugruppe, wobei dieDaten danach einer physischen Umwandlung unterzogen werden, um inder Ordnung des Layouts der Halbleiterbaugruppe sortiert zu werden.Auf der Basis der Fehlerbitdaten nach der physischen Umwandlungwird beurteilt, ob jeder in der Halbleiterbaugruppe definierte Bereich einengroßenAnteil an Bitfehlern hat.
    [0004] DieKlassifizierung bei dem herkömmlichen Verfahrenzur Fehleranalyse basiert auf der Koinzidenzrate eines Fehlermustersmit einem bestimmten Muster. Dies bedeutet, daß eine genaue Klassifizierungnicht erwartet werden kann, wenn verschiedene Fehlertypen einschließlich einesBlockfehlers und eines Zeilenfehlers existieren, was in einer unzureichendenFehleranalyse resultiert.
    [0005] Beidem Verfahren zur Fehleranalyse nach der Offenbarung in der JP-OffenlegungsschriftNr. 2000-306395 ist die Fehlerklassifizierung nicht von der Anzahlder Fehlerbits abhängig.Deshalb kann die Fehleranalyse die genaue Information nicht nutzen,die die Anzahl der Fehlerbits bezeichnet, die von einer Fehlerbitabbildunggewonnen werden. Ferner klassifiziert die Fehleranalyse nach derJP-Offenlegungsschrift Nr. 2000-306395 nur einen Fehler in einembestimmten Bereich als einen Zeilenfehler, einen Bitfehler oderdergleichen. Eine genaue Fehleranalyse innerhalb eines Blockfehlerswird nicht durchgeführt.
    [0006] Aufgabeder Erfindung ist die Bereitstellung eines Verfahren zur Fehleranalyseeiner Halbleiterbaugruppe zum Durchführen einer genauen Analyse einesBlockfehlers in einer Halbleiterbaugruppe einschließlich derKlassifizierung eines Blockfehlers, der Fehlerbits enthält, diePeriodizitätin einer Zeilenrichtung oder in einer Spaltenrichtung haben (nachstehendalternativ als "einBlockfehler mit Periodizität" bezeichnet). EinVorteil der Erfindung besteht dabei darin, daß auch wenn eine Halbleiterbaugruppesowohl einen Blockfehler mit Periodizität als auch einen Zeilenfehlerenthält,ein Verfahrens zur Fehleranalyse einer solchen Halbleiterbaugruppezum Durchführeneiner Fehleranalyse einschließlichder Klassifizierung in einen Blockfehler mit Periodizität und einen Zeilenfehlerbereitgestellt wird.
    [0007] Nachder Erfindung weist das Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppedie folgenden Schritte (a) bis (g) auf. In Schritt (a) wird in einer Fehlerbitabbildung,die von einer Halbleiterbaugruppe gewonnen ist, die eine Vielzahlvon in einer Matrix angeordneten Speicherzellen aufweist, die Anzahl Fehlerbitsin bezug auf jede Zeile eines Bereichs gezählt, der als ein Blockfehlerklassifiziert ist. In Schritt (b) wird die Anzahl Fehlerbits inbezug auf jede Spalte des Bereichs in der Fehlerbitabbildung gezählt. In Schritt(c) wird ein erster Grenzwert aus einem Mittelwert der Anzahl Fehlerbitsin bezug auf jede Zeile ermittelt, um die Anzahl Fehlerbits in bezugauf jede Zeile und den ersten Grenzwert zu vergleichen. In Schritt(d) wird ein zweiter Grenzwert aus einem Mittelwert der Anzahl Fehlerbitsin bezug auf jede Spalte ermittelt, um die Anzahl Fehlerbits inbezug auf jede Spalte und den zweiten Grenzwert zu vergleichen. Schritt(e) wird nach Schritt (c) ausgeführt.In Schritt (e) wird ein Mittelwert eines Ergebnisses des Vergleichsin bezug auf jede Zeile als ein Zeilenmittelwert ermittelt. Schritt(f) wird nach Schritt (d) ausgeführt.In Schritt (f) wird ein Mittelwert eines Ergebnisses des Vergleichsin bezug auf jede Spalte als ein Spaltenmittelwert ermittelt. InSchritt (g) wird bestimmt, daß dieHalbleiterbaugruppe einen Blockfehler in einer Spaltenrichtung,einen Blockfehler in einer Zeilenrichtung oder einen beliebigenBlockfehler enthält.Der Blockfehler in einer Spaltenrichtung genügt einer Bedingung, daß der Zeilenmittelwertgrößer als einWert ist, der durch Multiplikation des Spaltenmittelwerts mit einemvorbestimmten Faktor gewonnen ist. Der Blockfehler in einer Zeilenrichtunggenügteiner Bedingung, daß derSpaltenmittelwert größer als einWert ist, der durch Multiplikation des Zeilenmittelwerts mit demvorbestimmten Faktor gewonnen ist. Der beliebige Blockfehler genügt den Bedingungen, daß der Zeilenmittelwertnicht größer alsein Wert ist, der durch Multiplikation des Spaltenmittelwerts mit demvorbestimmten Faktor gewonnen ist, und daß der Spaltenmittelwert nichtgrößer alsein Wert ist, der durch Multiplikation des Zeilenmittelwerts mit demvorbestimmten Faktor gewonnen ist.
    [0008] Information über einenFehler, der bei dem herkömmlichenVerfahren zur Fehleranalyse nicht klassifiziert werden kann, kannin größeren Einzelheitengegeben werden.
    [0009] Infolgedessenkann die Fehleranalyse einen verbesserten Genauigkeitsgrad bei derFehlerklassifizierung ergeben.
    [0010] DieErfindung wird nachstehend auch hinsichtlich weiterer Merkmale undVorteile anhand der Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahmeauf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Diese zeigen in:
    [0011] 1 ein Blockbild, das einVerfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppe nach einer erstenbevorzugten Ausführungsformder Erfindung zeigt;
    [0012] 2 eine Fehlerbitabbildungeiner Halbleiterbaugruppe nach der ersten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung;
    [0013] 3 eine Fehlerbitabbildung,die einen Blockfehlerbereich der Halbleiterbaugruppe nach der erstenbevorzugten Ausführungsformder Erfindung zeigt;
    [0014] 4A eine Fehlerbitabbildung,die einen Blockfehlerbereich einer Halbleiterbaugruppe nach einerzweiten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung zeigt;
    [0015] 4B die Anzahl Fehlerbitsin jeder Spalte nach der zweiten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung;
    [0016] 5A eine Fehlerbitabbildung,die einen Blockfehlerbereich einer Halbleiterbaugruppe nach einerdritten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung zeigt;
    [0017] 5B die Anzahl Fehlerbitsin jeder Spalte nach der dritten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung;
    [0018] 6 eine Fehlerbitabbildung,die einen Blockfehlerbereich einer Halbleiterbaugruppe nach einervierten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung zeigt;
    [0019] 7 ein Flußdiagramm,das ein Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppe nacheiner fünftenbevorzugten Ausführungsformder Erfindung erläutert;
    [0020] 8 und 9 Fehlerbitabbildungen, die jeweils einenBlockfehlerbereich einer Halbleiterbaugruppe nach einer sechstenbevorzugten Ausführungsformder Erfindung zeigen;
    [0021] 10 eine Fehlerbitabbildung,die einen Blockfehlerbereich einer Halbleiterbaugruppe nach einerModifikation der sechsten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung zeigt;
    [0022] 11 ein Flußdiagramm,das ein Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppe nacheiner siebten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung erläutert;und
    [0023] 12 bis 14 Fehlerbitabbildungen, die jeweilseinen Blockfehlerbereich einer Halbleiterbaugruppe nach einer achtenbevorzugten Ausführungsformder Erfindung zeigen.
    [0024] 1 ist ein Blockbild, dasein System zur Durchführungeines Verfahrens zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppe nacheiner ersten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung zeigt. Wie aus 1 ersichtlichist, ist eine Halbleiterbaugruppe 1 mit einem LSI-Tester 2 zumMessen von Speicherzellen der Halbleiterbaugruppe 1 inbezug auf elektrische Charakteristik verbunden. Nach der Messung gewinntder LSI-Tester 2 Daten der Halbleiterbaugruppe 1,die dann durch eine Datenschaltung 3 wie etwa ein LAN aneine Datenanalyse-EWS (Entwickler-Workstation) 4 übertragenwerden. Die Datenanalyse-EWS 4 analysiert die von dem LSI-Tester 2 übertragenenDaten der Halbleiterbaugruppe 1, um einen Fehler zu klassifizierenund die Ursache des Fehlers anzugeben. In 1 repräsentieren Blöcke ohneBezeichnung durch ein Bezugszeichen Kommunikationseinrichtungenfür denAufbau eines Netzes.
    [0025] 2 ist eine Fehlerbitabbildungder Halbleiterbaugruppe 1 nach der ersten bevorzugten Ausführungsform.Wie 2 zeigt, weist dieHalbleiterbaugruppe 1 24 Halbleiterchips 5 auf,die auf einer Halbleiterscheibe angeordnet sind. Die Halbleiterchips 5 weisenjeweils 128×128Speicherzellen auf. Aufgrund des begrenzten Raums stellt in 2 ein Quadrat eines jedender Halbleiterchips 5 16×16 Bits dar, wogegen einetatsächlicheFehlerbitabbildung Daten pro Bit hält. In der Fehlerbitabbildungvon 2 zeigen leere Quadratenormale Speicherzellen (normale Bits), wogegen schwarze QuadrateFehlerspeicherzellen (Fehlerbits) zeigen. Wie erwähnt, stelltein Quadrat 16×16= 256 Bits dar. Ein Quadrat, bei dem die Anzahl Fehlerbits nichtkleiner als ein vorbestimmter Wert ist, ist schwarz ausgefüllt. Beispielsweiseist das Quadrat, das vier Fehlerbits oder mehr von 256 Bits aufweist,schwarz ausgefüllt.
    [0026] DieFehlerbitabbildung von 2 wirdeiner herkömmlichenFehlerklassifizierung unterzogen. Zunächst wird ein Muster einesFehlers, das auf der Fehlerbitabbildung angezeigte Fehlerbits aufweist, erkannt.Auf der Basis der Koinzidenzrate dieses Musters mit einem vorherdefinierten bestimmten Muster oder einer positionsmäßigen Beziehungdavon mit einem peripheren Fehler wird der Fehler als ein Bitfehler 6,ein Zeilenfehler 7 oder ein Blockfehler 8 klassifiziert.Der Bitfehler 6 weist ein einziges Fehlerquadrat auf. DerZeilenfehler 7 weist eine Vielzahl von Fehlerquadratenin einer Zeile auf. Der Blockfehler 8 weist eine Vielzahlvon Fehlerquadraten auf, die in einem bestimmten Bereich konzentriertsind.
    [0027] Beider ersten bevorzugten Ausführungsform istdie Fehleranalyse speziell auf den Blockfehler 8 ausgerichtet. 3 ist eine Fehlerbitabbildung,die den Blockfehler 8 der ersten bevorzugten Ausführungsformzeigt. In 2 ist gezeigt,daß derBlockfehler 8 4×4Quadrate enthält,die jeweils 16×16Bits aufweisen. Eine Fehlerbitabbildung 9 gemäß 3 stellt also 64×64 Bitsdar. Ähnlichwie in 2 zeigen leereQuadrate normale Bits, wogegen schwarze Quadrate Fehlerbits zeigen.
    [0028] Nachstehendwird das Verfahren zur Fehleranalyse nach der ersten bevorzugtenAusführungsformbeschrieben. Zunächstwird die Anzahl Fehlerbits in bezug auf jede Spalte und jede Zeilegezählt. Wie 3 zeigt, gibt es in derersten Zeile 13 Fehlerbits, in der zehnten Zeile 7, in der zwanzigstenZeile 2, in der dreißigstenZeile 7 und in der vierundsechzigsten Zeile 10. Ferner weist dieerste Spalte null Fehlerbits auf, und in der siebten Spalte gibtes 36 Fehlerbits, in der einundreißigsten Spalte 20, in der fünfundfünfzigstenSpalte 10 und in der vierundsechzigsten Spalte 0. Nachdem die AnzahlFehlerbits für sämtlicheZeilen und Spalten gezähltist, wird die jeweilige mittlere Anzahl der Fehlerbits in bezugauf die Zeilen und Spalten ermittelt. Eine Hälfte der mittleren Anzahl derFehlerbits der Zeilen wird als ein Zeilengrenzwert definiert, undeine Hälfteder mittleren Anzahl der Fehlerbits der Spalten wird als ein Spaltengrenzwertdefiniert. Bei der beispielhaften Fehlerbitabbildung von 3 ist der Zeilengrenzwert2,36 und der Spaltengrenzwert 2,36. Bei der ersten bevorzugten Ausführungsformwerden die jeweiligen Zeilen- und Spaltengrenzwerte durch Multiplikationder mittleren Anzahl der Fehlerbits der Zeilen bzw. Spalten mit0,5 gewonnen. Dieser Multiplikationsfaktor ist jedoch bei der Erfindungnicht darauf beschränkt.Ein alternativer Wert kann als Faktor bei der Multiplikation derjeweiligen mittleren Anzahl der Fehlerbits der Zeilen und Spaltenanwendbar sein, solange ein solcher Wert für ein Verfahren zur Fehleranalysegeeignet ist.
    [0029] Danachwird auf der Basis der jeweiligen Grenzwerte der Zeilen und Spaltendie Anzahl Fehlerbits in Digitalform in bezug auf jede Zeile undjede Spalte umgewandelt. Dabei wird in bezug auf jede Zeile undSpalte die Anzahl Fehlerbits von nicht weniger als dem entsprechendenGrenzwert in 1 umgewandelt, und die Anzahl Fehlerbits von wenigerals dem entsprechenden Grenzwert wird in 0 umgewandelt. Bei derbeispielhaften Fehlerbitabbildung von 3 wirddie Anzahl Fehlerbits in der ersten Zeile in 1 umgewandelt, in derzehnten Zeile in 1, in der zwanzigsten Zeile in 0, in der dreißigstenZeile in 1 und in der vierundsechzigsten Zeile in 1. Ferner wird dieAnzahl Fehlerbits in der ersten Spalte in 0 umgewandet, in der siebtenSpalte in 1, in der einundreißigstenSpalte in 1, in der fünfundfünfzigstenSpalte in 1 und in der vierundsechzigsten Spalte in 0. Danach werdendie jeweiligen Mittelwerte der digitalisierten Anzahl Fehlerbitsin bezug auf die Zeilen und Spalten berechnet, die als Mittelwerteder Zeilen bzw. Spalten bezeichnet werden. Bei der beispielhaften Fehlerbitabbildungvon 3 ist der Mittelwertder Zeilen 0,84, wogegen der Mittelwert der Spalten 0,25 ist.
    [0030] Dannschreitet unter Nutzung der so berechneten Mittelwerte der Zeilenund Spalten die Klassifizierung eines Blockfehlers fort. Dabei wirddann, wenn der Mittelwert der Spalten größer als der Wert ist, der durchMultiplikation des Mittelwerts der Zeilen mit einem Faktor gewonnenist, beurteilt, daß die Halbleiterbaugruppe 1 einenBlockfehler in einer Zeilenrichtung enthält. Wenn der Mittelwert derZeilen größer alsein Wert ist, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Spaltenmit dem Faktor gewonnen ist, wird beurteilt, daß die Halbleiterbaugruppe 1 einen Blockfehlerin einer Spaltenrichtung enthält.Wenn der Mittelwert der Spalten nicht größer als ein Wert ist, der durchMultiplikation des Mittelwerts der Zeilen mit dem Faktor gewonnenist, und wenn der Mittelwert der Zeilen nicht größer als ein Wert ist, der durch Multiplikationdes Mittelwerts der Spalten mit dem Faktor gewonnen ist, wird beurteilt,daß dieHalbleiterbaugruppe 1 einen beliebigen Blockfehler enthält. Wieerwähnt,ist bei der beispielhaften Fehlerbitabbildung von 3 der Mittelwert der Zeilen 0,84, wogegender Mittelwert der Spalten 0,25 ist. Wenn ein Multiplikationsfaktormit 1,2 vorgegeben ist, ist der Mittelwert der Zeilen größer alsein Wert, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Spalten mitdem Faktor gewonnen wird, wie aus dem nachstehenden Ausdruck ersichtlichist: 0,84 > 0,25 × 1,2
    [0031] Indiesem Fall wird beurteilt, daß dieHalbleiterbaugruppe 1 einen Blockfehler in einer Spaltenrichtungenthält.
    [0032] Beider ersten bevorzugten Ausführungsform werdendie jeweiligen Grenzwerte der Zeilen und Spalten durch Multiplikationder jeweiligen mittleren Anzahl der Fehlerbits der Zeilen und Spaltenmit 0,5 gewonnen, wobei dieser Multiplikationsfaktor bei der Erfindungnicht darauf beschränktist. Ein alternativer Wert, der beispielsweise aus vorher gewonnenen Fehlerdatenabgeleitet ist, kann geeignet als ein Faktor bei der Multiplikationder jeweiligen mittleren Anzahl der Fehlerbits der Zeilen und Spaltengenutzt werden. Ferner ist bei der ersten bevorzugten Ausführungsformder Faktor fürdie Fehlerklassifizierung mit 1,2 vorgegeben, wobei dieser Faktorbei der Erfindung nicht darauf beschränkt ist. Ein alternativer Wert,der beispielsweise aus vorher gewonnen Fehlerdaten abgeleitet ist,kann geeignet als ein Faktor zur Fehlerklassifizierung genutzt werden.
    [0033] Wiebeschrieben, wird bei dem Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppenach der ersten bevorzugten Ausführungsformbeurteilt, daß eineHalbleiterbaugruppe einen Blockfehler in einer Spaltenrichtung,einen Blockfehler in einer Zeilenrichtung oder einen beliebigenBlockfehler enthält. DerBlockfehler in einer Spaltenrichtung genügt einer Bedingung, daß der Mittelwertder Zeilen größer als einWert ist, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Spalten miteinem vorbestimmten Faktor gewonnen ist. Der Blockfehler in einerZeilenrichtung genügteiner Bedingung, daß derMittelwert der Spalten größer alsein Wert ist, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Zeilenmit dem vorbestimmten Faktor gewonnen ist. Der beliebige Blockfehlergenügtden Bedingungen, daß derMittelwert der Zeilen nicht größer alsein Wert ist, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Spaltenmit dem vorbestimmten Faktor gewonnen ist, und daß der Mittelwertder Spalten nicht größer alsein Wert ist, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Zeilenmit dem vorbestimmten Faktor gewonnen ist. Dies bedeutet, daß Information über denFehler, der bei dem herkömmlichenVerfahren zur Fehleranalyse nicht klassifiziert werden kann, ingrößeren Einzelheitengegeben werden kann. Infolgedessen kann die Fehleranalyse der erstenbevorzugten Ausführungsformeinen verbesserten Genauigkeitsgrad bei der Fehlerklassifizierungliefern.
    [0034] Beider ersten bevorzugten Ausführungsform wirdein Blockfehler in drei Typen klassifiziert, nämlich in einen Blockfehlerin einer Spaltenrichtung, einen Blockfehler in einer Zeilenrichtungund einen beliebigen Blockfehler. Bei der zweiten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung wird ein Blockfehler, der bei der ersten bevorzugtenAusführungsformals ein Blockfehler in einer Spaltenrichtung oder einer Zeilenrichtungklassifiziert worden ist, einer weiteren Analyse unterzogen. EinBlockfehler, der als beliebiger Blockfehler klassifiziert wordenist, wird keinem Verfahren zur Fehleranalyse nach der zweiten bevorzugtenAusführungsformunterzogen.
    [0035] Zunächst wirddie Fehlerbitabbildung 9, die als ein Blockfehler in einerSpaltenrichtung klassifiziert worden ist, in einer Spaltenrichtungin gleiche Abschnitte in bezug auf die bestimmte Anzahl von Spaltenunterteilt. Die Anzahl der Fehlerbits, die in den gleich beziffertenSpalten in sämtlichenAbschnitten existieren, wird gezählt.Beispielsweise wird die Anzahl der Fehlerbits in der fünften Spaltein einem Abschnitt bzw. die Anzahl der Fehlerbits in der fünften Spaltein einem anderen Abschnitt gezählt. Infolgedessenwird die Gesamtzahl der Fehlerbits in bezug auf jede Spalte erhalten.Beispielsweise wird die Fehlerbitabbildung 9 gemäß 3 in vier Abschnitte unterteilt,die jeweils 16 Spalten aufweisen. Die Fehlerbitabbildung 9 istnach der Unterteilung wie in 4A gezeigt.Bei der Fehlerbitabbildung 9 vor der Unterteilung weistein Abschnitt A die erste bis sechzehnte Spalte auf, ein AbschnittB weist die siebzehnte bis zweiunddreißigste Spalte auf, ein AbschnittC weist die dreiunddreißigstebis achtundvierzigste Spalte auf, und ein Abschnitt D weist dieneunundvierzigste bis vierundsechzigste Spalte auf. Dann wird diejeweilige Anzahl der Fehlerbits gezählt, die in der ersten Spaltedes Abschnitts A (der ersten Spalte der Fehlerbitabbildung 9 vorder Unterteilung), in der ersten Spalte des Abschnitts B (der siebzehnten Spalteder Fehlerbitabbildung 9 vor der Unterteilung), in derersten Spalte des Abschnitts C (der dreiunddreißigsten Spalte der Fehlerbitabbildung 9 vorder Unterteilung) und in der ersten Spalte des Abschnitts D (derneunundvierzigsten Spalte der Fehlerbitabbildung 9 vorder Unterteilung) existieren. Die Zahlen werden dann addiert. Inbezug auf die erste Spalte jedes Abschnitts wird bestimmt, daß die Gesamtzahl Nullist. Bei Durchführungder gleichen Berechnung in bezug auf die dritte Spalte wird bestimmt,daß die Gesamtzahl 90 ist.Die jeweilige Anzahl der Fehlerbits, die in der ersten bis sechzehntenSpalte existieren, wird gezählt. 4B zeigt die Anzahl derFehlerbits in jeder Spalte einer Gruppe als ein Aggregat der AbschnitteA bis D.
    [0036] Danachwird der Maximalwert der berechneten Anzahl Fehlerbits in bezugauf jede Spalte der Gruppe bestimmt. Bei Definition einer Hälfte dieses Maximalwertsals Grenzwert werden die berechnete Anzahl der Fehlerbits in jederSpalte der Gruppe und der Grenzwert verglichen. Nach dem Vergleichwird Information überdie Spalte, deren Anzahl Fehlerbits nicht kleiner als der Grenzwertist, als Daten entnommen. Unter Bezugnahme auf 4B ist der Maximalwert 90 alsAnzahl der Fehlerbits in der dritten Spalte, was bedeutet, daß ein Grenzwert 45 ist.Es wird ein Vergleich zwischen dem Grenzwert und der Anzahl derFehlerbits in jeder Spalte durchgeführt. Nach dem Vergleich werdendie dritte, siebte, elfte und fünfzehnteSpalte, bei denen jeweils die Anzahl der Fehlerbits größer alsder Grenzwert ist, als Daten entnommen. Das heißt, nach dem Fehleranalyseverfahrender zweiten bevorzugten Ausführungsform wirddie Fehlerbitabbildung 9 von 3 alsein Blockfehler in einer Spaltenrichtung klassifiziert, der Fehler inder dritten, siebten, elften und fünfzehnten Spalte enthält (nachstehendalternativ als Blockfehler in einer Spaltenrichtung (3, 7, 11, 15)bezeichnet).
    [0037] EineFehlerbitabbildung wird bei Klassifizierung als Blockfehler in einerZeilenrichtung in einer Zeilenrichtung in Abschnitte unterteilt,die jeweils die bestimmte Anzahl Zeilen aufweisen. Ähnlich wiebei dem Blockfehler in einer Spaltenrichtung wird die Anzahl derFehlerbits gezählt,die in den gleich bezifferten Zeilen in sämtlichen Abschnitten existieren.Bei der zweiten bevorzugten Ausführungsformwird der Grenzwert durch Multiplikation des Maximalwerts der Anzahlder Fehlerbits mit 0,5 gewonnen, wobei dieser Multiplikationsfaktorbei der Erfindung nicht darauf beschränkt ist. Ein alternativer Wert,der beispielsweise aus vorher gewonnenen Fehlerdaten abgeleitetist, kann geeignet als ein Faktor bei der Multiplikation des Maximalwertsder Anzahl von Fehlerbits genutzt werden.
    [0038] Wiebeschrieben, weist das Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppenach der zweiten bevorzugten Ausführungsform die folgenden Schritteauf. In einem Schritt wird eine Fehlerbitabbildung, die als einBlockfehler in einer Spalten- oder einer Zeilenrichtung klassifiziertist, in einer Spaltenrichtung oder einer Zeilenrichtung in gleicheAbschnitte in bezug auf die bestimmte Anzahl von Spalten bzw. dieAnzahl von Zeilen unterteilt. In einem weiteren Schritt wird diejeweilige Anzahl von Fehlerbits, die in den gleich bezifferten Spaltenoder Zeilen existieren, gezählt,um die Anzahl der Fehlerbits in jeder Spalte oder jeder Zeile einerGruppe als ein Aggregat der Abschnitte von Spalten oder Zeilen zuberechnen. In noch einem weiteren Schritt wird ein Grenzwert ausdem Maximalwert der Anzahl der Fehlerbits in jeder Spalte oder jederZeile in der Gruppe von Spalten oder Zeilen ermittelt, der Grenzwertund die Anzahl der Fehlerbits in jeder Spalte oder jeder Zeile inder Gruppe von Spalten oder Zeilen werden verglichen, um eine Spalteoder eine Zeile zu extrahieren, deren Anzahl Fehlerbits größer alsder Grenzwert ist. Dies bedeutet, daß Information über den Fehler,der bei dem herkömmlichenVerfahren zur Fehleranalyse nicht klassifiziert werden kann, ingrößeren Einzelheitengegeben werden kann. Infolgedessen kann die Fehleranalyse nach derzweiten bevorzugten Ausführungsformeinen verbesserten Genauigkeitsgrad bei der Fehlerklassifizierungliefern.
    [0039] Wenndas Verfahren zur Fehleranalyse nach der zweiten bevorzugten Ausführungsformauf die Klassifizierung eines Blockfehlers nach der ersten bevorzugtenAusführungsformfolgt, wird das Verfahren zur Fehleranalyse nach einer dritten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung vor dem Verfahren zur Fehleranalyse nach der zweitenbevorzugten Ausführungsformangewandt. Ähnlichwie bei der zweiten bevorzugten Ausführungsform ist die Fehleranalysenach der dritten bevorzugten Ausführungsform auf einen Blockfehlerausgerichtet, der als ein Blockfehler in einer Spaltenrichtung oderin einer Zeilenrichtung bei der ersten bevorzugten Ausführungsformklassifiziert ist. Ein Blockfehler, der als ein beliebiger Blockfehlerklassifiziert ist, wird dem Verfahren zur Fehleranalyse nach derdritten bevorzugten Ausführungsformnicht unterzogen.
    [0040] Diedritte bevorzugte Ausführungsformbezieht sich zunächstauf einen Blockfehler, der als ein Blockfehler in einer Spaltenrichtungklassifiziert ist. Als ein erster Schritt wird eine Fehlerbitabbildungin einer Zeilenrichtung in gleiche Abschnitte in bezug auf die bestimmteAnzahl von Zeilen unterteilt. Dann wird eine Vielzahl von Zeilenjedes Abschnitts zu einer Zeile komprimiert. Das heißt, in jedemAbschnitt wird eine Vielzahl von Bits, die eine Spalte definieren, zueinem Bit komprimiert. Beispielsweise wird die dritte bevorzugteAusführungsformbei der Fehlerbitabbildung 9 von 3 angewandt, deren Einzelheiten nocherläutertwerden. Zunächstwird die Fehlerbitabbildung 9 von 3 in einer Zeilenrichtung in acht gleicheAbschnitte unterteilt, die jeweils acht Zeilen aufweisen. In jedemAbschnitt werden acht Bits, die eine Spalte definieren, zu einemBit komprimiert. Bei Komprimierung von acht Bits zu einem Bit wird dann,wenn zwei oder mehr Fehlerbits in diesen acht Bits existieren, dasBit nach der Komprimierung als ein Fehlerbit dargestellt. Das Ergebniseiner solchen Komprimierung ist in 5A gezeigt.In 5A ist eine Fehlerbitabbildung 10 nachder Komprimierung gezeigt, die 8 Zeilen × 64 Spalten hat.
    [0041] DasVerfahren zur Fehleranalyse nach der zweiten bevorzugten Ausführungsformwird bei der Fehlerbitabbildung nach der Komprimierung angewandt. 5B zeigt die Anzahl derFehlerbits in jeder Spalte einer Gruppe als ein Aggregat der Abschnitte. DerMaximalwert wird aus 5B bestimmt.Bei Definition einer Hälftedieses Maximalwerts als ein Grenzwert werden die Anzahl der Fehlerbitsin jeder Spalte und der Grenzwert verglichen. Nach dem Vergleichwird Information der Spalte, deren Anzahl Fehlerbits nicht kleinerals der Grenzwert ist, als Daten entnommen. Wie 5B zeigt, ist der Maximalwert 26 alsAnzahl von Fehlerbits in der dritten Spalte, was bedeutet, daß ein Grenzwert 13 ist.Es wird ein Vergleich zwischen dem Grenzwert und der Anzahl der Fehlerbitsin jeder Spalte durchgeführt.Nach dem Vergleich werden die dritte, siebte, elfte und fünfzehnteSpalte, deren Anzahl Fehlerbits jeweils größer als der Grenzwert ist,als Daten entnommen. Das heißt,nach dem Verfahren zur Fehleranalyse gemäß der dritten bevorzugten Ausführungsform,das vor der zweiten bevorzugten Ausführungsform durchgeführt wird,wird die Fehlerbitabbildung 9 von 3 ebenfalls als ein Blockfehler in einerSpaltenrichtung (3, 7, 11, 15) klassifiziert.
    [0042] Beider dritten bevorzugten Ausführungsform wirdeine Fehlerbitabbildung degeneriert, indem sie in einer Zeilenrichtungin gleiche Abschnitte in bezug auf die bestimmte Anzahl von Zeilenunterteilt wird. Eine Fehlerbitabbildung kann alternativ komprimiert werden,indem sie in einer Spaltenrichtung in gleiche Abschnitte in bezugauf die bestimmte Anzahl von Spalten unterteilt wird. Im Hinblickauf einen Blockfehler, der als ein Blockfehler in einer Zeilenrichtung klassifiziertist, wird eine Fehlerbitabbildung ebenfalls in einer Zeilenrichtungoder in einer Spaltenrichtung in gleiche Abschnitte in bezug aufdie bestimmte Anzahl von Zeilen oder die bestimmte Anzahl von Spaltenunterteilt, und in jedem Abschnitt werden Bits, die eine Spaltebzw. eine Zeile darstellen, ebenfalls zu einem Bit komprimiert.Bei der dritten bevorzugten Ausführungsformwird dann, wenn zwei oder mehr Fehlerbits in acht Bits existieren,die fürdie Komprimierung vorgesehen sind, das Bit nach der Komprimierungals ein Fehlerbit dargestellt. Ein solches Kriterium ist jedochnicht darauf beschränkt.Ein alternatives Kriterium, das beispielsweise aus vorher gewonnenenFehlerdaten abgeleitet ist, kann geeignet dazu genutzt werden, zubeurteilen, ob das Bit nach dem Degenerieren ein Fehler ist. Beider dritten Ausführungsformwird ferner der Grenzwert durch Multiplikation des Maximalwertsder Anzahl Fehlerbits mit 0,5 gewonnen, wobei dieser Multiplikationsfaktorbei der Erfindung nicht darauf beschränkt ist. Ein alternativer Wert, derbeispielsweise von vorher gewonnenen Fehlerdaten abgeleitet ist,kann geeignet ein Faktor bei der Multiplikation des Maximalwertsder Anzahl Fehlerbits genutzt werden.
    [0043] Wiebeschrieben, weist das Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppenach der dritten bevorzugten Ausführungsform die folgenden Schritteauf. In einem Schritt wird eine Fehlerbitabbildung in einer Zeilenrichtungoder in einer Spaltenrichtung in gleiche Abschnitte in bezug aufdie bestimmte Anzahl von Zeilen bzw. die bestimmte Anzahl von Spaltenunterteilt. In einem weiteren Schritt wird jede Spalte oder jedeZeile in jedem Abschnitt in ein Fehlerbit umgewandelt, wenn jedeSpalte oder jede Zeile die vorbestimmte Anzahl Fehlerbits oder mehrenthält,und jede Spalte oder jede Zeile in jedem Abschnitt wird in ein normalesBit umgewandet, wenn jede Spalte oder jede Zeile eine Anzahl Fehlerbitsenthält,die kleiner als die vorbestimmte Anzahl ist, um eine Fehlerbitabbildungzu bilden, in der Zeilen oder Spalten, die den Abschnitt definieren,zu einer Zeile bzw. einer Spalte komprimiert werden. InfolgedessenkönnenunnötigeStörungenaus dem Ergebnis der herkömmlichenFehlerklassifizierung eliminiert werden, was zu einem verbessertenGenauigkeitsgrad der Fehlerklassifizierung führt.
    [0044] DasVerfahren zur Fehleranalyse der zweiten oder dritten bevorzugtenAusführungsformwird auf die Fehlerbitabbildung 9 in ihrer Gesamtheit angewandt,die einen Blockfehler nach der Klassifizierung bei der ersten bevorzugtenAusführungsform zeigt.Nach einer vierten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wirdbei der Fehlerbitabbildung 9, die bei der ersten bevorzugtenAusführungsformals ein Blockfehler klassifiziert wurde, ein Bereich vorher alsein Zielbereich fürdas Verfahren zur Fehleranalyse nach der zweiten oder dritten bevorzugtenAusführungsformdefiniert. 6 ist eineFehlerbitabbildung 9 nach der vierten bevorzugten Ausführungsform.In bezug auf die Fehlerbitabbildung 9 von 3 ist der Bereich der linken Hälfte, der32 Spalten × 64Zeilen hat, als ein Zielbereich I für die Berechnung definiert, undder Bereich der rechten Hälfte,der 32 Spalten × 64Zeilen hat, ist als ein Bereich II definiert, der von der Berechnungausgenommen ist.
    [0045] DasVerfahren zur Fehleranalyse nach der zweiten oder dritten bevorzugtenAusführungsform wirdnur auf den Bereich I angewandt, der vorher als ein Zielbereichfür dieBerechnung definiert worden ist. Die Erstreckung des Bereichs Iist nicht auf die in 6 gezeigtebeschränkt.Der Bereich I kann sich alternativ beispielsweise auf der Basisvon vorher gewonnenen Fehlerdaten erstrecken.
    [0046] Wiebeschrieben, weist das Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppenach der vierten bevorzugten Ausführungsform ferner den Schrittauf, daß deseine Erstreckung der Fehlerbitabbildung 9 als ein Zielfür dasVerfahren zur Fehleranalyse vorher definiert wird. Infolgedessenist ein Zielbereich fürdas Verfahren zur Fehleranalyse auf eine geringere Erstreckung beschränkt, wasin einer erheblichen Reduzierung der Verarbeitungszeit resultiert.
    [0047] Beieiner fünftenbevorzugten Ausführungsformder Erfindung wird die Periodizität auf der Basis der Informationberechnet, die bei der zweiten oder dritten bevorzugten Ausführungsformgewonnen wurde und die Zeilen oder Spalten bezeichnet, die Fehlerbitsenthalten. Bei der Fehlerbitabbildung 9 von 3 wird bei der zweiten oderdritten bevorzugten Ausführungsformbeurteilt, daß dieFehlerbitabbildung 9 einen Blockfehler in einer Spaltenrichtung (3,7, 11, 15) zeigt, woraus ersichtlich ist, daß die Fehlerbitabbildung 9 eineVier-Spalten-Periodizität derHäufigkeitdes Auftretens von Fehlerbits zeigt. Nach dem Verfahren zur Fehleranalyseder fünften bevorzugtenAusführungsformist es also möglich, denin der Fehlerbitabbildung 9 von 3 gezeigten Blockfehler als einen Blockfehlerin einer Spaltenrichtung zu klassifizieren, der Fehler in der dritten,siebten, elften und fünfzehntenSpalte mit einer Vier-Spalten-Periodizität enthält (nachstehendalternativ als Blockfehler in einer Spaltenrichtung (3, 7, 11, 15mit einer Vier-Spalten-Periodizität) bezeichnet). Im Hinblickauf einen Blockfehler in einer Zeilenrichtung wird auf der Basisder Information, die bei der zweiten oder dritten bevorzugten Ausführungsformgewonnen wurde und die Zeilen bezeichnet, Fehlerbits enthalten,die Periodizitätder Häufigkeit desAuftretens von Fehlerbits in einer Zeilenrichtung berechnet.
    [0048] Wiebeschrieben, weist das Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppenach der fünftenbevorzugten Ausführungsformferner auf den Schritt auf, daß diePeriodizitätder Häufigkeitdes Auftretens von Fehlerbits in einer Spaltenrichtung oder in einerZeilenrichtung in bezug auf eine Fehlerbitabbildung berechnet wird,die einen Fehler zeigt, der als ein Blockfehler in einer Spaltenrichtungoder in einer Zeilenrichtung klassifiziert ist. Infolgedessen werdendie Fehlerklassifizierung und -analyse an einem Blockfehler, derPeriodizitäthat, mit einem hohen Genauigkeitsgrad ausgeführt.
    [0049] 7 ist ein Flußdiagramm,das ein Verfahren zur Fehleranalyse nach der ersten bis fünften bevorzugtenAusführungsformzeigt. Bei Beginn der Fehleranalyse wird die Halbleiterbaugruppe 1 einer Fehlerklassifizierungin den Bitfehler 6, den Zeilenfehler 7 und denBlockfehler 8 unterzogen (Schritt 21). Dann wirdaus dem Ergebnis der Klassifizierung in Schritt 21 derBlockfehler 8 ausgewählt(Schritt 22). Danach wird der ausgewählte Blockfehler 8 der Fehleranalysenach der ersten bevorzugten Ausführungsformunterzogen, um als ein Blockfehler in einer Spaltenrichtung, einBlockfehler in einer Zeilenrichtung oder ein beliebiger Blockfehlerklassifiziert zu werden (Schritt 23).
    [0050] Aufder Basis des Ergebnisses von Schritt 23 wird beurteilt,ob der Blockfehler 8 ein beliebiger Blockfehler ist (Schritt 24).Wenn in Schritt 24 der Blockfehler 8 nicht alsein beliebiger Blockfehler beurteilt wird, wird der ZielbereichI für dieBerechnung in der Fehlerbitabbildung 9 definiert, der sich über einenvorbestimmten Bereich erstreckt (Schritt 25).
    [0051] Danachwird beurteilt, ob die Fehlerbitabbildung 9, die den inSchritt 25 definierten Zielbereich I für die Berechnung aufweist,zu komprimieren ist (Schritt 26). Wenn die Fehlerbitabbildung 9 zukomprimieren ist, wird das Verfahren zur Fehleranalyse nach derdritten bevorzugten Ausführungsformangewandt, um die Fehlerbitabbildung 9 zu komprimieren (Schritt 27).Danach wird die komprimierte Fehlerbitabbildung 9 einemVerfahren zur Fehleranalyse nach der zweiten bevorzugten Ausführungsformunterzogen (Schritt 28). Wenn die Fehlerbitabbildung 9 nichtzu komprimieren ist, wird das Verfahren zur Fehleranalyse nach derzweiten bevorzugte Ausführungsformebenfalls angewandt.
    [0052] Dannwird das in Schritt 28 gewonnene Ergebnis dem Verfahrenzur Fehleranalyse nach der fünftenbevorzugten Ausführungsformunterzogen (Schritt 29). Anschließend wird beurteilt, ob dieFehleranalyse fürsämtlicheBlockfehler 8 in der Halbleiterbaugruppe 1 abgeschlossenist (Schritt 30). Wenn die Fehleranalyse für sämtlicheBlockfehler 8 in der Halbleiterbaugruppe 1 abgeschlossenist, endet die Fehleranalyse. Wenn die Fehleranalyse nicht für sämtlicheBlockfehler 8 abgeschlossen worden ist, wird ein anderervon den in Schritt 23 klassifizierten Blockfehlern 8 ausgewählt. DieserBlockfehler 8 wird dann als ein beliebiger Blockfehlerbeurteilt oder auch nicht (Schritt 24). Wenn der Blockfehler 8 alsein beliebiger Blockfehler beurteilt wird, wird der zu dieser ZeitausgewählteBlockfehler 8 keiner Fehleranalyse unterzogen. Die Fehleranalysegeht zu Schritt 30 weiter.
    [0053] Nacheinem Fehleranalyseverfahren einer sechsten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung werden bei einem Blockfehler, der sowohl Fehlerbits,die eine Periodizitätder Häufigkeitdes Auftretens in einer Spaltenrichtung oder einer Zeilenrichtunghaben, als auch andere Fehlerbits enthält, diese anderen Fehlerbitsbezeichnet. Zunächstwird ein Blockfehler der Fehleranalyse nach der fünften bevorzugtenAusführungsformunterzogen, um Information zu gewinnen, die Zeilen oder Spaltenbezeichnet, die Fehlerbits wie etwa solche mit Periodizität enthalten.Auf der Basis der dadurch gewonnenen Information werden Fehlerbits,die Periodizitäthaben, entfernt. Infolgedessen werden Fehlerbits, die nicht diejenigenmit Periodizitätsind, in einer Fehlerbitabbildung bezeichnet.
    [0054] EinZeilenfehler 13 in einer Zeilenrichtung wird der neunzehntenund zwanzigsten Zeile der Fehlerbitabbildung 9 von 3 überlagert, wobei dieses Ergebnisin 8 als eine Fehlerbitabbildung 11 gezeigtist. Das Verfahren zur Fehleranalyse nach der fünften bevorzugten Ausführungsformwird an der Fehlerbitabbildung 11 durchgeführt, sodaß bestimmtwird, daß dieFehlerbitabbildung 11 einen Blockfehler in einer Spaltenrichtung(3, 7, 11, 15 mit einer Vier-Spalten-Periodizität) zeigt. Auf der Basis diesesErgebnisses werden Fehlerbits aus der Fehlerbitabbildung 11 entfernt,die in der dritten Spalte und den anschließenden gleich davon beabstandetenSpalten mit einer Vier-Spalten-Periodizität existieren, wobei diesesErgebnis in 9 als eineFehlerbitabbildung 12 gezeigt ist. In 9 ist der Zeilenfehler 13 inder neunzehnten und zwanzigsten Zeile gezeigt. Der Zeilenfehler 13 istmit Strichlinien dargestellt, die entfernte Fehlerbits in der drittenSpalte und den anschließendengleich davon beabstandeten Spalten mit einer Vier-Spalten-Periodizität bezeichnen.Nach der herkömmlichenFehlerklassifizierung zum Durchführeneines Vergleichs mit einem bestimmten Muster wird der Zeilenfehler 13 ineiner Zeilenrichtung in der neunzehnten und zwanzigsten Zeile inder Fehlerbitabbildung 12 erkannt.
    [0055] Wiebeschrieben, weist das Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppenach der sechsten bevorzugten Ausführungsform ferner den Schrittauf, daß Fehlerbitsmit einer Periodizitätder Häufigkeitdes Auftretens in einer Spaltenrichtung oder einer Zeilenrichtungaus einer Fehlerbitabbildung entfernt werden. Wenn eine Fehlerbitabbildung sowohlFehlerbits, die eine solche Periodizität haben, als auch andere Fehlerbitsenthält,die den Fehlerbits mit Periodizität überlagert sind, können dieseanderen Fehlerbits der Klassifizierung und Analyse mit einem hohenGenauigkeitsgrad unterzogen werden.
    [0056] Nacheiner Modifikation der sechsten bevorzugten Ausführungsform wird die Fehlerbitabbildung 12 von 9 komplementiert, um eineFehlerbitabbildung 14 zu bilden, die in 10 gezeigt ist. In der Fehlerbitabbildung 12 istder Zeilenfehler 13 mit Strichlinien als ein Ergebnis desEntfernens von Fehlerbits mit Periodizität dargestellt. Es kann sein,daß einsolcher Zeilenfehler beim Erkennen eines Fehlermusters nicht alsder Zeilenfehler 13 gemäß 8 angesehen wird. Infolgedessenwird der Zeilenfehler 13 in der Fehlerbitabbildung 12,der mit Strichlinien dargestellt ist, unter Nutzung von restlichenFehlerbits komplementiert, um einen Zeilenfehler 15 zudefinieren, der mit Vollinien dargestellt ist.
    [0057] Alseine beispielhafte An der Komplementierung werden relativ zu einerSpeicherzelle in dem Zeilenfehler 13, von dem nach Entfernenvon Fehlerbits mit Periodizitätein Fehlerbit entfernt wird, rechts und links fünf Bits gezählt. Wenn diese zehn Bits fünf odermehr Fehlerbits aufweisen, wird diese Speicherzelle als ein Fehlerbiterkannt. Wenn umgekehrt diese zehn Bits weniger als fünf Fehlerbitsaufweisen, wird diese Speicherzelle als ein normales Bit erkannt. DieAn der Komplementierung ist nicht darauf beschränkt, solange sie restlicheFehlerbits nutzt.
    [0058] Wiebeschrieben, weist das Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppenach der sechsten bevorzugten Ausführungsform ferner den Schrittauf, daß aufder Basis von restlichen Fehlerbits eine Datenkomplementierung aneiner Fehlerbitabbildung durchgeführt wird, aus der Fehlerbitsmit Periodizitätentfernt worden sind. Wenn eine Fehlerbitabbildung sowohl Fehlerbitsmit Periodizitätals auch diesen überlagerteandere Fehlerbits enthält, können dieseanderen Fehlerbits der Klassifizierung und Analyse mit einem höheren Genauigkeitsgrad unterzogenwerden.
    [0059] Beieiner siebten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung wird auf der Basis eines Anteils von Fehlerbits ineinem Blockfehler beurteilt, ob ein Blockfehler einem Verfahrenzur Fehleranalyse nach der ersten und den nachfolgenden bevorzugtenAusführungsformenzu unterziehen ist. 11 istein Flußdiagramm,das das Verfahren zur Fehleranalyse nach der siebten bevorzugtenAusführungsformerläutert.
    [0060] BeiBeginn der Fehleranalyse wird die Halbleiterbaugruppe 1 einerFehlerklassifizierung in den Bitfehler 6, den Zeilenfehler 7 undden Blockfehler 8 unterzogen (Schritt 21). Dannwird der Blockfehler 8 aus dem Ergebnis der Klassifizierungin Schritt 21 ausgewählt(Schritt 22). Danach wird ein Anteil von Fehlerbits indem Blockfehler 8 berechnet, und es wird beurteilt, ober einen Wert hat, der nicht kleiner als ein vorbestimmter Wertist (Schritt 31). Wenn ein solcher Anteil einen vorbestimmtenWert oder darüberhat, geht die Fehleranalyse zu Schritt 30 weiter, um zubeurteilen, ob die Fehleranalyse für sämtliche Blockausfälle 8 inder Halbleiterbaugruppe 1 abgeschlossen ist. Wenn beurteiltwird, daß einAnteil von Fehlerbits in dem Blockfehler 8 kleiner alsder vorbestimmte Wert in Schritt 31 ist, wird der ausgewählte Blockfehler 8 einerFehlerklassifizierung nach der ersten bevorzugten Ausführungsformunterzogen, um als ein Blockfehler in einer Spaltenrichtung, ein Blockfehlerin einer Zeilenrichtung oder ein beliebiger Blockfehler klassifiziertzu werden (Schritt 23).
    [0061] Aufder Basis des Ergebnisses von Schritt 23 wird beurteilt,ob der Blockfehler 8 ein beliebiger Blockfehler ist (Schritt 24).Wenn in Schritt 24 der Blockfehler 8 nicht alsein beliebiger Blockfehler beurteilt wird, wird der ZielbereichI für dieBerechnung in der Fehlerbitabbildung 9 definiert, der sich über einenvorbestimmten Bereich erstreckt (Schritt 25).
    [0062] Danachwird beurteilt, ob die Fehlerbitabbildung 9, die den inSchritt 25 definierten Zielbereich I für die Berechnung aufweist,zu komprimieren ist (Schritt 26). Wenn die Fehlerbitabbildung 9 zukomprimieren ist, wird das Verfahren zur Fehleranalyse nach derdritten bevorzugten Ausführungsformangewandt, um die Fehlerbitabbildung 9 zu komprimieren (Schritt 27).Danach wird die komprimierte Fehlerbitabbildung 9 dem Verfahrenzur Fehleranalyse nach der zweiten bevorzugten Ausführungsformunterzogen (Schritt 28). Wenn die Fehlerbitabbildung 9 nicht zukomprimieren ist, wird das Verfahren zur Fehleranalyse nach derzweiten bevorzugten Ausführungsformebenfalls angewandt.
    [0063] Dannwird das in Schritt 28 gewonnene Ergebnis dem Verfahrenzur Fehleranalyse nach der fünftenbevorzugten Ausführungsformunterzogen (Schritt 29). Anschließend wird beurteilt, ob dieFehleranalyse fürsämtlicheBlockfehler 8 in der Halbleiterbaugruppe 1 abgeschlossenist (Schritt 30). Wenn die Fehleranalyse für sämtlicheBlockfehler 8 in der Halbleiterbaugruppe 1 abgeschlossenist, endet die Fehleranalyse. Wenn die Fehleranalyse nicht für sämtlicheBlockfehler 8 abgeschlossen ist, wird ein anderer von denin Schritt 23 klassifizierten Blockfehlern 8 ausgewählt. DieserBlockfehler 8 wird dann als ein beliebiger Blockfehlerbeurteilt oder auch nicht (Schritt 24). Wenn der Blockfehler 8 alsein beliebiger Blockfehler beurteilt wird, wird der zu dieser Zeit ausgewählte Blockfehler 8 keinerFehleranalyse unterzogen. Die Fehleranalyse geht zu Schritt 30 weiter.
    [0064] Wiebeschrieben, weist das Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppenach der siebten bevorzugten Ausführungsform ferner den Schrittdes Berechnens eines Anteils von Fehlerbits auf, die in einer Fehlerbitabbildungenthalten sind. Wenn Fehlerbits einen Anteil haben, der nicht kleiner alsein vorbestimmter Wert ist, entfälltbei der Fehleranalyse das Verfahren zur Fehleranalyse nach der erstenbis fünftenbevorzugten Ausführungsform. Dasheißt,nur der erforderliche Blockfehler kann der Fehleranalyse unterzogenwerden, was in einer erheblichen Reduzierung der Verarbeitungszeitbei der Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppe resultiert.
    [0065] Nacheiner achten bevorzugten Ausführungsformder Erfindung wird der Blockfehler 8, der durch das Verfahrenzur Fehleranalyse nach der zweiten oder dritten bevorzugten Ausführungsform klassifiziertworden ist, einer weiteren detaillierten Klassifizierung unterzogen.Bei der zweiten oder dritten bevorzugten Ausführungsform wird die Fehlerbitabbildung 9 von 3 als ein Blockfehler ineiner Spaltenrichtung (3, 7, 11, 15) klassifiziert. Bei der achtenbevorzugten Ausführungsformwird die Information, die einen Anteil von Fehlerbits oder eineVerteilung von Fehlerbits bezeichnet, ebenfalls genutzt, um eineweitere detaillierte Klassifizierung des Blockfehler 8 durchzuführen.
    [0066] UnterBezugnahme auf die Fehlerbitabbildungen 16, 17 und 18,die in den 12, 13 bzw. 14 gezeigtsind, wird die achte bevorzugte Ausführungsform im einzelnen beschrieben.Nach dem Fehleranalyseverfahren der zweiten oder dritten bevorzugtenAusführungsformwerden die Fehlerbitabbildungen 16, 17 und 18 der 12, 13 und 14 einfachals ein Blockfehler in einer Spaltenrichtung klassifiziert (3, 7,11, 15). Wie aus den 12, 13 und 14 ersichtlich ist, zeigen die Fehlerbitabbildungen 16, 17 und 18 jedochverschiedene Arten von Blockfehlern. Die Fehlerbitabbildung 16 von 12 enthält Zeilenfehler in einer Spaltenrichtung,die durch Vollinien dargestellt sind, wogegen in der Fehlerbitabbildung 17 von 13 Zeilenfehler in einerSpaltenrichtung, die durch Strichlinien dargestellt sind, jeweilseinen Fehlerbitanteil von 50 % relativ zu dem durch Vollinien dargestelltenZeilenfehler haben. In der Fehlerbitabbildung 18 von 14 sind zwei Zeilenfehlervon links durch Vollinien dargestellt, und Zeilenfehler sind durchStrichlinien dargestellt, die mit zunehmender Entfernung von denzwei Zeilenfehlern nach rechts kürzerwerden.
    [0067] Beider achten bevorzugten Ausführungsformwird Information, die einen Anteil von Fehlerbits oder eine Verteilungvon Fehlerbits bezeichnet, ebenfalls genutzt, um eine weitere detaillierteKlassifizierung des Blockfehler 8 durchzuführen. Einebeispielhafte Möglichkeit,die Verteilung von Fehlerbits zu prüfen, ist es zu beurteilen,ob der Blockfehler 8 eine Koinzidenzrate von einem bestimmtenWert oder mehr mit einem vorher angegebenen Muster einer Fehlerbitabbildunghat. Eine solche Prüfungder Verteilung von Fehlerbits kann auf eine alternative Weise durchgeführt werden.
    [0068] Inbezug auf die Fehlerbitabbildung 16 von 12 wird Information, die durch Volliniendargestellte Zeilenfehler bezeichnet, einem Blockfehler in einerSpaltenrichtung (3, 7, 11, 15) hinzuaddiert, so daß die Fehlerbitabbildung 16 alsein Blockfehler in einer Spaltenrichtung klassifiziert wird (Vollinien:3, 7, 11, 15). In bezug auf die Fehlerbitabbildung 17 von 13 wird Information, diedurch Strichlinien dargestellte Zeilenfehler bezeichnet, die jeweilseinen Fehlerbitanteil von 50 % haben, einem Blockfehler in einerSpaltenrichtung (3, 7, 11, 15) hinzuaddiert, so daß die Fehlerbitabbildung 17 alsein Blockfehler in einer Spaltenrichtung klassifiziert wird (Strichlinien (50%): 3, 7, 11, 15). In bezug auf die Fehlerbitabbildung 18 von 14 wird Information, dieZeilenfehler bezeichnet, die eine allmähliche Änderung des Anteils von Fehlerbitszeigen, einem Blockfehler in einer Spaltenrichtung (3, 7, 11, 15)hinzuaddiert, so daß die Fehlerbitabbildung 18 alsein Blockfehler in einer Spaltenrichtung klassifiziert wird (Strichlinien(Abstufung): 3, 7, 11, 15).
    [0069] Wiebeschrieben, weist das Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppenach der achten bevorzugten Ausführungsformferner den Schritt des Klassifizierens eines Blockfehlers mit einerPeriodizitätauf der Basis von Information auf, die einen Anteil von Fehlerbitsund eine Verteilung von Fehlerbits in dem Blockfehler bezeichnet.
    [0070] Infolgedessenkann der Blockfehler genauer klassifiziert werden, was zu einemhohen Genauigkeitsgrad der Fehleranalyse führt.
    [0071] DieErfindung ist zwar im einzelnen gezeigt und beschrieben worden;die vorstehende Beschreibung ist jedoch in jeder Hinsicht beispielhaftund nicht einschränkend.Es versteht sich deshalb, daß zahlreicheModifikationen und Abwandlungen vorgenommen werden können, ohnevom Umfang der Erfindung abzuweichen.
    权利要求:
    Claims (12)
    [1] Verfahren zur Fehleranalyse einer Halbleiterbaugruppe,gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: (a) in einer Fehlerbitabbildung(9), die von einer Halbleiterbaugruppe gewonnen ist, dieeine Vielzahl von in einer Matrix angeordneten Speicherzellen aufweist,Zählender Anzahl von Fehlerbits in bezug auf jede Zeile eines Bereichs,der als ein Blockfehler klassifiziert ist; (b) Zählen derAnzahl von Fehlerbits in bezug auf jede Spalte des Bereichs in derFehlerbitabbildung (9); (c) Ermitteln eines erstenGrenzwerts aus einem Mittelwert der Anzahl von Fehlerbits in bezugauf jede Zeile, um die Anzahl von Fehlerbits in bezug auf jede Zeileund den ersten Grenzwert zu vergleichen; (d) Ermitteln eineszweiten Grenzwerts aus einem Mittelwert der Anzahl von Fehlerbitsin bezug auf jede Spalte, um die Anzahl von Fehlerbits in bezugauf jede Spalte und den zweiten Grenzwert zu vergleichen; (e)nach Schnitt (c) Berechnen eines Mittelwerts eines Ergebnisses desVergleichs in bezug auf jede Zeile als einen Zeilenmittelwert; (f)nach Schritt (d) Berechnen eines Mittelwerts eines Ergebnisses desVergleichs in bezug auf jede Spalte als einen Spaltenmittelwert; (g)Bestimmen, daß dieHalbleiterbaugruppe einen Blockfehler in einer Spaltenrichtung,einen Blockfehler in einer Zeilenrichtung oder einen beliebigen Blockfehlerenthält,wobei der Blockfehler in einer Spaltenrichtung einer Bedingung genügt, daß der Mittelwertder Zeilen größer alsein Wert ist, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Spaltenmit einem vorbestimmten Faktor gewonnen ist, wobei der Blockfehlerin einer Zeilenrichtung einer Bedingung genügt, daß der Mittelwert der Spaltengrößer alsein Wert ist, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Zeilenmit dem vorbestimmten Faktor gewonnen ist, wobei der beliebige Blockfehlerden Bedingungen genügt,daß derMittelwert der Zeilen nicht größer als einWert ist, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Spalten mitdem vorbestimmten Faktor gewonnen ist, und daß der Mittelwert der Spaltennicht größer alsein Wert ist, der durch Multiplikation des Mittelwerts der Zeilenmit dem vorbestimmten Faktor gewonnen ist.
    [2] Verfahren zur Fehleranalyse nach Anspruch 1, fernergekennzeichnet durch die folgenden Schritte: (h) Unterteilender Fehlerbitabbildung (9) in einer Spaltenrichtung, dieals der Blockfehler in einer Spaltenrichtung klassifiziert ist,in gleiche Abschnitte in bezug auf die bestimmte Anzahl von Spalten; (i)Zählender jeweiligen Anzahl von Fehlerbits, die in den gleich beziffertenSpalten in sämtlichenAbschnitten existieren, um die Anzahl von Fehlerbits in jeder Spalteeiner Gruppe als ein Aggregat der Abschnitte von Spalten zu berechnen;und (j) Ermitteln eines dritten Grenzwerts aus einem Maximalwertder Anzahl von Fehlerbits in jeder Spalte der Gruppe, und Vergleichendes dritten Grenzwerts und der Anzahl von Fehlerbits in jeder Spalte,um eine Spalte zu extrahieren, deren Anzahl von Fehlerbits größer alsder dritte Grenzwert ist.
    [3] Verfahren zur Fehleranalyse nach Anspruch 1, fernergekennzeichnet durch die folgenden Schritte: (k) Unterteilender Fehlerbitabbildung (9) in einer Zeilenrichtung, dieals der Blockfehler in einer Zeilenrichtung klassifiziert ist, ingleiche Abschnitte in bezug auf die bestimmte Anzahl von Zeilen; (l)Zählender jeweiligen Anzahl von Fehlerbits, die in den gleich beziffertenZeilen in sämtlichenAbschnitten existieren, um die Anzahl von Fehlerbits in jeder Zeileeiner Gruppe als ein Aggregat der Abschnitte von Zeilen zu berechnen;und (m) Ermitteln eines vierten Grenzwerts aus einem Maximalwertder Anzahl von Fehlerbits in jeder Zeile der Gruppe, und Vergleichendes vierten Grenzwerts und der Anzahl von Fehlerbits in jeder Zeile,um eine Zeile zu extrahieren, deren Anzahl von Fehlerbits größer alsder vierte Grenzwert ist.
    [4] Verfahren zur Fehleranalyse nach Anspruch 2 oder3, ferner gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: (n)nach Schritt (g) Unterteilen der Fehlerbitabbildung (9)in einer Zeilenrichtung in gleiche Abschnitte in bezug auf die bestimmteAnzahl von Zeilen, und (o) in jedem Abschnitt Umwandeln jederSpalte in ein Fehlerbit, wenn die Spalte die vorbestimmte Anzahl vonFehlerbits oder mehr enthält,und Umwandeln jeder Spalte in ein normales Bit, wenn die Anzahlvon Fehlerbits, die die Spalte enthält, kleiner als die vorbestimmteAnzahl ist, um eine Fehlerbitabbildung (10) zu bilden,in der Zeilen, die den Abschnitt definieren, zu einer Zeile komprimiertsind.
    [5] Verfahren zur Fehleranalyse nach Anspruch 2 oder3, ferner gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: (p)nach Schritt (g) Unterteilen der Fehlerbitabbildung (9)in einer Spaltenrichtung in gleiche Abschnitte in bezug auf diebestimmte Anzahl von Spalten, und (q) in jedem Abschnitt Umwandelnjeder Zeile in ein Fehlerbit, wenn die Zeile die vorbestimmte Anzahl vonFehlerbits oder mehr enthält,und Umwandeln jeder Zeile in ein normales Bit, wenn die Anzahl von Fehlerbits,die die Zeile enthält,kleiner als die vorbestimmte Anzahl ist, um eine Fehlerbitabbildungzu bilden, in der Spalten, die den Abschnitt definieren, zu einerSpalte komprimiert sind.
    [6] Verfahren zur Fehleranalyse nach einem der Ansprüche 2 bis5, ferner gekennzeichnet durch den folgenden Schritt: (r) vorherigesDefinieren einer Erstreckung der Fehlerbitabbildung (9)als ein Ziel fürdas Verfahren zur Fehleranalyse.
    [7] Verfahren zur Fehleranalyse nach Anspruch 2, fernergekennzeichnet durch den folgenden Schritt: (s) auf der Basiseines Ergebnisses der Extraktion in Schritt (j), Berechnen der Periodizität der Häufigkeit desAuftretens eines Fehlerbits in einer Spaltenrichtung.
    [8] Verfahren zur Fehleranalyse nach Anspruch 3, fernergekennzeichnet durch den folgenden Schritt: (t) auf der Basiseines Ergebnisses der Extraktion in Schritt (m), Berechnen der Periodizität der Häufigkeit desAuftretens von Fehlerbits in einer Zeilenrichtung.
    [9] Verfahren zur Fehleranalyse nach Anspruch 7 oder8, ferner gekennzeichnet durch den folgenden Schritt: (u) Entfernenvon Fehlerbits mit der Periodizität in einer Spaltenrichtungoder in einer Zeilenrichtung aus der Fehlerbitabbildung (9).
    [10] Verfahren zur Fehleranalyse nach Anspruch 9, fernergekennzeichnet durch den folgenden Schritt: (v) auf der Basisvon restlichen Fehlerbits, Durchführen einer Datenkomplementierungan der Fehlerbitabbildung (12), aus der Fehlerbits mitder Periodizitätin einer Spaltenrichtung oder in einer Zeilenrichtung entfernt wordensind.
    [11] Verfahren zur Fehleranalyse nach einem der Ansprüche 1 bis10, ferner gekennzeichnet durch den folgenden Schritt: (w)vor Schritt (a) Berechnen eines Anteils von Fehlerbits, die in derFehlerbitabbildung (9) enthalten sind, wobei dann, wennder Anteil der Fehlerbits nicht kleiner als ein vorbestimmter Wertist, die Schritte (a) bis (v) entfallen.
    [12] Verfahren zur Fehleranalyse nach Anspruch 7 oder8, ferner gekennzeichnet durch den folgenden Schritt: (x) Klassifizierendes Blockfehler mit der Periodizität in einer Spaltenrichtungoder in einer Zeilenrichtung auf der Basis von Information, dieeinen Anteil von Fehlerbits und eine Verteilung von Fehlerbits indem Blockfehler bezeichnet.
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    JP2004355717A|2004-12-16|
    US20040243891A1|2004-12-02|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2004-12-23| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2006-10-12| 8130| Withdrawal|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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