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    • 专利摘要:
    Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Regenerierung von alkalischen cyanidfreien zink- und nickelhaltigen Elektrolytbädern zur stromlosen Metallisierung. Das erfindungsgemäße Verfahren weist die Schritte: Ableiten zumindest eines Teilstroms des Elektrolyten aus dem Prozeßbehälter in eine Regenerationseinheit, Regenerierung des abgeleiteten Elektrolytstroms und Rückführung des regenerierten Elektrolytstroms in den Prozeßbehälter auf, wobei die Regenerierungseinheit eine Dialyse- und/oder Elektrodialyseeinheit mit einer anionenselektiven Membran aufweist und in welcher die bei dem Prozeß der stromlosen Metallisierung entstehenden Anionen gegen Hydroxidionen ausgetauscht werden. Der so regenerierte Elektrolytstrom kann um die verbrauchten Komponenten ergänzt werden.The present invention relates to a process for the regeneration of alkaline cyanide-free zinc and nickel-containing electrolyte baths for electroless metallization. The inventive method comprises the steps of: deriving at least a partial stream of the electrolyte from the process vessel in a regeneration unit, regeneration of the derived electrolyte flow and return of the regenerated electrolyte flow in the process vessel, wherein the regeneration unit comprises a dialysis and / or electrodialysis unit with an anion-selective membrane and in which the anions formed in the process of electroless metallization are exchanged for hydroxide ions. The thus regenerated electrolyte flow can be supplemented by the consumed components.
    公开号:DE102004002778A1
    申请号:DE102004002778
    申请日:2004-01-20
    公开日:2005-08-11
    发明作者:Hubertus F.A.M. Van Dun；Axel Dr. König；Andreas Dr. Möbius
    申请人:Enthone Inc；
    IPC主号:C23C18-54
    专利说明:
    [0001] Dievorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Instandhaltungvon Metallisierungsbädernin der Galvanotechnik. Insbesondere betrifft die Erfindung Verfahrenzur Instandhaltung von Metallisierungsbädern bei der stromlosen Abscheidungvon Metallen.TheThe present invention relates to a method of maintenanceof metallization bathsin electroplating. In particular, the invention relates to methodsfor the maintenance of metallization baths during electroless depositionof metals.
    [0002] Beider außenstromlosenAbscheidung von Metallen wie z. B. die außenstromlose, chemische Abscheidungvon Kupfer aus entsprechenden Elektrolyten wird dem Elektrolytenein Reduktionsmittel zugesetzt, welches als innere Spannungsquelledie Abscheidung des Metalls ermöglicht.atthe no-currentDeposition of metals such. As the electroless, chemical depositionof copper from corresponding electrolyte becomes the electrolytea reducing agent added, which as an internal voltage sourceallows the deposition of the metal.
    [0003] Dasgrundlegende Prinzip der außenstromlosenMetallabscheidung sei hier am Beispiel eines Kupferelektrolytenerläutert.Thebasic principle of the electrolessMetal deposition is the example of a copper electrolyteexplained.
    [0004] Inder Regel enthalten Elektrolyten zur außenstromlosen, chemischen Kupferabscheidung komplex-oder chelatgebundene Kupferionen wie z. B. Kupfertartratkomplexeoder Kupfer-EDTA-Chelate. Als Reduktionsmittel dient in der RegelFormaldehyd oder ein vergleichbares Reduktionsmittel, welches infolgeeiner Oxidationsreaktion zum Formiat bzw. dem entsprechenden Aniondie zur Reduktion des Kupfers notwendigen Elektronen liefert.Inusually contain electrolytes for electroless, chemical copper deposition complexor chelated copper ions such as. B. copper tartrate complexesor copper EDTA chelates. As a reducing agent is usually usedFormaldehyde or a comparable reducing agent, due toan oxidation reaction to the formate or the corresponding anionprovides the necessary for the reduction of copper electrons.
    [0005] Formaldehydist jedoch nur im hochalkalischen pH-Bereich von ca. pH 11 bis pH14 in der Lage auf zweiwertige Kupferionen, wie sie in der Regelin Elektrolyten zur außenstromlosenAbscheidung von Kupfer verwendet werden, als ausreichend starkesReduktionsmittel zu wirken und eine Metallabscheidung zu ermöglichen.Daraus folgt, daß die Kupferionenin dem Elektrolyten so stark komplexiert oder chelatisiert vorliegen,daß siekeine schwer löslichenMetallhydroxide bilden können.formaldehydeHowever, it is only in the highly alkaline pH range of about pH 11 to pH14 capable of divalent copper ions, as they usually doin electrolytes for external powerlessDeposition of copper can be used as sufficiently strongTo act reducing agent and to enable metal deposition.It follows that the copper ionsin the electrolyte are so complexed or chelated,that shenot difficult to dissolveMetal hydroxides can form.
    [0006] Darüber hinauswird Kupfer in der Regel in Form von Sulfaten in den Elektrolyteneingebracht. Als Folge der Reaktion der zweiwertigen Kupferionen zuelementarem Kupfer reichert sich der Elektrolyt mit Sulfatanionenan. Diese Anreicherung an Sulfatanionen in Kombination mit der durchdie Oxidation des Formaldehyds hervorgerufenen Konzentrationserhöhung vonFormiatanionen führtzu einer Absenkung des pH-Wertes. Um den Elektrolyten weiterhin ineinem arbeitsfähigenpH-Bereich zu halten, werden diesem Alkalihydroxide wie Natriumhydroxidzugesetzt. Darüberhinaus werden dem Elektrolyten die verbrauchten Mengen Kupfersulfatund Formaldehyd nachdosiert. Infolge des zuvor beschriebenen verändern sichsomit die chemischen und physikalischen Eigenschaften des Elektrolyten,was zu einer begrenzten Haltbarkeit und Verwendbarkeit des gleichenführt.FurthermoreCopper is usually in the form of sulfates in the electrolytebrought in. As a result of the reaction of divalent copper ions tooelemental copper, the electrolyte accumulates with sulfate anionsat. This accumulation of sulfate anions in combination with bythe oxidation of the formaldehyde caused increase in concentration ofFormiatanionen leadsto a lowering of the pH. To continue the electrolyte ina workable personpH range, these are alkali metal hydroxides such as sodium hydroxideadded. About thatIn addition, the electrolyte consumes the consumed amounts of copper sulfateand formaldehyde replenished. As a result of the above described changethus the chemical and physical properties of the electrolyte,resulting in a limited shelf life and usability of the sameleads.
    [0007] StromlosNickelbäderarbeiten zumeist im sauren pH-Bereich. Dort ist die Badinstandhaltung mittelsElektrodialyse bereits aus den Dokumenten EP 1 239 057 A1 , DE 198 49 278 C1 und EP 0 787 829 A1 bekannt.Die dort beschriebene Prozeßführung unddie Kombination der Verfahren und Membranen lassen sich allerdingsnicht fürstromlos Kupfer oder andere im alkalischen arbeitenden stromlose Metallisierungsbäder einsetzen.Electroless nickel baths usually work in the acidic pH range. There, the Badinstandhaltung by electrodialysis is already out of the documents EP 1 239 057 A1 . DE 198 49 278 C1 and EP 0 787 829 A1 known. However, the process described there and the combination of methods and membranes can not be used for electroless copper or other working in alkaline electroless metallization.
    [0008] DerErfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Verfügung zustellen, welches in der Lage ist, die oben genannten Nachteile zu überwindenund eine längereBenutzungsdauer und Betriebsfähigkeiteines Elektrolyten zur stromlosen Abscheidung von Metallen zu gewährleisten.Of theInvention is therefore the object of a method availablewhich is able to overcome the above-mentioned disadvantagesand a longer oneDuration of use and operabilityto ensure an electrolyte for electroless deposition of metals.
    [0009] Gelöst wirddiese Aufgabe erfindungsgemäß durchein Verfahren zur Regenerierung von Elektrolytbädern zur stromlosen Metallisierungmittels der Verfahrensschritte a) Ableitenzumindest eines Teilstroms des Elektrolyten aus dem Prozeßbehälter, b) Regenerierung des abgeleiteten Elektrolytstroms, c) Zugabe der im Metallisierungsprozeß verbrauchten Komponentenund d) Rückführung desregenerierten Elektrolytstroms in den Prozeßbehälter, dadurch gekennzeichnet,daß zurRegenerierung der abgeleitete Teilstrom einer Dialyse- und/oder Elektrodialyseeinheitzugeführtwird, in welcher die beim stromlosen Metallisierungsprozeß freigesetzten Anionen über eineionenselektive Membran ausgetauscht werden.This object is achieved according to the invention by a process for the regeneration of electrolytic baths for electroless metallization by means of the process steps a) deriving at least one substream of the electrolyte from the process vessel, b) regeneration of the derived electrolyte flow, c) adding the consumed in the metallization process components and d) recycling the regenerated electrolyte flow into the process vessel, characterized in that for the regeneration of the derived partial flow of a dialysis and / or electrodialysis unit is supplied, in which the anions released during the electroless metallization process are exchanged via an ion-selective membrane.
    [0010] VorteilhafterWeise werden im erfindungsgemäßen Verfahrendie im Metallisierungsprozeß freigesetztenAnionen in der Dialyse- und/oder Elektrodialyseeinheit gegen Hydroxidionenausgetauscht.FavorableWise way in the process according to the inventionreleased in the metallization processAnions in the dialysis and / or electrodialysis unit against hydroxide ionsreplaced.
    [0011] Zudiesem Zweck weist die Dialyse- und/oder Elektrodialyseeinheit imerfindungsgemäßen Verfahrenvorteilhafter Weise eine anionenselektive Membran auf.ToFor this purpose, the dialysis and / or electrodialysis unit ininventive methodadvantageously an anion-selective membrane.
    [0012] AlsGegenlösungzur Dialyse und/oder Elektrodialyse des Elektrolyten können imerfindungsgemäßen Verfahrenalkali- und/oder erdalkalihydroxid-haltige Lösungen eingesetzt werden.Whenagainst solutionfor dialysis and / or electrodialysis of the electrolyte can ininventive methodalkali and / or alkaline earth metal hydroxide-containing solutions are used.
    [0013] Einsolches Verfahren eignet sich fürElektrolyten zur stromlosen Abscheidung von Kupfer, Nickel, ternäre Nickellegierungenund Gold.Onesuch method is suitable forElectrolytes for electroless deposition of copper, nickel, ternary nickel alloysand gold.
    [0014] Diemittels der Dialyse und/oder Elektrodialyse auszutauschenden IonenkönnenSulfationen, Formiationen, Hypophosphitionen, Phosphitionen, Phosphationen,Chloridionen, u. a. gut löslicheAnionen sein.Theby means of dialysis and / or electrodialysis ions to be exchangedcanSulfate ions, formations, hypophosphite ions, phosphites, phosphate ions,Chloride ions, u. a. good solubleBe anions.
    [0015] Ineiner weiteren Ausbildungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens können dieals Gegenlösungim Dialyse- und/oder Elektrodialyseprozeß eingesetzten alkali- und/oder erdalkalihydroxid-haltigen Lösungen nachdem Dialyseprozeß regeneriertwerden. Dies kann erfindungsgemäß durchgeeignete Oxidationsmittel geschehen. Im Anschluß an eine solche Regenerationkönnendie alkali- und/oder erdalkalihaltigen Lösungen ggf. aufkonzentriertwerden.Ina further embodiment of the method according to the invention, theas a counter-solutionin the dialysis and / or Elektrodialyseprozess used alkaline and / or alkaline earth metal hydroxide-containing solutions afterregenerated the dialysis processbecome. This can according to the inventionsuitable oxidizing agents happen. Following such a regenerationcanIf necessary, the solutions containing alkali and / or alkaline earth are concentratedbecome.
    [0016] Eineweitere Möglichkeitim erfindungsgemäßen Verfahrendie eingesetzten Alkali- und/oderErdalkalilösungenzu regenerieren, ist die Fällungder im Dialyse- und/oderElektrodialyseprozeß aufgenommenenAnionen als schwer löslicheSalze. Ein solches Salz kann im Fall der Sulfationen zum Beispiel schwerlöslichesBariumsulfat sein, welches durch Zugabe von Bariumhydroxid zu denzu regenerierenden alkali- und/oder erdalkalihydroxid-haltigen Gegenlösungen derDialyse- und/oder Elektrodialyseprozesse ausgefällt werden kann. Andere geeignete Salzesind z. B. Calciumhydroxid oder allgemein andere mit Sulfaten schwerlösliche Verbindungenbildende Substanzen.Aanother possibilityin the process according to the inventionthe alkali and / oralkaline-earthto regenerate is the precipitationin dialysis and / orElectrodialysis process recordedAnions as sparingly solubleSalts. Such a salt may be difficult in the case of sulfate ions, for examplesolubleBarium sulfate, which by addition of barium hydroxide to theto be regenerated alkali and / or alkaline earth metal hydroxide-containing counter solutions ofDialysis and / or electrodialysis processes can be precipitated. Other suitable saltsare z. As calcium hydroxide or generally other sparingly soluble with sulfates compoundsforming substances.
    [0017] Formiationenkönnendurch geeignete Oxidationsmittel zur Regeneration der Gegenlösungen inCO2 und Wasser umgesetzt werden. Geeignete Oxidationsmittelfür einesolche Reaktion sind Wasserstoffperoxid, Peroxidsulfate oder dasals Caroat bekannte Produkt der Firma Degussa.Formations can be converted by suitable oxidizing agents for the regeneration of the counter solutions in CO 2 and water. Suitable oxidizing agents for such a reaction are hydrogen peroxide, peroxide sulfates or the product known as caroate from Degussa.
    [0018] Voraussetzungfür dieAnwendung eines Dialyse- und/oder Elektrodialyseverfahrens zur Regenerationvon Elektrolyten zur außenstromlosenAbscheidung von Metallen ist die Verwendung von anionenselektivenMembranen in den Dialyse- und/oder Elektrodialyseschritten.requirementfor theApplication of a dialysis and / or electrodialysis process for regenerationfrom electrolytes to electrolessDeposition of metals is the use of anion selectiveMembranes in the dialysis and / or electrodialysis steps.
    [0019] Geeigneteanionenselektive Membranen für einerfindungsgemäßes Verfahrensind zum Beispiel handelsüblichemono- und bivalente Anionenaustauschermembranen der Firmen TokuyamaSoda Co. Ltd.; Asaki Glass Co. Ltd., Purolite International, PolymerchemieAltmeier oder Reichelt Chemietechnik.suitableanion-selective membranes for ainventive methodare for example commercially availablemono- and bivalent anion exchange membranes from TokuyamaSoda Co. Ltd .; Asaki Glass Co. Ltd., Purolite International, Polymer ChemistryAltmeier or Reichelt chemical engineering.
    [0020] DasAnlegen eines elektrischen Feldes im Dialyseschritt des erfindungsgemäßen Verfahrens beschleunigtden Trennungsvorgang vorteilhaft.TheApplying an electric field accelerates in the dialysis step of the method according to the inventionthe separation process advantageous.
    [0021] Prinzipiellkönnensowohl beim Einsatz einer Dialysestufe als auch beim Einsatz einerElektrodialysestufe der zu regenerierende Elekrolyt und die alkali-und/oder erdalkalihaltige Gegenlösungim Gleich- wie auch im Gegenstrom geführt werden.in principlecanboth when using a dialysis stage as well as when using aElectrodialysis step the electrolyte to be regenerated and the alkalineand / or alkaline earth-containing counter solutionbe conducted in cocurrent as well as in countercurrent.
    [0022] 1 zeigtein konventionelles Verfahren zur stromlosen Metallisierung vonSubstraten. Im Fall einer stromlosen Kupferabscheidung auf einemSubstrat (3) zum Erhalt eines metallisierten Substrats(7) wird dem Elektrolyten (4) ein Teilstrom (5)entnommen, welcher in Abhängigkeitder verbrauchten Menge an Metallionen und Reduktionsmittel mit zumBeispiel Kupfersulfat (1) und Formaldehyd (2)angereichert wird und dem Elektrolyten (4) wieder zugeführt wird.Der Elektrolyt (4) reichert sich im Laufe des Verfahrensmit Formiat- und Sulfationen (6) an. 1 shows a conventional method for electroless metallization of substrates. In the case of electroless copper deposition on a substrate ( 3 ) to obtain a metallized substrate ( 7 ) is added to the electrolyte ( 4 ) a partial flow ( 5 ), which, depending on the consumed amount of metal ions and reducing agent with, for example, copper sulfate ( 1 ) and formaldehyde ( 2 ) and the electrolyte ( 4 ) is returned. The electrolyte ( 4 ) accumulates in the course of the process with formate and sulfate ions ( 6 ) at.
    [0023] 2 zeigtdas erfindungsgemäße Verfahrenzur Regeneration von Elektrolyten zur stromlosen Abscheidung vonMetallen. Dem Elektrolyten (4) wird ein Teilstrom, zumBeispiel übereine Pumpe (8), entnommen und einer Dialyse- und/oder Elektrodialyseeinheit(11) zugeführt.Die Dialyse- und/oder Elektrodialyseeinheit weist anionenselektiveMembranen (19) auf. Die Gegenlösung zur Dialyse/Elektrodialyse (9)wird gleichfalls zum Beispiel übereine Pumpe (8) der Dialyse- und/oder Elektrodialyseeinheit(11) zugeführt.Dies kann im Gleich- oder auch Gegenstrom zum zu regenerierendenElektrolyten (4) geschehen. Der abgezweigte Elektrolytteilstrom(5) wird im Anschluß andie Regeneration in der Dialyse- und/oder Elektrodialyseeinheit(11) wieder mit Metallionen und Reduktionsmitteln angereichert.Dies könnenzum Beispiel Kupfersulfat (1) und Formaldehyd (2)sein. Im Fall von Kupfersulfat und Formaldehyd werden durch dieGegenlösung(9) in der Dialyse- und/oder Elektrodialyseeinheit (11) über dieanionenselektive Membran (19) Formiat- und Sulfationenaufgenommen. Zur Regeneration der Gegenlösung können nun dieser zur Sulfatfällung (13)Fällungsmittel(12) wie zum Beispiel Bariumhydroxid zugesetzt werden. DiegefälltenSulfate (14) könnenabgetrennt werden. Die in die Gegenlösung aufgenommenen Formiationenkönnendurch Zugabe von Oxidationsmitteln (15) in einer Oxidation(16) zu Kohlendioxid (17) und Wasser umgesetztwerden. Die regenerierte Gegenlösung(18) kann unter Zugabe von Alkali- und/oder Erdalkalihydroxiden(10) rückgeführt werden. 2 shows the inventive method for the regeneration of electrolytes for electroless deposition of metals. The electrolyte ( 4 ) is a partial flow, for example via a pump ( 8th ) and a dialysis and / or electrodialysis unit ( 11 ). The dialysis and / or electrodialysis unit has anion-selective membranes ( 19 ) on. The counter-solution to dialysis / electrodialysis ( 9 ) is also, for example, via a pump ( 8th ) of the dialysis and / or electrodialysis unit ( 11 ). This can be in cocurrent or countercurrent to the electrolyte to be regenerated ( 4 ) happen. The branched electrolyte partial flow ( 5 ) after regeneration in the dialysis and / or electrodialysis unit ( 11 ) enriched again with metal ions and reducing agents. These can be, for example, copper sulphate ( 1 ) and formaldehyde ( 2 ) be. In the case of copper sulphate and formaldehyde, the counter-solution ( 9 ) in the dialysis and / or electrodialysis unit ( 11 ) via the anion-selective membrane ( 19 ) Formate and sulfate ions. For the regeneration of the counter-solution, this can now be used for sulfate precipitation ( 13 ) Precipitant ( 12 ) such as barium hydroxide may be added. The precipitated sulphates ( 14 ) can be separated. The formations taken up in the counter solution can be replaced by the addition of oxidizing agents ( 15 ) in an oxidation ( 16 ) to carbon dioxide ( 17 ) and water are reacted. The regenerated counter-solution ( 18 ) can be added with the addition of alkali and / or alkaline earth hydroxides ( 10 ) are returned.
    11 ZugabeKupfersulfatencorecopper sulphate 22 ZugabeFormaldehydencoreformaldehyde 33 zumetallisierendes Substrattometallizing substrate 44 Elektrolytzur stromlosen Kupferabscheidungelectrolytefor electroless copper deposition 55 Teilstrompartial flow 66 Anreicherungan Formiat- und Sulfationenenrichmenton formate and sulfate ions 77 metallisiertesSubstratmetallizedsubstratum 88th Pumpepump 99 Gegenlösung zurDialyse/ElektrodialyseCounter-solution toDialysis / electrodialysis 1010 Alkali-/ErdalkalihydroxidzugabeAlkali / Erdalkalihydroxidzugabe 1111 Dialyse/ElektrodialyseeinheitDialysis / electrodialysis unit 1212 ZugabeFällungsmittelencoreprecipitant 1313 Sulfatfällungsulfate precipitation 1414 gefällte Sulfateprecipitated sulphates 1515 ZugabeOxidationsmittelencoreoxidant 1616 Oxidationder Formiationenoxidationthe formations 1717 Kohlendioxidcarbon dioxide 1818 Rückführung regenerierteGegenlösungRegeneration regeneratedagainst solution 1919 anionenselektiveMembrananionmembrane
    权利要求:
    Claims (12)
    [1]
    Verfahren zur Regenerierung von zur stromlosenMetallisierung eingesetzten Elektrolytbädern mittels der Verfahrensschritte: a)Ableiten zumindest eines Teilstroms des Elektrolyten aus dem Prozeßbehälter, d)Regenerierung des abgeleiteten Elektrolytstroms, e) Zugabeder im Metallisierungsprozeß verbrauchtenKomponenten und d) Rückführung desregenerierten Elektrolytstroms in den Prozeßbehälter, dadurch gekennzeichnet,daß zurRegenerierung der abgeleitete Teilstrom einer Dialyse- und/oderElektrodialyseeinheit zugeführtwird, in welcher die beim stromlosen Metallisierungsprozeß freigesetztenAnionen übereine ionenselektive Membran ausgetauscht werden.Process for the regeneration of electrolytic baths used for electroless metallization by means of the process steps: a) deriving at least a partial flow of the electrolyte from the process vessel, d) regeneration of the derived electrolyte flow, e) addition of the components consumed in the metallization process and d) recycling of the regenerated electrolyte flow into the process vessel , characterized in that for the regeneration of the derived partial flow of a dialysis and / or electrodialysis unit is supplied, in which the anions released during the electroless plating process are exchanged via an ion-selective membrane.
    [2]
    Verfahren gemäß Anspruch1, dadurch gekennzeichnet, daß dieim Metallisierungsprozeß freigesetztenAnionen gegen Hydroxidionen ausgetauscht werden.Method according to claim1, characterized in that thereleased in the metallization processAnions are exchanged for hydroxide ions.
    [3]
    Verfahren gemäß mindestenseinem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, daß dieDialyse- und/oder Elektrodialyseeinheit eine anionenselektive Membranaufweist.Process according to at leastone of the preceding claims,characterized in that theDialysis and / or electrodialysis unit an anion-selective membranehaving.
    [4]
    Verfahren gemäß mindestenseinem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, daß alsGegenlösungzur Dialyse und/oder Elektrodialyse des Elektrolyten eine alkali-und/oder erdalkalihydroxidhaltige Lösung eingesetzt wird.Process according to at leastone of the preceding claims,characterized in that asagainst solutionfor dialysis and / or electrodialysis of the electrolyte, an alkalineand / or erdalkalihydroxidhaltige solution is used.
    [5]
    Verfahren gemäß mindestenseinem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennezeichnet, daß essich bei dem stromlos abgeschiedenen Metall um mindestens ein Metallder Gruppe bestehend aus Kupfer, Nickel, ternäre Nickellegierung, Gold, handelt.Process according to at leastone of the preceding claims,characterized in that itin the electrolessly deposited metal to at least one metalthe group consisting of copper, nickel, ternary nickel alloy, gold.
    [6]
    Verfahren gemäß mindestenseinem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, daß essich bei den im Dialyse- und/oder Elektrodialyseprozeß auszutauschendenIonen um mindestens ein Ion der Gruppe bestehend aus Sulfationen,Formiationen, Hypophosphitionen, Phospitionen, Phosphationen, undChloridionen handelt.Process according to at leastone of the preceding claims,characterized in that itto be exchanged in the dialysis and / or electrodialysis processIons around at least one ion of the group consisting of sulfate ions,Formations, hypophosphites, phosphations, phosphate ions, andChloride ions act.
    [7]
    Verfahren gemäß mindestenseinem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, daß dieim Dialyse- und/oder Elektrodialyseprozeß eingesetzte alkali- und/odererdalkalihydroxidhaltige Lösungin der Dialyse- und/oderElektrodialyseeinheit im Gegenstrom oder Gleichstrom zum zu regenerierendenElektrolyten geführtwird.Process according to at leastone of the preceding claims,characterized in that theused in the dialysis and / or electrodialysis alkali and / oralkaline earth metal hydroxide-containing solutionin the dialysis and / orElectrodialysis unit in countercurrent or direct current to be regeneratedLed electrolytebecomes.
    [8]
    Verfahren gemäß mindestenseinem der vorhergehenden Ansprüche,dadurch gekennzeichnet, daß dieim Dialyse- und/oder Elektrodialyseprozeß eingesetzte alkali- und/odererdalkalihydroxidhaltige Lösungnach dem Dialyseprozeß regeneriertwird.Process according to at leastone of the preceding claims,characterized in that theused in the dialysis and / or electrodialysis alkali and / oralkaline earth metal hydroxide-containing solutionregenerated after the dialysis processbecomes.
    [9]
    Verfahren gemäß Anspruch7, dadurch gekennzeichnet, daß dieim Dialyse- und/oderElektrodialyseprozeß eingesetztealkali- und/oder erdalkalihaltige Lösung durch geeignete Oxidationsmittelregeneriert und im Anschluß gegebenenfallsaufkonzentriert wird.Method according to claim7, characterized in that thein dialysis and / orElectrodialysis process usedalkali and / or alkaline earth-containing solution by suitable oxidizing agentsregenerated and subsequently, if necessaryis concentrated.
    [10]
    Verfahren gemäß Anspruch8, dadurch gekennzeichnet, daß zurOxidation der alkali- und/oder erdalkalihydroxidhaltigen Lösung mindestensein Oxidationsmittel der Gruppe bestehend aus Wasserstoffperoxid,Perodixsulfaten oder Caroat eingesetzt wird.Method according to claim8, characterized in that theOxidation of the solution containing alkali and / or alkaline earth metal hydroxide at leastan oxidizing agent of the group consisting of hydrogen peroxide,Perodixsulfates or caroate is used.
    [11]
    Verfahren gemäß Anspruch7, dadurch gekennzeichnet, daß dieim Dialyse- und/oderElektrodialyseprozeß eingesetztealkali- und/oder erdalkalihydroxidhaltige Lösung durch Fällung derim Dialyse- und/oder Elektrodialyseprozeß aufgenommenen Anionen alsschwer löslicheSalze regeneriert und gegebenenfalls aufkonzentriert wird.Method according to claim7, characterized in that thein dialysis and / orElectrodialysis process usedalkali and / or alkaline earth metal hydroxide-containing solution by precipitation ofin the dialysis and / or electrodialysis process recorded anions assparingly solubleSalts regenerated and optionally concentrated.
    [12]
    Verfahren gemäß Anspruch10, dadurch gekennzeichnet, daß zurFällungder im Dialyse- und/oder Elektrodialyseprozeß aufgenommenen Anionen alsschwer löslicheSalze mindestens eine Substanz der Gruppe bestehend aus Bariumhydroxid,Calciumhydroxid oder anderen mit Sulfaten schwerlösliche Verbindungenbildenden Substanzen eingesetzt wird.Method according to claim10, characterized in that theprecipitationthe anions taken up in the dialysis and / or electrodialysis process assparingly solubleSalts at least one substance of the group consisting of barium hydroxide,Calcium hydroxide or other sulphate sparingly soluble compoundsforming substances is used.
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    DE102018008312A1|2018-10-22|2020-04-23|RIAG Oberflächentechnik AG|Verfahren zur Beschichtung von Substratoberflächen, Vorrichtung mit Beschichtungsbad, Dichtemesseinrichtung, Entnahmeeinrichtung, Zugabeeinrichtungen und Steuerung|
    法律状态:
    2005-08-11| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
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    2016-04-05| R082| Change of representative|Representative=s name: MICHALSKI HUETTERMANN & PARTNER PATENTANWAELTE, DE |
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    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DE102004002778.1A|DE102004002778C5|2004-01-20|2004-01-20|Process for the regeneration of metallization baths|DE102004002778.1A| DE102004002778C5|2004-01-20|2004-01-20|Process for the regeneration of metallization baths|
    EP05000435A| EP1557482B1|2004-01-20|2005-01-12|Verfahren zur Instandhaltung von Metallisierungsbädern|
    ES05000435T| ES2386444T3|2004-01-20|2005-01-12|Procedure for the maintenance of metallic baths|
    JP2005008890A| JP2005206945A|2004-01-20|2005-01-17|How to preserve the plating bath|
    US11/039,088| US8057678B2|2004-01-20|2005-01-19|Maintenance of metallization baths|
    KR1020050004964A| KR20050076668A|2004-01-20|2005-01-19|도금조를 유지하기 위한 방법|
    CNB2005100038620A| CN100434567C|2004-01-20|2005-01-19|保持金属化熔池的方法|
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