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    • 专利摘要:
    Ein Kontaktstellen- bzw. Pad-Beschichtungssystem enthält einen Ultraviolett(UV)-Quellenabschnitt, welcher erste Steuerschalter enthält und welcher UV-Licht während eines Pad-Beschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein UV-Quellenöffnungs-/-Schließsignal abstrahlt, sowie einen Dispenser, welcher zweite Steuerschalter enthält und welcher eine Beschichtungsflüssigkeit während des Pad-Beschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein Beschichtungsbedingungserkennungssignal ausgibt, und einen Prober enthält, welcher das UV-Quellenöffnungs-/-Schließsignal und das Beschichtungsbedingungserkennungssignal erzeugt und welcher den Pad-Beschichtungsbetrieb steuert. Die Betriebszustände der ersten und zweiten Schalter werden überwacht und der Pad-Beschichtungsbetrieb wird gestoppt, falls der Betriebszustand von zumindest einem der ersten und zweiten Schalter nicht auf einen gewünschten Zustand eingestellt ist.
    公开号:DE102004002417A1
    申请号:DE200410002417
    申请日:2004-01-16
    公开日:2004-08-05
    发明作者:Soo-Min Suwon Byun；In-Seok Hwang；Byoung-Joo Kim
    申请人:Samsung Electronics Co Ltd；
    IPC主号:B05C5-00
    专利说明:
    [0001] Die vorliegende Erfindung betrifftein Kontaktstellenbeschichtungssystem und insbesondere betrifftdie vorliegende Erfindung ein Chip-Kontaktstellenbeschichtungssystemund ein Sperrverfahren dafür,das ein Interruptsignal erzeugt, wenn ein Fehler auftritt.
    [0002] Es wird die Priorität der koreanischenPatentanmeldung 2003-3091, angemeldet am 16. Januar 2002, in Anspruchgenommen, deren Inhalt hierin voll umfänglich durch Bezugnahme mitoffenbart ist.
    [0003] Ein Wafer mit darauf ausgebildetenSchaltkreisen (Chips) wird typischerweise durch Anlegen von Adress-und Taktpulssignalen, die von den Prüfpins einer Prüfvorrichtungstammen, an die Adress- und Taktkontaktstellen der Chips auf demWafer getestet. Die Test- bzw. Prüfsignale werden gleichzeitig andie entsprechenden Kontaktstellen (nachfolgend auch als Pads bezeichnet)von mehreren Chips auf dem Wafer angelegt.
    [0004] Aufgrund der Beschränkungenbei dem Herstellungsverfahren sind die Chips, die in der Nähe des Waferrandesangeordnet sind, unvollständig ausgebildetund daher nicht funktionell. Folglich kann ein Kurzschluß zwischenden Adress- und Takt-Pads der unvollständigen Chips vorhanden sein,welcher wiederum ein Problem erzeugen kann, wenn die Adress- undTaktprüfsignalegemeinsam an die Pads eines unvollständigen Chips und an die Padseines Chips angelegt werden, der zu dem unvollständigen Chip benachbart ist.D.h., wenn die Adress- und Taktprüfsignale an die kurzgeschlossenenPads des unvollständigenChips angelegt werden, kann das Problem auftauchen, daß falschePrüfsignalean die Pads des zu dem unvollständigenChip benachbarten Chip angelegt werden. Wenn beispielsweise ein Adresssignaleinen „Hoch"-Pegel (d..h.; logisch1 bzw. H-Pegel) von der Prüferrichtungan ein kurzgeschlossenes Adress-Pad eines unvollständigen Chipsangelegt wird, kann ein Adresssignal mit einem „Hoch"-Pegelnicht ordnungsgemäß an daskorrespondierende Adress-Pad des zu dem unvollständigen Chip benachbarten Chipsangelegt werden.
    [0005] Daher wird vor dem Testen des Wafersein Kontaktstellen- bzw. Pad-Beschichtungssystem zum Beschichtender Adress- und Taktsignal-Pads der unvollständigen Chips, die an dem Randabschnittdes Wafers angeordnet sind, verwendet. Die Pads werden mit einemIsolationsmaterial beschichtet, um einen elektrischen Kontakt mitdem Prüfpinsder Prüferrichtungzu verhindern.
    [0006] 1 istein Blockdiagramm, das ein herkömmlichesPad-Beschichtungssystem darstellt. Das Pad-Beschichtungssystem der 1 enthält eine Untersuchungsvorrichtung(Prober) 10 mit einer Steuervorrichtung 12, einemEingabe-/Ausgabe-Abschnitt 20, einen UV-(ultraviolett)-Quellenabschnitt 22 undeiner Ausgabevorrichtung (Dispenser) 24.
    [0007] Der Eingabe-/Ausgabe-Abschnitt 20empfängtund übermitteltDaten von bzw. an die Steuervorrichtung 12. Die Steuervorrichtung 12,welche in der Untersuchungsvorrichtung 10 eingebettet ist, speichertdie durch den Eingabe-/Ausgabe-Abschnitt 20 eingegebenenDaten, steuert die Untersuchungsvorrichtung 10, den UV-Quellenabschnitt 22 unddie Ausgabevorrichtung 24, und gibt Daten zu dem Eingabe-/Ausgabe-Abschnitt20 aus. Die Untersuchungsvorrichtung 10 lädt unterSteuerung durch die Steuervorrichtung 12 einen Wafer für ein Beschichteneines Pads, das entsprechend eines von der Steuervorrichtung 12 eingestelltenKoordinatenwertes iden tifiziert ist, und entlädt den Wafer. Die Ausgabevorrichtung 24 sprichtauf ein Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD für ein Ausgebeneines flüssigenBeschichtungsmaterials auf das Pad an, und der UV-Quellenabschnitt 22 sprichtauch ein Verschlußöffnungs/schließ SOC (shutteropen/close signal) fürein Steuern des Öffnensund Schließenseines UV-Verschlußes,um die flüssigeBeschichtung mit eine UV-Licht zu bestrahlen. D.h., das Beschichtungsmaterialwird als eine Flüssigkeitvon der Ausgabevorrichtung (Dispenser) 24 ausgegeben, und anschließend ineinen festen Zustand durch die UV-Bestrahlung von den UV-Quellenabschnitt 22 ausgehärtet. Betriebsmäßig steuertdie Steuervorrichtung 12 die Untersuchungsvorrichtung 10 und gibtdas Verschlußöffnungs/schließ SOC undein Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD an den UV-Quellenabschnitt 22 bzw.der Ausgabevorrichtung 24 aus.
    [0008] Der UV-Quellenabschnitt 62 enthält einen UV-Verschlußschalter 1,einen Zeit/Manuell-Modusschalter 2 und einen UV-Lampenschalter 3.
    [0009] Wenn der UV-Verschlußschalter 1 aufoffen eingestellt wird, wird ein Verschluß geöffnet, um dem UV-Quellenabschnitt 22 dasEmittieren einer UV-Strahlung zu ermöglichen. Wenn der UV-Verschlußschalter 1 geschlossenist, ist der Verschluß geschlossenund keine UV-Bestrahlung ist mehr möglich.
    [0010] Wenn der Zeit/Manuell-Modusschalter 2 auf denZeitmodus eingestellt ist, wird die Dauer der UV-Bestrahlung automatischdurch das Verschlußöffnungs/schließ SOC, dasvon der Steuervorrichtung 12 angelegt wird, gesteuert.Wenn der Zeit/Manuell-Modusschalter 2 aufden manuellen Modus eingestellt ist, wird die Dauer der UV-Bestrahlung manuell durchden Bediener gesteuert.
    [0011] Wenn der UV-Lampenschalter 3 eingeschaltetist, wird die UV-Lampe ausreichend erwärmt, um eine UV-Strahlung auszusenden.Wenn der Lampenschalter 3 nicht eingeschaltet ist, sendetdie UV-Lampe keine UV-Strahlung aus.
    [0012] Die Ausgabevorrichtung 24 isteine Vorrichtung, welche die Pad-Beschichtungszustände, wie etwaeine Beschichtungsflüssigkeitsmenge,einen Injektionsdruck und eine Injektionszeit, steuert. Die Ausgabevorrichtung 24 enthält einenIntern/Extern-Modusschalter 4 und einen Zeit/Manuell-Modusschalter 5.
    [0013] Wenn der Intem/Extern-Modusschalter 4 auf internenModus eingestellt ist, werden die Pad-Beschichtungsbedingungen derAusgabevorrichtung 24 manuell durch den Bediener oder interndurch die Ausgabevorrichtung eingestellt. Wenn der Intem/Extern-Modusschalter 4 aufexternen Modus eingestellt ist, werden die Pad-Beschichtungsbedingungen durchdas Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD eingestellt, dasvon der Steuervorrichtung 12 angelegt wird.
    [0014] Wenn der Zeit/Manuell-Modusschalter 5 auf denZeitmodus eingestellt ist, wird eine Injektionszeit automatischdurch die Steuervorrichtung 12 eingestellt. Wenn der Zeit/Manuell-Modusschalter 5 auf denmanuellen Modus eingestellt ist, wird eine Injektionszeit manuelldurch den Bediener gesteuert.
    [0015] Bei den herkömmlichen Pad-BeschichtungssytemkönnenBetriebsfehler auftauchen, die den Beschichtungsbetrieb nachteiligbeeinflussen. Beispielsweise kann der Bediener den Zeit/Manuell-Modusschalter 2 unabsichtlichauf den manuellen Modus einstellen, was dazu führt, daß die UV-Bestrahlungszeit nichtkorrekt eingestellt sein kann. Ebenso kann der Verschlußöffnungs-/-schließschalter 1 nicht richtig öffnen oderder UV-Lampenschalter 3 kann nicht richtig eingeschaltetsein. Jeder dieser Fehler führtzu einer falschen UV-Bestrahlung, welche wiederum zu einer fehlerhaftenBeschichtung der Chip-Pads führt.
    [0016] In ähnlicher Weise kann der Bedienerden Intern/Extern-Modusschalter 4 versehentlich auf den internenModus einstellen und/oder den Zeit/Manuell-Modusschalter 5 aufden manuellen Modus einstellen. In beiden Fällen kann dies zu einer fehlerhaftenAusgabe des Beschichtungsmaterials führen.
    [0017] Es ist eine Aufgabe der vorliegendenErfindung ein Pad-Beschichtungssystem vorzusehen, welches die Zustände einesUV-Quellenabschnitts und eine Ausgabevorrichtung überwachtund anschließendeinen Pad-Beschichtungsbetrieb stoppt, wenn die UV-Quelle und dieAusgabevorrichtung nicht auf einen gewünschten Zustand eingestellt sind,sowie ein Verriegelungsverfahren für ein Pad-Beschichtungssystemzu schaffen, welches die Zuständeeines UV-Quellenabschnitts und einer Ausgabevorrichtung überwachtund einen Pad-Beschichtungsbetrieb stoppt, wenn die UV-Quelle unddie Ausgabevorrichtung nicht auf einen gewünschten Zustand eingestelltsind.
    [0018] Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch dieMerkmale des anliegenden Anspruchs 1 bzw. 7 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungenund Weiterbildungen bilden Gegenstand der nebengeordneten Patentansprüche, derenInhalt hierin ausdrücklich zumBestandteil der Beschreibung gemacht wird, ohne an dieser Stelleden Wortlaut zu wiederholen.
    [0019] Gemäß einem Aspekt der vorliegendenErfindung wird ein Pad-Beschichtungssystem vorgesehen, welches einenUltraviolett-(UV)-Quellenabschnitt, eine Ausgabevorrichtung bzw.Dispenser und eine Untersuchungsvorrichtung (Prober) enthält. Der UV-Quellenabschnittenthälterste Steuerschalter, strahlt UV-Licht während des Pad-Beschichtungsbetriebsin Reaktion auf ein UV-Quellenöffnungs-/-schließsignalab und gibt erste Signale aus, die jeweilige Betriebszustände derersten Steuerschalter anzeigen. Der Dispenser enthält zweite Steuerschalter,gibt eine Beschichtungsflüssigkeit während desPad-Beschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein Beschichtungsbedingungerkennungssignal aus,und gibt zweite Signale aus, die jeweiligen Betriebszustände derzweiten Steuerschalter anzeigen. Die Untersuchungsvorrichtung erzeugtdas UV-Quellenöffnungs-/-schließsignalund das Beschichtungsbedingungserkennungssignal, steuert den Pad-Beschichtungsbetriebund stoppt den Pad-Beschichtungsbetrieb in Reaktion auf die erstenund zweiten Signale.
    [0020] Gemäß einem anderen Aspekt dervorliegenden Erfindung wird ein Verriegelungsverfahren für ein Pad-Beschichtungssystemvorgesehen, bei dem das Pad-Beschichtungssystem einen Ultraviolett-(UV)-Quellenabschnittenthält,welcher erste Steuerschalter enthält und welcher UV-Licht während desPad-Beschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein UV-Quellenöffnungs-/-schließsignalabstrahlt, sowie eine Ausgabevorrichtung bzw. einen Dispenser, welcherzweite Steuerschalter enthältund welcher die Beschichtungsflüssigkeitwährenddes Pad-Beschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein Beschichtungsbedingungserkennungssignalausgibt, und eine Untersuchungsvorrichtung bzw. einen Prober, welcherdas UV-Quellenöffnungs-/-schließsignalund das Beschichtungsbedingungserkennungssignal erzeugt und welcherden Pad-Beschichtungsbetrieb steuert. Das Verfahren enthält ein Überwachender Betriebszuständeder ersten und zweiten Schalter, sowie ein Stoppen des Pad-Beschichtungsbetriebs, wennder Betriebszustand von zumindest einem der ersten oder zweitenSchalter nicht auf einen gewünschtenZustand eingestellt ist.
    [0021] Fürein besseres Verständnisder vorliegenden Erfindung und ihrer Vorteile wird in der folgenden Beschreibungauf die beiliegende Zeichnung Bezug genommen, in welcher gleicheBezugszeichen gleiche Teile bezeichnen, und in welcher:
    [0022] 1 einBlockdiagramm ist, das ein herkömmlichesPad-Beschichtungssystem darstellt;
    [0023] 2 einBlockdiagramm ist, das ein Pad-Beschichtungssystem gemäß einerAusführungsformder vorliegenden Erfindung darstellt;
    [0024] 3 einBlockdiagramm ist, das ein Pad-Beschichtungssystem gemäß eineranderen Ausführungsformder vorliegenden Erfindung darstellt; und
    [0025] 4 einFlußdiagrammist, das ein Verriegelungsverfahren des Pad-Beschichtungssystems gemäß der vorliegendenErfindung darstellt.
    [0026] Im folgenden wird auf bevorzugteAusführungsformender vorliegenden Erfindung Bezug genommen, von denen Beispiele inder begleitenden Zeichnung dargestellt sind.
    [0027] 2 istein Blockdiagramm, das ein Pad-Beschichtungssystem gemäß einerAusführungsformder vorliegenden Erfindung darstellt. Das Pad-Beschichtungssystemder 2 enthält eine Untersuchungsvorrichtungbzw. einen Prober 30, einen Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40, einenUV-Quellenabschnitt 42 und eine Ausgabevorrichtung bzw. einenDispenser 44. Der Prober 30 enthält eineSteuervorrichtung 32 und eine Interruptsignalerzeugungsschaltung 34.
    [0028] Der Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40 empfängt Datenvon der Steuervorrichtung 32 und gibt die Daten zu dieseraus. Die Steuervorrichtung 32, welche in dem Prober 30 eingebettetist, speichert Daten, die von dem Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40 eingegebenworden sind, steuert den Prober 30, den UV-Quellenabschnitt 42 undden Dispenser 44, und gibt Daten zu den Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40 aus.Das heißt,die Steuervorrichtung 32 gibt ein Verschlußöffnungs-/-schließsignal(shutter open/close signal = SOC) und ein BeschichtungsbedingungserkennungssignalADD zu dem UV-Quellenabschnitt 42 bzw. dem Dispenser 44 aus,und stoppt den Betrieb des Systems in Reaktion auf ein Interruptsignal INR.
    [0029] Der Prober 30 lädt einenWafer unter Steuerung durch die Steuervorrichtung 32, beschichtetdas Pad, währender nach dem Pad entsprechend dem durch die Steuervorrichtung 32 eingestelltenKoordinatenwert sucht, und entlädtden Wafer.
    [0030] Die Interruptsignalerzeugungsschaltung 34 erzeugtein Interruptsignal INR in Übereinstimmung miteinem VerschlußschließsignalSC, einem manuellen Modussignal bzw. Handbetriebssignal M1, einemUV-Lampenaussignal LO, einem internen Modussignal INT und einemmanuellen Modussignal bzw. Handbetriebssignal M2. Das VerschlußschließsignalSC, das Handbetriebssignal M1, das UV-Lampenaussignal LO werdendurch den UV-Quellenabschnitt 42 erzeugt, und das interneModussignal INT und das Handbetriebssignal M2 werden durch den Dispenser 44 erzeugt.Bei dieser Ausführungsform istdas VerschlußschließsignalSC "Hoch" (d.h. logisch 1),wenn der Verschlußschalter 1 sichin dem geschlossenen Zustand befindet; das Handbetriebssignal M1ist "Hoch", wenn der Zeit-/Handbetriebsschalter 2 desUV-Quellenabschnitts 42 auf Handbetrieb eingestellt ist;das UV-Lampenaussignal LO ist "Hoch", wenn die UV-Lampe 3 desUV-Quellenabschnitts 42 in einem Auszustand bzw. ausgeschaltet ist;das interne Modussignal INT ist "Hoch", wenn der Intern-/Extern-Modusschalter 4 desDispensers 44 sich in dem internen Modus befindet; unddas Handbetriebssignal M2 ist "Hoch", wenn der Zeit-/Handbetriebsschalter 5 desDispensers 44 auf Handbetrieb eingestellt ist. Falls einesoder mehrere dieser Signale SC, M1, LO, INT und M2 einen "Hoch"-Pegel aufweisen,erzeugt die Interrupt-Erzeugungsschaltung 34 ein InterruptsignalINR. In Reaktion darauf erzeugt die Steuervorrichtung 32 einenAlarm oder gibt eine Fehlermeldung über den Eingabe-/Ausgabeabschnitt 40 aus.
    [0031] Der UV-Quellenabschnitt 42 öffnet oder schließt den UV-Verschluß in Reaktionauf das Verschlußöffnungs-/-schließsignalSOC, das von der Steuervorrichtung 32 angelegt wird, undgibt das VerschlußschließsignalSC aus, welches anzeigt, ob der Verschlußöffnungs-/-schließschalter 1 ineinem geschlossenen Zustand ist, sowie das Handbetriebssignal M1,das anzeigt, ob der Zeit-/Handbetriebsschalter 2 auf Handbetriebeingestellt ist, und das UV-Lampenaussignal LO aus, das anzeigt,ob die UV-Lampe 3 sichin einem Auszustand befindet.
    [0032] Der Dispenser 44 injizierteine Beschichtungsflüssigkeitin Reaktion auf das Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD,das von der Steuervorrichtung 32 stammt, und gibt das interne ModussignalINT aus, das anzeigt, ob der Intern/Extern-Modusschalter 4 auf internenModus eingestellt ist, sowie das Handbetriebssignal M2, das anzeigt, obsich der Zeit-/Handbetriebsschalter 5 auf Handbetrieb eingestelltist.
    [0033] Wie vorangehend festgestellt, erzeugtdas Pad-Beschichtungssystem ein Interruptsignal INR, um den Beschichtungsbetriebzu stoppen, wenn der Verschlußöffnungs-/-schließschalter 1 desUV-Quellenabschnitts 42 auf einen geschlossenen Zustand eingestelltist, der Zeit-/Handbetriebsschalter 2 auf Handbetrieb eingestelltist, die UV-Lampe ausgeschaltet ist, der Intern/Extern-Modusschalter 4 des Dispensers 44 aufeinen internen Modus eingestellt ist oder der Zeit-/Handbetriebsschalter 5 aufHandbetrieb eingestellt ist. Wenn das Interruptsignal INR erzeugtwird, wird ein Alarm erzeugt oder eine Fehlermeldung über denEingabe-/Ausgabeabschnitt 40 erzeugt. Dadurch kann einBediener alarmiert werden, um die Schalter des UV-Quellenabschnitts 42 und desDispensers 44 zum Beseitigen der Fehlerquelle zu überprüfen, wodurchein fehlerhafter Pad-Beschichtungsbetrieb im voraus verhindert wird.
    [0034] 3 istein Blockdiagramm, das ein Beschichtungssystem gemäß eineranderen Ausführungsformder vorliegenden Erfindung darstellt. Das Pad-Beschichtungssystemder 3 enthält einen Prober 50,einen Eingabe-/Ausgabeabschnitt 60, einen UV-Quellenabschnitt 62 undeinen Dispenser 64. Der Prober 50 enthält eineSteuervorrichtung 52 und eine erste und zweite Interruptsignalerzeugungsschaltung 54 bzw. 56.
    [0035] Die erste Interruptsignalerzeugungsschaltung 54 erzeugtein erstes Interruptsignal INR1 in Ubereinstimmung mit einem Verschlußschließsignal SC,einem Handbetriebssignal M1 und einem UV-Lampenaussignal LO, welchedurch den UV-Quellenabschnitt 62 erzeugt werden. Bei dieser Ausführungsformist das VerschlußschließsignalSC "Hoch" (d.h., logisch 1),wenn der Verschlußöffnungs-/-schließschalter 1 desUV-Quellenabschnitts 62 sich in einem geschlossenen Zustandbefindet; das Handbetriebssignal M1 ist "Hoch",wenn der Zeit-/Handbetriebsschalter 2 des UV-Quellenabschnitts 62 aufHandbetrieb eingestellt ist, und das UV-Lampenaussignal LO ist "Hoch", wenn die UV-Lampe 3 desUV-Quellenabschnitts 62 sich in einem Auszustand befindet.Die erste Interruptsignalerzeugungsschaltung 54 erzeugtein erstes Interruptsignal INR1, wenn eines oder mehrere der SignaleSC, M1 und LO einen "Hoch"-Pegel aufweisen.Die zweite Interruptsignalerzeugungsschaltung 56 erzeugtein zweites Interruptsignal INR2 in Ubereinstimmung mit einem InnenbetriebssignalINT und einem Handbetriebssignal 2, welche durch den Dispenser 62 erzeugtwerden. Bei dieser Ausführungsformist das Innenbetriebssignal INT "Hoch", wenn der Intern/Extern-Modusschalter4 des Dispensers 64 auf den internen Modus eingestelltist, und das Handbetriebssignal M2 ist "Hoch",wenn der Zeit-/Handbetriebsschalter 5 des Dispensers 64 auf Handbetriebeingestellt ist. Die zweite Interrupt-Erzeugungsschaltung 56 erzeugtein zweites Interruptsignal INR2, wenn eines oder mehrere dieserSignale INT und M2 einen "Hoch"-Pegel aufweisen.
    [0036] Die Steuervorrichtung 52 erzeugteinen Alarm oder gibt eine Fehlermeldung über den Eingabe-/Ausgabeabschnitt 60 aus,wenn das erste Interruptsignal INR1 oder das zweite InterruptsignalINR2 erzeugt wird. Ebenso wird mit der Ausgabe der Fehlermeldungeine Nachricht von der Steuervorrichtung ausgegeben, die anzeigt,daß einFehler bezüglich desUV-Quellenabschnitts 62 vorliegt, wenn das erste InterruptsignalINR1 erzeugt wird, und die Steuervorrichtung gibt eine Nachrichtaus, die anzeigt, daß einFehler bezüglichdes Dispensers 64 vorliegt, wenn das zweite InterruptsignalINR2 erzeugt wird.
    [0037] Das Pad-Beschichtungssystem der 3 ermöglicht über den Eingabe-/Ausgabeabschnitt 60 einevisuelle Darstellung, ob ein Fehler des UV-Quellenabschnitts 54 oderdes Dispensers 54 vorliegt und somit kann der Bedienerohne weiteres die Fehlerquelle bestimmen.
    [0038] Obgleich nicht dargestellt, können dieersten und zweiten Interruptsignalerzeugungsschaltungen 54 und 56 stattin dem Prober 50 in dem UV-Quellenabschnitt 62 bzw.in dem Dispenser 64 angeordnet sein.
    [0039] Ebenso können die Interruptsignalerzeugungsschaltung 34 der 2 und die ersten und zweitenInterruptsignalerzeugungsschaltungen 54 und 56 nichtweggelassen werden. In diesem Fall ist das Pad-Beschichtungssystemso aufgebaut, daß dieSignale SC, M1 und LO, die von dem UV-Quellenabschnitt 62 erzeugtwerden, und die Signale INT und M2, die von dem Dispenser 64 erzeugtwerden, direkt an die Steuervorrichtung angelegt werden. Die Steuervorrichtungwird dann so programmiert, daß dasVorhandensein eines Fehlers gemäß dem Zustandder jeweiligen Signale SC, M1, LO, INT und M2 festgestellt wird.Wie zuvor kann auch hier jeder Fehler über den Eingabe-/Ausgabeabschnittvisuell dargestellt werden.
    [0040] Bei 2 und 3 kann ohne eine zusätzliche Schaltungzum Erzeugen der Signale SC, M1 und LO, der UV-Quellenabschnittso aufgebaut sein, daß dieSignale, die intern durch Manipulation der Schalter 1, 2 und 3 erzeugtwerden, extern ausgegeben werden. In ähnlicher Weise kann der Dispenserso aufgebaut sein, daß dieSignale, die intern erzeugt werden, durch Manipulation der Schalter 4 und 5 externausgegeben werden, ohne daß einezusätzliche Schaltungzum Erzeugen der Signale INT und M2 notwendig ist.
    [0041] Das Pad-Beschichtungssystem der vorliegendenErfindung stoppt einen Pad-Beschichtungsbetrieb, wenn die Schalterdes UV-Quellenabschnitts und des Dispensers nicht auf einen gewünschtenZustand eingestellt ist, d.h., in einen Zustand, bei dem der UV-Quellenabschnittund der Dispenser nicht vollständigdurch die Steuervorrichtung gesteuert werden können.
    [0042] 4 istein Flußdiagramm,das ein Verriegelungsverfahren des Pad-Beschichtungssystems dervorliegenden Erfindung darstellt. Das Flußdiagramm der 4 zeigt ein Verriegelungsverfahren für eineneinzigen Wafer.
    [0043] Als erstes gibt die Steuervorrichtungdas Verschlußöffnungs-/-schließsignalSOC und das Beschichtungsbedingungserkennungssignal ADD an den UV-Quellenabschnittbzw. an den Dispenser aus (Schritt 100). Die Steuervorrichtung bestimmtanschließend, obein Pad-Beschichtungsstartbefehl anliegt (Schritt 110). Falls nichtwird der Schritt 110 wiederholt ausgeführt.
    [0044] Falls der Pad-Beschichtungsstartbefehlanliegt, wird festgestellt, ob das Interruptsignal INR erzeugt wordenist (Schritt 120).
    [0045] Falls das Interruptsignal INR erzeugtworden ist, wird ein Alarm oder eine Fehlermeldung durch den Eingabe-/Ausgabeabschnitterzeugt (Schritt 130). Das heißt,vor dem Durchführeneines Pad-Beschichtungsbetriebs bestimmt die Steuervorrichtung, obdie Schalter des UV-Quellenabschnitts und des Dispenser in die gewünschte Stellunggebracht worden sind. Falls die Schalter nicht in die gewünschten Stellungengebracht worden sind, stoppt die Steuervorrichtung den Pad-Beschichtungsbetriebbzw. führt ihngar nicht erst aus. Wie vorangehend beschrieben wird das InterruptsignalINR erzeugt, wenn der Verschlußöffnungs-/-schließschalterin einem geschlossenen Zustand ist, der Zeit-/Handbetriebsschalterauf Handbetrieb eingestellt ist, die UV-Lampe sich in einem Auszustandbefindet, der Intern-/Extern-Modusschalter des Dispensers auf internenModus eingestellt ist oder der Zeit-/Handbetriebschalter auf Handbetriebeingestellt ist.
    [0046] Falls das Interruptsignal INR nichterzeugt wird, lädtder Prober einen Wafer, um einen Pad-Beschichtungsbetrieb durchzuführen (Schritt140).
    [0047] Der Prober beschichtet die Pads gemäß einerBeschichtungsbedingung, die in dem Dispenser eingestellt wordenist, währendder Suche nach zu beschichtenden Pads auf dem Wafer (Schritt 150).
    [0048] Als nächstes strahlt der Prober dasUV-Licht gemäß der indem UV-Quellenabschnitt eingestellten Bedingung während derSuche nach den zu beschichtenden Pads auf den Wafer (Schritt 160).
    [0049] Bei den Schritten 150 und 160 suchtder Prober nach den Pads des Wafers, die gemäß eines in der Steuervorrichtungeingestellten Koordinatenwerts zu beschichten sind.
    [0050] Als letztes entlädt der Prober den vollständigen Waferund beendet seinen Betrieb (Schritt 170).
    [0051] Auch wenn ein Verriegelungsverfahrender 4 überprüft, ob dasInterruptsignal INR in einer einzelnen Wafereinheit erzeugt wordenist, ist es möglich,zu überprüfen, obein Interruptsignal bei einer Mehrzahl von Wafereinheiten erzeugtworden ist.
    [0052] Wie vorangehend beschrieben kanndas Pad-Beschichtungssystem und das Verriegelungsverfahren gemäß der vorliegendenErfindung Fehlfunktionen im voraus durch Stoppen eines Pad-Beschichtungsbetriebsverhindern, wenn die Schalter des UV-Quellenabschnitts und des Dispensersnicht auf einen gewünschtenZustand eingestellt sind.
    [0053] Obgleich die Erfindung unter Bezugnahme aufbevorzugte Ausführungsformendavon genau gezeigt und beschrieben worden ist, ist es für den Fachmannoffensichtlich, daß dievorhergehenden und andere Veränderungenin Form und Detail daran vorgenommen werden können, ohne das gedankliche Grundkonzeptund den Umfang der Erfindung zu verlassen.
    权利要求:
    Claims (11)
    [1] Kontakstellenbeschichtungssystem aufweisend: einenUltraviolett-(UV)-Quellenabschnitt, welcher erste Steuerschalterenthält,die UV-Licht während einesKontakstellenbeschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein UV-Quellenöffnungs-/-schließsignalausstrahlt, und welcher erste Signale ausgibt, die jeweilige Betriebszustände derersten Schalter anzeigen; einen Dispenser, welcher zweite Steuerschalterenthält,welche eine Beschichtungsflüssigkeitwährend desKontakstellenbeschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein Beschichtungsbedingungserkennungssignal ausgibt,und welcher zweite Signale ausgibt, die die jeweiligen Betriebszustände derzweiten Steuerschalter anzeigen; und einen Prober, welcherdas UV-Quellenöffnungs-/-schließsignalund das Beschichtungsbedingungserkennungssignal erzeugt, sowie denKontakstellenbeschichtungsbetrieb steuert, und welcher den Kontakstellenbeschichtungsbetriebin Reaktion auf die ersten und zweiten Signale stoppt.
    [2] System nach Anspruch 1, wobei der Prober eine Interruptsignalerzeugungsschaltungaufweist, welche ein Interruptsignal in Reaktion auf die ersten undzweiten Signale erzeugt, sowie eine Steuervorrichtung aufweist,welche den Kontakstellenbeschichtungsbetrieb in Reaktion auf dasInterruptsignal stoppt.
    [3] System nach Anspruch 2, wobei das Kontakstellenbeschichtungssystemferner einen Eingabe-/Ausgabeabschnitt aufweist, welcher Daten von derSteuervorrichtung empfängtund an diese ausgibt.
    [4] System nach Anspruch 1, wobei der Prober eine ersteInterruptsignalerzeugungsschaltung aufweist, welche ein erstes Interruptsignalin Reaktion auf die ersten Signale erzeugt, eine zweite Interruptsignalerzeugungsschaltungaufweist, welche ein zweites Interruptsignal in Reaktion auf diezweiten Signale erzeugt, sowie eine Steuervorrichtung, welche denKontakstellenbeschichtungsbetrieb in Reaktion auf die ersten undzweiten Interruptsignale stoppt.
    [5] System nach Anspruch 1, wobei die ersten Steuerschaltereinen Verschlußöffnungszustandsschalter,welcher einen Verschluß öffnet undschließt, umeine UV-Bestrahlungzu ermöglichen,einen Zeit-/Handbetriebsschalter, welcher eine UV-Bestrahlungszeitentweder automatisch oder manuell einstellt, und einen UV-Lampenschalter, welchereine UV-Lampe ein- und ausschaltet, enthält.
    [6] System nach Anspruch 1, wobei die zweiten Steuerschaltereinen Intern-/Extern-Modusschalter enthalten,welcher Kontakstellenbeschichtungsbedingungen entweder automatischoder manuell einstellt, sowie einen Zeit-/Handbetriebsschalter enthalten,welcher eine Beschichtungszeit entweder automatisch oder manuelleinstellt.
    [7] Verriegelungsverfahren für ein Kontakstellenbeschichtungssystem,wobei das Kontakstellenbeschichtungssystem einen Ultraviolett-(UV)-Quellenabschnittenthält,welcher erste Steuerschalter enthält und welcher UV-Licht während desKontakstellenbeschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein UV-Quellenöff nungs-/-schließsignalabstrahlt, einen Dispenser enthält,welcher zweite Steuerschalter enthält und welcher eine Beschichtungsflüssigkeit während desKontakstellenbeschichtungsbetriebs in Reaktion auf ein Beschichtungsbedingungserkennungssignalausgibt, sowie einen Prober enthält,welcher das UV-Quellenöffnungs-/-schließsignalund das Beschichtungsbedingungserkennungssignal erzeugt und welcherden Kontakstellenbeschichtungsbetrieb steuert, wobei das Verfahrenaufweist: Überwachender Betriebszuständeder ersten und zweiten Steuerschalter; und Stoppen des Kontakstellenbeschichtungsbetriebs, wennder Betriebszustand von zumindest einem der ersten und zweiten Steuerschalternicht in einem gewünschtenZustand eingestellt sind.
    [8] Verfahren nach Anspruch 7, ferner aufweisend: Ausgebenvon ersten Signalen, die jeweilige Betriebszustände der ersten Steuerschalteranzeigen; Ausgeben von zweiten Signalen, die jeweilige Betriebszustände derzweiten Steuerschalter anzeigen; Erzeugen eines Interruptsignalsin Übereinstimmung mitden ersten und zweiten Signalen; und Stoppen des Kontakstellenbeschichtungsbetriebs undErzeugen von zumindest einem Alarm oder einer Fehlernachricht inReaktion auf das Interruptsignal.
    [9] Verfahren nach Anspruch 7, ferner aufweisend: Ausgebenvon ersten Signalen, die jeweilige Betriebszustände der ersten Steuerschalteranzeigen; Ausgeben von zweiten Signalen, die jeweilige Betriebszustände derzweiten Steuerschalter anzeigen; Erzeugen eines ersten Interruptsignalsin Übereinstimmungmit den ersten Signalen und eine zweiten Interruptsignals in Übereinstimmungmit den zweiten Signalen; und Stoppen des Kontakstellenbeschichtungsbetriebs undErzeugen von zumindest einem Alarm oder einer Fehlernachricht inReaktion auf die ersten und zweiten Interruptsignale.
    [10] Verfahren nach Anspruch 7, wobei die ersten Steuerschaltereinen Verschlußöffnungs-/-schließschalterenthalten, welcher einen Verschluß öffnet oder schließt, um eineUV-Bestrahlung zu ermöglichen,einen Zeit-/Handbetriebsschalter, welcher eine UV-Bestrahlungszeitentweder automatisch oder manuell einstellt, und einen UV-Lampenschalterenthalten, welcher eine UV-Lampe ein- und ausschaltet.
    [11] System nach Anspruch 7, wobei die zweiten Schaltereinen Intern/Extern-Modusschalter enthalten, welcher Kontakstellenbeschichtungsbedingungenentweder automatisch oder manuell einstellt, und einen Zeit-/Handbetriebsschalterenthalten, welcher eine Beschichtungszeit entweder automatisch odermanuell einstellt.
    类似技术:
    公开号 | 公开日 | 专利标题
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    同族专利:
    公开号 | 公开日
    CN1299837C|2007-02-14|
    KR20040065893A|2004-07-23|
    JP2004235627A|2004-08-19|
    KR100500447B1|2005-07-12|
    US20040145718A1|2004-07-29|
    CN1517153A|2004-08-04|
    引用文献:
    公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题
    法律状态:
    2004-08-05| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2008-03-13| 8131| Rejection|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
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