一种选择性发射极图案及太阳能电池片

专利摘要:
本实用新型公开一种选择性发射极图案及太阳能电池片，涉及光伏技术领域，以减少太阳能电池片上重掺杂区域的面积，提高太阳能电池片的转换效率。该选择性发射极图案具有至少一个激光成型区域；每个激光成型区域具有M行激光成型图案，相邻两行激光成型图案之间具有空隙，每行激光成型图案包括间隔分布的N个单元图案，其中，M和N为整数，M大于1，N大于1。本实用新型提供的选择性发射极图案及太阳能电池片用于太阳能电池及光伏组件的制造。
公开号:CN214336726U
申请号:CN202120380454.1U
申请日:2021-02-19
公开日:2021-10-01
发明作者:赵赞良；陈宇晖；王武林；韩晓辉；王安红；聂大小
申请人:Ningxia Longi Solar Technology Co Ltd；
IPC主号:H01L31-0352

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及光伏技术领域，尤其涉及一种选择性发射极图案及太阳能电池片。
[n0002] 在制作太阳能电池片的过程中，可以利用激光照射的方法在太阳能电池片的扩散层上制作重掺杂区域。此时，太阳能电池片上具有重掺杂的选择性发射极。重掺杂的选择性发射极与太阳能电池片的金属电极相接触，可以降低接触电阻。
[n0003] 在利用激光照射形成选择性发射极的过程中，相对于金属电极与太阳能电池片相接触的面积，选择性发射极的图案面积，也就是重掺杂区域的面积往往过大。这种情况下，过大的重掺杂区域会导致太阳能电池片转换效率下降。
[n0004] 本实用新型的目的在于提供一种选择性发射极图案及太阳能电池片，以减少太阳能电池片上重掺杂区域的面积，提高太阳能电池片的转换效率。
[n0005] 第一方面，本实用新型提供一种选择性发射极图案。该选择性发射极图案具有至少一个激光成型区域；每个激光成型区域具有M行激光成型图案，相邻两行激光成型图案之间具有空隙，每行激光成型图案包括间隔分布的N个单元图案，其中，M和N为整数，M大于1，N大于1。
[n0006] 采用上述技术方案时，每个激光成型区域具有M行激光成型图案，每行激光成型图案包括N个单元图案。相邻两行激光成型图案之间具有空隙，同一行的单元图案间隔分布。该单元图案即为电池片上重掺杂区域的图案，每个激光成型区域除单元图案以外的部分为浅掺杂区域。在激光成型区域面积不变的情况下，相对于单元图案仅有一行的情况，将间隔分布的N个单元图案多行且有空隙布置，每个激光成型区域增加(M-1)行空隙的面积。每个激光成型区域所增加的多行空隙的面积，即为增加的浅掺杂区域的面积。基于此，可以通过激光成型图案的多行设置，增大太阳能电池片上浅掺杂区域的面积，减少重掺杂区域的面积，从而可以提高太阳电池片的转换效率。
[n0007] 在一些实现方式中，沿着M行激光成型图案的分布方向，每个激光成型区域的跨度为90μm-120μm。现有技术中，一个激光成型的单元图案的尺寸为90μm～120μm。与之对比，本实用新型具有间隙的M行激光成型图案的跨度为90μm～120μm。可见，单元图案对应的重掺杂区域的面积与现有技术相比大幅减少。
[n0008] 在一些实现方式中，M为5-7。此时，在激光成型区域的跨度不变的情况下，该范围的行数，一方面可以使激光成型区域具有较大的空隙，单元图案面积较小；另一方面可以使单元图案具有合适的尺寸，便于激光加工。
[n0009] 在一些实现方式中，同一行激光成型图案中，沿着各个单元图案的分布方向，多个间距不同。此时，在激光照射形成单元图案的过程中，可以根据热量积累的情况，设计不同的间距，以满足实际生产需要。
[n0010] 在一些实现方式中，同一行激光成型图案中，沿着各个单元图案的分布方向，多个间距渐变，多个间距先逐渐变大后逐渐变小。此时，可以随着单元图案的增加，随着热量的不断积累，不断扩大单元图案之间的间距，以提高热量扩散效率。并且，当热量能够及时扩散后，逐渐减小间距，增加单元图案的数量，进一步降低与金属电极的接触电阻。
[n0011] 在一些实现方式中，同一行激光成型图案中，沿着各个单元图案的分布方向，多个间距相同，间距为30μm～40μm。当相每个间距在该范围内时，可以确保两个单元图案之间具有较大的间距，以减少激光加工所带来的热量积累。并且，该间距可以使同一行激光成型图案设置较多的单元图案，以确保太阳能电池片具有较小的电极接触电阻。
[n0012] 在一些实现方式中，相邻两行激光成型图案具有的单元图案的几何中心错开。即为相邻两行激光成型图案中，相同序列的单元图案的几何中心错开。此时，可以增加相邻两行的单元图案之间的间距，进而减少激光加工过程的热量集中，减少激光损伤。
[n0013] 在一些实现方式中，同一激光成型区域中，第i+1行第k个单元图案的几何中心，与第i行第k个单元图案和第k+1个单元图案的几何中心连线中点对准，1≤i≤M-1，1≤k≤N。此时，第i+1行的单元图案与第i的单元图案之间的距离最远，可以最大程度上减少激光加工所产生的热量集中，减少激光损伤。
[n0014] 在一些实现方式中，每行激光成型图案具有行中心线，同一行激光成型图案所包括的各个单元图案的几何中心处在行中心线上。相邻两行激光成型图案的行中心线间距为15μm～25μm。当相邻两行激光成型图案的行中心线间距处在该范围内时，既可以确保相邻两行激光成型图案之间具有较大的空隙，以增大浅掺杂区域的面积。又可以使相邻两行激光成型图案所包括的单元图案之间具有较大的间距，减少热量集中问题。与此同时，还可以使激光成型区域内可以设置较多行激光成型图案，以确保接触电阻较小。
[n0015] 在一些实现方式中，至少一个单元图案为圆形单元图案或方形单元图案。
[n0016] 在一些实现方式中，上述圆形单元图案的直径为10μm～20μm。此时，单元图案的面积较小。该圆形单元图案点阵式分布后，可以很大程度上减少重掺杂区域的面积，增大浅掺杂区域的面积，从而提高太阳能电池片的转换效率。
[n0017] 第二方面，本实用新型提供一种太阳能电池片。该太阳能电池片具有第一方面或第一方面任一项实现方式所描述的选择性发射极图案。
[n0018] 第二方面所提供的太阳能电池片的有益效果，可以参考第一方面或第一方面任一项实现方式描述的选择性发射极图案的有益效果，在此不再赘述。
[n0019] 在一些实现方式中，每个激光成型区域为激光照射形成的选择性发射极所在区域。太阳能电池片还包括多条栅线，每条栅线与位于相应激光成型区域的M行激光成型图案接触。栅线即为太阳能电池片的金属电极。M行激光成型图案由单元图案点阵式分布形成。一条栅线与M行激光成型图案接触，也就是说，金属电极与点阵式分布的单元图案接触。此时，在确保一条栅线所对应的单元图案的面积较小，也就是一条栅线所对应的重掺杂区域面积较小的情况下，可以使栅线能够以较小的接触电阻从多点收集电流，降低能量损耗。
[n0020] 此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
[n0021] 图1为本实用新型实施例提供的太阳能电池片的表面结构示意图；
[n0022] 图2为本实用新型实施例提供的太阳能电池片的表面A处的放大图。
[n0023] 图1-图2中，1-激光成型区域，11-激光成型图案，110-单元图案，111-行中心线，2-透光区域。
[n0024] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[n0025] 需要说明的是，在附图中示出本实用新型实施例的各种示意图，这些图并非按比例绘制。其中，为了清楚明白的目的，放大了某些细节，并且可能省略了某些细节。图中所示出的各种区域、层的形状以及它们之间的相对大小、位置关系仅是示例性的，实际中可能由于制造公差或技术限制而有所偏差，并且本领域技术人员根据实际所需可以另外设计具有不同形状、大小、相对位置的区域/层。
[n0026] 应理解，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。
[n0027] 此外，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[n0028] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
[n0029] 选择性发射极(SE)晶体硅太阳能电池，是在金属电极与硅片的接触部位进行重掺杂，在硅片的的其他位置进行轻掺杂。这种结构，轻掺杂区域可以降低扩散层复合，重掺杂区域可以减少金属电极与硅片的接触电阻，使得太阳能电池片的短路电流、开路电压和填充因子都得到比较好的改善，从而提高转换效率。
[n0030] 制作选择性发射极晶体硅太阳能电池的重点在于，制作具有重掺杂区域的扩散层。在硅片的扩散层上制作重掺杂区域(选择性发射极)时，可以利用激光照射扩散层上的相应位置，或利用激光照射位于扩散层上含有重掺杂剂的氧化层，从而在扩散层上的局部位置形成重掺杂区域。
[n0031] 现有技术中，利用激光制作重掺杂区域(选择性发射极)的过程中，通常采用边长在80μm～150μm之间的方形光斑少量重叠、相贴或间隔一定距离照射扩散层。此时，会形成线型的重掺杂区域或虚线状的重掺杂区域，进而满足太阳能电池片金属电极与半导体欧姆接触对重掺杂的需求。
[n0032] 但是，激光照射所形成的选择性发射极图案与金属电极的形状总会存在误差，激光器与金属化印刷机台也会存在一定的幅度偏差。因此，为保证激光照射形成的选择性发射极图案与金属电极覆盖区域重合，激光照射所形成的选择性发射极图案的面积往往大于金属化区域的面积。此时，会形成部分非必要的重掺杂区域，引入过大面积的重掺杂区域，导致太阳能电池片的光电转化效率下降。
[n0033] 为了解决上述技术问题，在保证激光照射所形成的选择性发射极图案与金属化区域必要重叠的基础上，尽可能减少非必要的激光照射区域，减少重掺杂区域的面积，本实用新型实施例提供一种太阳能电池片。图1示出本实用新型的一种太阳能电池片的结构示意图。图2示出太阳能电池片的表面A处的放大图。如图1和图2所示，该太阳能电池片具有选择性发射极图案。
[n0034] 如图1和图2所示，上述选择性发射极图案具有至少一个激光成型区域1。每个激光成型区域1具有M行激光成型图案11，相邻两行激光成型图案11之间具有空隙，每行激光成型图案11包括间隔分布的N个单元图案110，其中，M和N为整数，M大于1，N大于1。该单元图案是由单个激光的光斑照射硅衬底形成的。形成重掺杂区域的激光光斑的参数，可以参考单元图案110的尺寸等参数。上述单元图案110的形成方法可以为激光照射在单元图案110所在区域，也可以是光栅遮挡太阳能电池片表面非单元图案110的区域，然后采用激光照射。
[n0035] 基于上述结构的选择性发射极图案可知，每个激光成型区域1具有M行激光成型图案11，每行激光成型图案11包括N个单元图案110。相邻两行激光成型图案11之间具有空隙，同一行的单元图案110间隔分布。该单元图案110即为电池片上重掺杂区域的图案，每个激光成型区域1除单元图案110以外的部分为浅掺杂区域。在激光成型区域1面积不变的情况下，相对于单元图案110仅有一行的情况，将间隔分布的N个单元图案110多行且有空隙布置，每个激光成型区域1增加(M-1)行空隙的面积。每个激光成型区域1所增加的多行空隙的面积，即为增加的浅掺杂区域的面积。基于此，通过激光成型图案11的多行设置，可以增大太阳能电池片上浅掺杂区域的面积，减少重掺杂区域的面积，从而可以提高太阳电池片的转换效率。
[n0036] 如图1和图2所示，上述激光成型区域1是指太阳能电池片上形成有激光成型图案11的狭长区域。每个激光成型区域1为激光照射形成的选择性发射极所在区域。该激光成型区域1的数量可以为一个，也可以为多个。应理解，太阳能电池片还包括多条栅线，每条栅线对应一个激光成型区域1，每条栅线与位于相应激光成型区域1的M行激光成型图案11接触。栅线即为太阳能电池片的金属电极。M行激光成型图案11由单元图案110点阵式分布形成。一条栅线与M行激光成型图案11接触，也就是说，金属电极与点阵式分布的单元图案110接触。此时，在确保一条栅线所对应的所有单元图案110的总面积较小，也就是一条栅线所对应的重掺杂区域面积较小的情况下，可以使栅线能够以较小的接触电阻从多点收集电流，降低能量损耗。
[n0037] 如图1和图2所示，沿着M行激光成型图案11的分布方向Y，每个激光成型区域1的跨度H为90μm-120μm。也就是说，M行激光成型图案11的跨度H为90μm-120μm。例如，每个激光成型区域1的跨度H可以为90μm、95μm、99μm、100μm、106μm、110μm、113μm、115μm、118μm、120μm等。现有技术中，一个激光成型的单元图案110的尺寸为90μm～120μm。与之对比，本实用新型具有间隙的M行激光成型图案11的跨度H为90μm～120μm。可见，单元图案110对应的重掺杂区域的面积与现有技术相比大幅减少。沿着一行激光成型图案11的延伸方向，电池片在每个激光成型区域1的跨度与栅线的长度相等。当然，也可以存在微小的误差。
[n0038] 如图1和图2所示，需要说明的是，太阳能电池片的表面，除了激光成型区域1外，还存在多个透光区域2。相邻的两个激光成型区域1之间存在一个透光区域2，激光成型区域1上有栅线。
[n0039] 如图1和图2所示，每个激光成型区域1内均设有M行激光成型图案11。多个激光成型区域1，对应相应数量组的M行激光成型图案11。例如，太阳能电池的表面具有10个激光成型区域1，则太阳能电池的表面具有10组激光成型图案11，每组包括M行激光成型图案11。各激光成型区域1所包括的M行激光成型图案11，其分布及图案可以相同，也可以不同。
[n0040] 如图1和图2所示，上述M行激光成型图案11，沿着M行激光成型图案11的分布方向Y，其跨度为上述的90μm～120μm。
[n0041] 如图1和图2所示，上述每行激光成型图案11具有行中心线111，同一行激光成型图案11所包括的各个单元图案110的几何中心可以处在行中心线111上。该行中心线111，即为同一行激光成型图案11所包括的各个单元图案110的几何中心的连线。在实际应用中，该行中心线111可以为直线，也可以为曲线。M行激光成型图案11的行中心线111可以平行设置。当然，M行激光成型图案11的行中心线111也可以相交。各行激光成型图案11的行中心线111的长度可以相等，也可以不等。相邻两行激光成型图案11的行中心线间距L1可以为15μm～25μm。例如，相邻两行激光成型图案11的行中心线间距L1可以为15μm、17μm、19μm、20μm、21μm、23.5μm、24μm、24.8μm、25μm等。当相邻两行激光成型图案11的行中心线间距L1处在该范围内时，既可以确保相邻两行激光成型图案11之间具有较大的空隙，以增大浅掺杂区域的面积。又可以使相邻两行激光成型图案11所包括的单元图案110之间具有较大的间距，减少热量集中问题。与此同时，还可以使激光成型区域1内可以设置较多行激光成型图案11，以确保接触电阻较小。
[n0042] 如图1和图2所示，在实际应用中，M行激光成型图案11具有(M-1)个行中心线间距L1。这(M-1)个行中心线间距L1可以均相等，也可以不相等。例如，(M-1)个行中心线间距L1可以均为15μm。又例如，M等于5时，第一个行中心线间距L1可以为15μm，第二个行中心线间距L1可以为18μm，第三个行中心线间距L1可以为20μm，第四个行中心线间距L1可以为25μm。当然，M行激光成型图案11还可以有其他行排布方式。
[n0043] 上述单元图案110可以为圆形单元图案110，也可以为方形单元图案110。当然，在同一行激光成型图案11，或在同一激光成型区域1的范围内，可以既有圆形单元图案110，又有方形单元图案110。当单元图案110为圆形单元图案110时，其几何中心为圆形单元图案110的圆心。当单元图案110为方形单元图案110时，其几何中心为方形单元图案110两个对角线的交点。当同一行激光成型图案11所包括的各个单元图案110的几何中心处在行中心线111上时，一行激光成型图案11所占空间较小，便于同一激光成型区域1内设置较多的单元图案110。
[n0044] 如图2所示，上述圆形单元图案110的直径D可以为10μm～20μm。例如，圆形单元图案110的直径D可以为10μm、11μm、13μm、15μm、17μm、18.5μm、19μm、19.4μm、19.8μm、19.9μm、20μm等。此时，单元图案110的面积较小。该圆形单元图案110点阵式分布后，可以很大程度上减少重掺杂区域的面积，增大浅掺杂区域的面积，从而提高太阳能电池片的转换效率。
[n0045] 同一行激光成型图案11中，相邻两个单元图案110的几何中心之间的距离定义为间距L2，则每行激光成型图案11具有多个间距L2。
[n0046] 同一行激光成型图案11中，沿着各个单元图案110的分布方向X，多个间距L2可以不同。此时，在激光照射形成单元图案110的过程中，可以根据热量积累的情况，设计不同的间距，以满足实际生产需要。示例性的，同一行激光成型图案11中，沿着各个单元图案110的分布方向X，多个间距L2可以是渐变的，多个间距L2先逐渐变大后逐渐变小。此时，可以随着单元图案110的增加，随着热量的不断积累，不断扩大单元图案110之间的间距，以提高热量扩散效率。并且，当热量能够及时扩散后，逐渐减小间距，增加单元图案110的数量，进一步降低与金属电极的接触电阻。当然，同一行激光成型图案11所具有的多个间距L2也可以具有其他变化规律。
[n0047] 同一行激光成型图案11中，沿着各个单元图案110的分布方向X，多个间距L2也可以相同。该间距L2可以为30μm～40μm。例如，相邻两个单元图案110的几何中心的间距L2可以为30μm、31μm、33μm、35.5μm、37μm、38μm、39μm、40μm等。当相邻两个单元图案110的几何中心的间距在该范围内时，可以确保两个单元图案110之间具有较大的间距，以减少激光加工所带来的热量积累。并且，该间距可以使同一行激光成型图案11设置较多的单元图案110，以确保太阳能电池片具有较小的电极接触电阻。
[n0048] 每一行激光成型图案11中，单元图案110的数量为N，该数量可以根据行方向(X方向)单元图案110的尺寸、相邻两个单元图案110的几何中心的间距以及太阳能电池片的长度确定。对于N的数量，本实用新型实施例不做具体限定。
[n0049] 在M行激光成型图案11的跨度确定的情况下，可以根据每一行激光成型图案11的跨度，以及相邻两行激光成型图案11的间距来确定M的数值。沿着M行激光成型图案11的分布方向Y，每一行激光成型图案11的跨度，可以为相应行激光成型图案11所包括的单元图案110的长度。如图2所示，当太阳能电池片表面的所有激光成型区域1的单元图案110均为圆形单元图案110时，沿着M行激光成型图案11的分布方向Y，每一行激光成型图案11的跨度为相应行的圆形单元图案110的直径。根据上述每一行激光成型图案11的跨度以及相邻两行激光成型图案11的行中心线间距可以确定M为5-7。例如，M可以为5、6或7。此时，在激光成型区域1的跨度不变的情况下，该范围的行数，一方面可以使激光成型区域1具有较大的空隙，单元图案110面积较小；另一方面可以使单元图案110具有合适的尺寸，便于激光加工。示例性的，沿着M行激光成型图案11的分布方向Y，其跨度为上述的100μm。M为5。单元图案110为圆形单元图案110，其直径为10。行中心线111间距为22.5μm。
[n0050] 如图2所示，上述相邻两行激光成型图案11所具有的单元图案110的几何中心可以错开。此时，可以增加相邻两行的单元图案110之间的间距，进而减少激光加工过程的热量集中，减少激光损伤。
[n0051] 具体的，沿着M行激光成型图案11的分布方向Y，只要相邻两行激光成型图案11中的任意两个单元图案110不在一条直线上即可。在实际应用中，相邻行中相同序列的单元图案110的几何中心错开的距离，可以相等，也可以不相等。例如，沿着5行激光成型图案11的分布方向Y，第2行第1个单元图案110的几何中心与第1行第1个单元图案110的几何中心之间的间距可以为a1。第2行第2个单元图案110的几何中心与第1行第2个单元图案110的几何中心之间的间距为a2。a1可以等于a2，a1也可以大于a2，a1也可以小于a2。
[n0052] 如图2所示，同一激光成型区域1中，第i+1行第k个单元图案110的几何中心，与第i行第k个单元图案110和第k+1个单元图案110的几何中心连线中点对准，1≤i≤M-1，1≤k≤N。此时，第i+1行的单元图案110与第i的单元图案110之间的距离最远，可以最大程度上减少激光加工所产生的热量集中，减少激光损伤。
[n0053] 例如，M为5。第2行第1个单元图案110的几何中心，与第1行第1个单元图案110和第2个单元图案110的几何中心连线的对准。又例如，M为5，第5行第5个单元图案110的几何中心，与第4行第5个单元图案110和第6个单元图案110的几何中心连线的中点对准。
[n0054] 以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式或对具体实施方式的说明，本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

权利要求:
Claims (10)
[0001] 1.一种选择性发射极图案，其特征在于，所述选择性发射极图案具有至少一个激光成型区域；每个所述激光成型区域具有M行激光成型图案，相邻两行所述激光成型图案之间具有空隙，每行所述激光成型图案包括间隔分布的N个单元图案，其中，M和N为整数，M大于1，N大于1。
[0002] 2.根据权利要求1所述的选择性发射极图案，其特征在于，沿着M行所述激光成型图案的分布方向，每个所述激光成型区域的跨度为90μm-120μm。
[0003] 3.根据权利要求1所述的选择性发射极图案，其特征在于，M为5-7。
[0004] 4.根据权利要求1所述的选择性发射极图案，其特征在于，相邻两个单元图案的几何中心之间具有间距；
同一行所述激光成型图案中，沿着各个单元图案的分布方向，多个间距不同；或，
同一行所述激光成型图案中，沿着各个单元图案的分布方向，多个间距渐变，多个间距先逐渐变大后逐渐变小；或，
同一行所述激光成型图案中，沿着各个单元图案的分布方向，多个间距相同，所述间距为30μm～40μm。
[0005] 5.根据权利要求1-4任一项所述的选择性发射极图案，其特征在于，相邻两行所述激光成型图案具有的单元图案的几何中心错开。
[0006] 6.根据权利要求1～4任一项所述的选择性发射极图案，其特征在于，同一所述激光成型区域中，第i+1行第k个单元图案的几何中心，与第i行第k个单元图案和第k+1个单元图案的几何中心连线的中点对准，1≤i≤M-1，1≤k≤N。
[0007] 7.根据权利要求1～4任一项所述的选择性发射极图案，其特征在于，每行所述激光成型图案具有行中心线，同一行所述激光成型图案所包括的各个所述单元图案的几何中心处在所述行中心线上；
相邻两行所述激光成型图案的行中心线间距为15μm～25μm。
[0008] 8.根据权利要求1～4任一项所述的选择性发射极图案，其特征在于，至少一个所述单元图案为圆形单元图案或方形单元图案；圆形单元图案的直径为10μm～20μm。
[0009] 9.一种太阳能电池片，其特征在于：所述太阳能电池片具有权利要求1-8任一项所述的选择性发射极图案。
[0010] 10.根据权利要求9所述的太阳能电池片，其特征在于，每个激光成型区域为激光照射形成的选择性发射极所在区域，所述太阳能电池片还包括多条栅线，每条所述栅线与位于相应所述激光成型区域的M行激光成型图案接触。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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