一种垂直翻转机构

专利摘要:
本实用新型提供一种垂直翻转机构，包括底板、对称设置于所述底板上的两个滑轨、分别与两个所述滑轨滑动配合的两个支座、设置于两个所述滑轨之间驱动两个所述支座沿两个所述滑轨滑动的滑台气缸、连接于两个所述支座之间的主轴、与所述主轴相连的第一靠板和第二靠板、设置于所述第一靠板和所述第二靠板两侧的两个侧板、分别设置于两个所述侧板外侧的转轴、设置于所述底板一端的两个本体铰链叉、分别设置于两个所述本体铰链叉中的两个销轴以及分别连接同侧所述销轴和所述转轴的两个连杆。该垂直翻转机构用于连续将晶圆储料框体翻转进料，结构简单紧凑，零部件较少，确保结构安全可靠。
公开号:CN214336697U
申请号:CN202120547237.7U
申请日:2021-03-16
公开日:2021-10-01
发明作者:欧阳伟；杨家伟；李响忠
申请人:Wuxi Ruisi Intelligent Welding Equipment Co ltd；
IPC主号:H01L21-687

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及晶圆生产技术领域，具体为一种垂直翻转机构。
[n0002] 晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。在晶圆清洗甩干过程中，通常会使用专用的储料框体，需要将晶圆储料框体90度垂直翻转，清洗完成后，再将晶圆储料框体翻转复位，再进行甩干，现有技术的翻转机构，结构复杂，体积较大，占用空间大。
[n0003] 本实用新型所解决的技术问题在于提供一种垂直翻转机构，以解决上述背景技术中提出问题。
[n0004] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
[n0005] 一种垂直翻转机构，包括底板、对称设置于所述底板上的两个滑轨、分别与两个所述滑轨滑动配合的两个支座、设置于两个所述滑轨之间驱动两个所述支座沿两个所述滑轨滑动的滑台气缸、连接于两个所述支座之间的主轴、与所述主轴相连的第一靠板和第二靠板、设置于所述第一靠板和所述第二靠板两侧的两个侧板、分别设置于两个所述侧板外侧的转轴、设置于所述底板一端的两个本体铰链叉、分别设置于两个所述本体铰链叉中的两个销轴以及分别连接同侧所述销轴和所述转轴的两个连杆。
[n0006] 进一步的是，两个所述支座之间设置有连接板，所述连接板与所述滑台气缸的输出端相连。
[n0007] 进一步的是，两个所述支座上分别设置有定位柱，所述连接板的两端分别设置有与所述定位柱配合的卡槽，所述定位柱分别位于对应的卡槽中。
[n0008] 进一步的是，其中一个所述侧板上设置有通槽，所述通槽的一侧设置有安装支架，所述安装支架上设置有夹持气缸，所述夹持气缸的输出端设置有压板，所述压板与所述通槽对应。
[n0009] 进一步的是，所述第一靠板和所述第二靠板垂直设置，所述第一靠板和所述第二靠板上分别设置有镂空结构。
[n0010] 进一步的是，两个所述支座分别通过滑动板与所述滑轨相连，所述滑动板远离所述第二靠板的一端设置有液压缓冲器。
[n0011] 进一步的是，所述第一靠板的一侧设置有光电传感器。
[n0012] 进一步的是，所述第二靠板的内侧设置有接近开关。
[n0013] 进一步的是，所述底板远离所述第一靠板的一端设置有两个限位缓冲块，两个所述限位缓冲块上分别设置有液压缓冲器。
[n0014] 进一步的是，所述连杆为六方连杆，所述连杆的两端分别设置有鱼眼接头，所述销轴和所述转轴分别与所述鱼眼接头相连。
[n0015] 本实用新型的有益效果是：该垂直翻转机构使用时，产品放置在所述第一靠板或者所述第二靠板上，所述滑台气缸驱动两个所述支座沿两个所述滑轨滑动，带动所述主轴、所述第一靠板和所述第二靠板转动，两个所述连杆对两个所述侧板、所述第一靠板或者所述第二靠板起到限位的作用，两个所述支座沿两个所述滑轨滑动过程中，所述第一靠板和所述第二靠板翻转，即实现了90度垂直翻转，该垂直翻转机构用于连续将晶圆储料框翻转进料，结构简单紧凑，零部件较少，确保结构安全可靠。
[n0016] 为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[n0017] 图1为本实用新型的垂直翻转机构的示意图；
[n0018] 图2为本实用新型的垂直翻转机构另一方向的示意图；
[n0019] 图中标记为：底板1，滑轨2，支座3，滑台气缸4，主轴5，第一靠板6，第二靠板7，侧板8，通槽8-1，转轴9，本体铰链叉10，销轴11，连杆12，连接板13，定位柱14，卡槽15，安装支架16，夹持气缸17，压板18，滑动板19，液压缓冲器20，光电传感器21，接近开关22，限位缓冲块23，鱼眼接头24。
[n0020] 以下结合具体实施例对上述方案做进一步说明。应理解，这些实施例是用于说明本实用新型而不限于限制本实用新型的范围。实施例中采用的实施条件可以根据具体厂家的条件做进一步调整，未注明的实施条件通常为常规实验中的条件。
[n0021] 请参阅图1至图2，本实用新型提供一种垂直翻转机构，包括底板1、对称设置于所述底板1上的两个滑轨2、分别与两个所述滑轨2滑动配合的两个支座3、设置于两个所述滑轨2之间驱动两个所述支座3沿两个所述滑轨2滑动的滑台气缸4、连接于两个所述支座3之间的主轴5、与所述主轴5相连的第一靠板6和第二靠板7、设置于所述第一靠板6和所述第二靠板7两侧的两个侧板8、分别设置于两个所述侧板8外侧的转轴9、设置于所述底板1一端的两个本体铰链叉10、分别设置于两个所述本体铰链叉10中的两个销轴11以及分别连接同侧所述销轴11和所述转轴9的两个连杆12。产品，即晶圆储料框放置在所述第一靠板6或者所述第二靠板7上，所述滑台气缸4驱动两个所述支座3沿两个所述滑轨2滑动，带动所述主轴5、所述第一靠板6和所述第二靠板7转动，两个所述连杆12对两个所述侧板8、所述第一靠板6或者所述第二靠板7起到限位的作用，两个所述支座3沿两个所述滑轨2滑动过程中，所述第一靠板6和所述第二靠板7翻转，即实现了90度垂直翻转，该垂直翻转机构用于连续将晶圆储料框翻转进料，结构简单紧凑，零部件较少，确保结构安全可靠。
[n0022] 两个所述支座3之间设置有连接板13，所述连接板13与所述滑台气缸4的输出端相连。
[n0023] 两个所述支座3上分别设置有定位柱14，所述连接板13的两端分别设置有与所述定位柱14配合的卡槽15，所述定位柱14分别位于对应的卡槽15中。所述连接板13和两个所述支座3通过相互配合的所述定位柱14和所述卡槽15相连，结构简单稳定，安装方便。
[n0024] 其中一个所述侧板8上设置有通槽8-1，所述通槽8-1的一侧设置有安装支架16，所述安装支架16上设置有夹持气缸17，所述夹持气缸17的输出端设置有压板18，所述压板18与所述通槽8-1对应。所述夹持气缸17驱动所述压板18前进，将产品夹持在两个所述侧板8之间，夹持稳定方便，方便更换产品。
[n0025] 所述第一靠板6和所述第二靠板7垂直设置，所述第一靠板6和所述第二靠板7上分别设置有镂空结构。
[n0026] 两个所述支座3分别通过滑动板19与所述滑轨2相连，所述滑动板19远离所述第二靠板7的一端设置有液压缓冲器20。所述液压缓冲器20用于对所述第一靠板6起到缓冲保护的作用，有效限位的同时，可以对产品起到缓冲保护的作用。
[n0027] 所述第一靠板6的一侧设置有光电传感器21；所述第二靠板7的内侧设置有接近开关22。所述接近开关22和所述光电传感器21检测到产品到位后，所述夹持气缸17驱动所述压板18将产品夹紧，然后该垂直翻转机构进行垂直翻转的动作。
[n0028] 所述底板1远离所述第一靠板6的一端设置有两个限位缓冲块23，两个所述限位缓冲块23上分别设置有液压缓冲器20。这两个所述限位缓冲块23在产品复位过程中，对所述第二靠板7起到限位及缓冲保护的作用。
[n0029] 所述连杆12为六方连杆，所述连杆12的两端分别设置有鱼眼接头24，所述销轴11和所述转轴9分别与所述鱼眼接头24相连。这样，所述连杆12旋转方便，也便于更换所述连杆12。
[n0030] 本实用新型的垂直翻转机构，产品放置在所述第一靠板6或者所述第二靠板7上，所述滑台气缸4驱动两个所述支座3沿两个所述滑轨2滑动，带动所述主轴5、所述第一靠板6和所述第二靠板7转动，两个所述连杆12对两个所述侧板8、所述第一靠板6或者所述第二靠板7起到限位的作用，两个所述支座3沿两个所述滑轨2滑动过程中，所述第一靠板6和所述第二靠板7翻转，即实现了90度垂直翻转，该垂直翻转机构用于连续将晶圆翻转进料，结构简单紧凑，零部件较少，确保结构安全可靠。
[n0031] 在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[n0032] 上述实例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人是能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所做的等效变换或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

权利要求:
Claims (10)
[0001] 1.一种垂直翻转机构，其特征在于：包括底板、对称设置于所述底板上的两个滑轨、分别与两个所述滑轨滑动配合的两个支座、设置于两个所述滑轨之间驱动两个所述支座沿两个所述滑轨滑动的滑台气缸、连接于两个所述支座之间的主轴、与所述主轴相连的第一靠板和第二靠板、设置于所述第一靠板和所述第二靠板两侧的两个侧板、分别设置于两个所述侧板外侧的转轴、设置于所述底板一端的两个本体铰链叉、分别设置于两个所述本体铰链叉中的两个销轴以及分别连接同侧所述销轴和所述转轴的两个连杆。
[0002] 2.根据权利要求1所述的垂直翻转机构，其特征在于：两个所述支座之间设置有连接板，所述连接板与所述滑台气缸的输出端相连。
[0003] 3.根据权利要求2所述的垂直翻转机构，其特征在于：两个所述支座上分别设置有定位柱，所述连接板的两端分别设置有与所述定位柱配合的卡槽，所述定位柱分别位于对应的卡槽中。
[0004] 4.根据权利要求1所述的垂直翻转机构，其特征在于：其中一个所述侧板上设置有通槽，所述通槽的一侧设置有安装支架，所述安装支架上设置有夹持气缸，所述夹持气缸的输出端设置有压板，所述压板与所述通槽对应。
[0005] 5.根据权利要求1所述的垂直翻转机构，其特征在于：所述第一靠板和所述第二靠板垂直设置，所述第一靠板和所述第二靠板上分别设置有镂空结构。
[0006] 6.根据权利要求1所述的垂直翻转机构，其特征在于：两个所述支座分别通过滑动板与所述滑轨相连，所述滑动板远离所述第二靠板的一端设置有液压缓冲器。
[0007] 7.根据权利要求1所述的垂直翻转机构，其特征在于：所述第一靠板的一侧设置有光电传感器。
[0008] 8.根据权利要求1所述的垂直翻转机构，其特征在于：所述第二靠板的内侧设置有接近开关。
[0009] 9.根据权利要求1所述的垂直翻转机构，其特征在于：所述底板远离所述第一靠板的一端设置有两个限位缓冲块，两个所述限位缓冲块上分别设置有液压缓冲器。
[0010] 10.根据权利要求1所述的垂直翻转机构，其特征在于：所述连杆为六方连杆，所述连杆的两端分别设置有鱼眼接头，所述销轴和所述转轴分别与所述鱼眼接头相连。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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CN202120547237.7U|CN214336697U|2021-03-16|2021-03-16|一种垂直翻转机构|CN202120547237.7U| CN214336697U|2021-03-16|2021-03-16|一种垂直翻转机构|