一种用于硅片清洗的花篮

专利摘要:
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，且公开了一种用于硅片清洗的花篮，包括两个基板，两个所述基板之间设有底板，所述底板两端分别与两个基板边缘固定连接，两个所述基板之间还设有两个对称分布的粗方管，所述粗方管上设置有四个槽扣组，所述槽扣组包括多个均匀分布的限位槽扣，所述限位槽扣固定连接在粗方管上，所述粗方管两端分别与两个基板活动连接，所述粗方管一端开设有第一限位孔。该用于硅片清洗的花篮，通过在粗方管上设置四组尺寸不同的限位槽扣，拉动圆板可以移动插杆，进而可转动粗方管更换限位槽扣，然后松开圆板使插杆重新与粗方管卡合，以此根据不同的硅片厚度进行调节，适用性较强。
公开号:CN214336688U
申请号:CN202120046509.5U
申请日:2021-01-08
公开日:2021-10-01
发明作者:祝凯
申请人:Kaihua Core Electronics Co ltd；
IPC主号:H01L21-673

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为一种用于硅片清洗的花篮。
[n0002] 硅片在生产中需要对表面进行物理和化学清洗，主要用于清理硅片表面的杂质，保证硅片质量，在硅片清洗时需要将硅片放置在花篮内，通过机器将花篮放置在清洗池内。
[n0003] 目前的硅片清洗花篮一般为一体化成型式，在花篮上设置有均匀分布的凹槽或挡板，用于均匀分隔不同的硅片，但是由于不同规格硅片的厚度不同，而常见花篮上的凹槽宽度或者挡板间距一定，较薄的硅片放置在内部倾斜幅度大，并且容易晃动，影响硅片清洗，还易导致硅片损坏。
[n0004] (一)解决的技术问题
[n0005] 针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种用于硅片清洗的花篮，具备适用性强，便于维护等优点，解决了目前的花篮上的凹槽宽度或者挡板间距一定，较薄的硅片放置时倾角大并且容易晃动，影响清洗和安全的问题。
[n0006] (二)技术方案
[n0007] 为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于硅片清洗的花篮，包括两个基板，两个所述基板之间设有底板，所述底板两端分别与两个基板边缘固定连接，两个所述基板之间还设有两个对称分布的粗方管，所述粗方管上设置有四个槽扣组，所述槽扣组包括多个均匀分布的限位槽扣，所述限位槽扣固定连接在粗方管上，所述粗方管两端分别与两个基板活动连接，所述粗方管一端开设有第一限位孔，所述基板侧面靠近粗方管处设置有限位装置。
[n0008] 优选的，所述限位装置包括套环，所述套环与基板固定连接，所述套环内设有插杆，所述插杆一端延伸至第一限位孔内，所述插杆另一端固定连接有圆板，所述圆板与套环之间设有弹簧，所述弹簧套接在插杆上，所述弹簧两端分别与圆板和套环固定连接。
[n0009] 优选的，所述粗方管一侧设置有转轴，所述转轴上固定连接有清理刷，所述转轴两端分别与两个基板活动连接，所述转轴一端还固定连接有第一齿轮。
[n0010] 优选的，所述粗方管远离第一限位孔一端固定套接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮之间设有短轴，所述转轴端部与基板活动连接，所述转轴上固定连接有第三齿轮，所述第三齿轮与第一齿轮以及第二齿轮均啮合。
[n0011] 优选的，所述粗方管远离第一限位孔一端固定连接有细方管，所述细方管上开设有第二限位孔。
[n0012] 优选的，两个所述基板边缘均固定连接有安装板，所述安装板上开设有安装孔。
[n0013] 与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于硅片清洗的花篮，具备以下有益效果：
[n0014] 1、该用于硅片清洗的花篮，通过在粗方管上设置四组尺寸不同的限位槽扣，拉动圆板可以移动插杆，进而可转动粗方管更换限位槽扣，然后松开圆板使插杆重新与粗方管卡合，以此根据不同的硅片厚度进行调节，适用性较强。
[n0015] 2、该用于硅片清洗的花篮，通过拉动圆板可以移动插杆，此时转动粗方管可以带动第二齿轮转动，进而可以带动转轴和清理刷转动，清理刷与限位槽扣相互转动可以实现对限位槽扣内壁的清理，便于维护。
[n0016] 3、该用于硅片清洗的花篮，通过拉动圆板可以移动插杆，可将另一花篮的细方管插入粗方管端部内，然后重新松开插杆可以贯穿第二限位孔和第一限位孔，有利于实现两个花篮之间的连接，有利于同时清洗更多的硅片。
[n0017] 图1为本实用新型的俯视图；
[n0018] 图2为本实用新型图1的B部放大图；
[n0019] 图3为本实用新型图1的A部放大图；
[n0020] 图4为本实用新型限位槽扣的分布示意图。
[n0021] 其中：1、基板；2、底板；3、粗方管；4、限位槽扣；5、第一限位孔；6、套环；7、插杆；8、圆板；9、弹簧；10、转轴；11、清理刷；12、第一齿轮；13、第二齿轮；14、短轴；15、第三齿轮；16、细方管；17、第二限位孔；18、安装板。
[n0022] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[n0023] 请参阅图1-4，一种用于硅片清洗的花篮，包括两个基板1，两个基板1之间设有底板2，实际应用时底板2的数量优先设置为两个，底板2的位置和宽度根据实际需求设置，底板2两端分别与两个基板1边缘固定连接，两个基板1之间还设有两个对称分布的粗方管3，粗方管3上设置有四个槽扣组，槽扣组包括多个均匀分布的限位槽扣4，限位槽扣4固定连接在粗方管3上，实际应用中不同槽扣组的限位槽扣4的宽度不同，可适应不同厚度的硅片，粗方管3两端分别与两个基板1活动连接，实际应用时粗方管3两端均通过轴承与基板1活动连接，粗方管3一端开设有第一限位孔5，第一限位孔5的数量设置为四个，四个第一限位孔5分别设置在粗方管3的四个面上，基板1侧面靠近粗方管3处设置有限位装置。
[n0024] 限位装置包括套环6，套环6与基板1固定连接，套环6内设有插杆7，插杆7一端延伸至第一限位孔5内，插杆7另一端固定连接有圆板8，圆板8与套环6之间设有弹簧9，弹簧9套接在插杆7上，弹簧9两端分别与圆板8和套环6固定连接，初始状态下，插杆7一端同时贯穿粗方管3端部的两个第一限位孔5，拉动圆板8使弹簧9伸长，同时可使插杆7脱离第一限位孔5，以此解除对粗方管3的限定。
[n0025] 粗方管3一侧设置有转轴10，转轴10上固定连接有清理刷11，转轴10两端分别与两个基板1活动连接，转轴10两端均通过轴承与基板1活动连接，转轴10一端还固定连接有第一齿轮12。
[n0026] 粗方管3远离第一限位孔5一端固定套接有第二齿轮13，第二齿轮13与第一齿轮12之间设有短轴14，转轴10端部与基板1活动连接，转轴10上固定连接有第三齿轮15，第三齿轮15与第一齿轮12以及第二齿轮13均啮合，有利于通过转动粗方管3带动转轴10和清理刷11转动，有利于通过清理刷11实现对限位槽扣4的清理。
[n0027] 粗方管3远离第一限位孔5一端固定连接有细方管16，细方管16上开设有第二限位孔17，实际应用中细方管16的外径与粗方管3的内径匹配，第二限位孔17的数量设置为四个且分布在细方管16的四个面上，第二限位孔17的大小与第一限位孔5的大小相同。
[n0028] 两个基板1边缘均固定连接有安装板18，安装板18上开设有安装孔，安装板18为现有技术，用于和清洗机器安装连接。
[n0029] 在使用时，将硅片放置在两个基板1之间，通过底板2支撑硅片，同时硅片两侧边缘位于限位槽扣4内，当需要对不同厚度的硅片进行清理时，先拉动圆板8，可带动插杆7移动并且脱离第一限位孔5，此时可以转动粗方管3，选择合适规格的限位槽扣4，然后松开圆板8，插杆7可以重新插入第一限位孔5内，以此实现对粗方管3的角度限定；
[n0030] 当限位槽扣4内部有灰尘或杂物时，可以拉动圆板8使插杆7脱离第一限位孔5，然后持续转动粗方管3，粗方管3转动时可以带动第二齿轮13转动，第二齿轮13转动可带动第三齿轮15转动，第三齿轮15转动可以带动第一齿轮12和转轴10转动，最终可实现清理刷11与限位槽扣4同时转动，以此可实现限位槽扣4内部的清理；
[n0031] 当待清洗数量较多时，先拉动第一花篮上的圆板8，将插杆7移动至第一限位孔5外部，然后将第二花篮上的细方管16均插入第一花篮上的粗方管3端部，细方管16插入粗方管3端部时第二限位孔17和第一限位孔5位置对应，此时松开圆板8可以使插杆7同时贯穿第一限位孔5和第二限位孔17，以此实现第二花篮和第一花篮之间的连接，此时可放置更多硅片。
[n0032] 尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

权利要求:
Claims (6)
[0001] 1.一种用于硅片清洗的花篮，包括两个基板(1)，其特征在于：两个所述基板(1)之间设有底板(2)，所述底板(2)两端分别与两个基板(1)边缘固定连接，两个所述基板(1)之间还设有两个对称分布的粗方管(3)，所述粗方管(3)上设置有四个槽扣组，所述槽扣组包括多个均匀分布的限位槽扣(4)，所述限位槽扣(4)固定连接在粗方管(3)上，所述粗方管(3)两端分别与两个基板(1)活动连接，所述粗方管(3)一端开设有第一限位孔(5)，所述基板(1)侧面靠近粗方管(3)处设置有限位装置。
[0002] 2.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮，其特征在于：所述限位装置包括套环(6)，所述套环(6)与基板(1)固定连接，所述套环(6)内设有插杆(7)，所述插杆(7)一端延伸至第一限位孔(5)内，所述插杆(7)另一端固定连接有圆板(8)，所述圆板(8)与套环(6)之间设有弹簧(9)，所述弹簧(9)套接在插杆(7)上，所述弹簧(9)两端分别与圆板(8)和套环(6)固定连接。
[0003] 3.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮，其特征在于：所述粗方管(3)一侧设置有转轴(10)，所述转轴(10)上固定连接有清理刷(11)，所述转轴(10)两端分别与两个基板(1)活动连接，所述转轴(10)一端还固定连接有第一齿轮(12)。
[0004] 4.根据权利要求3所述的一种用于硅片清洗的花篮，其特征在于：所述粗方管(3)远离第一限位孔(5)一端固定套接有第二齿轮(13)，所述第二齿轮(13)与第一齿轮(12)之间设有短轴(14)，所述转轴(10)端部与基板(1)活动连接，所述转轴(10)上固定连接有第三齿轮(15)，所述第三齿轮(15)与第一齿轮(12)以及第二齿轮(13)均啮合。
[0005] 5.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮，其特征在于：所述粗方管(3)远离第一限位孔(5)一端固定连接有细方管(16)，所述细方管(16)上开设有第二限位孔(17)。
[0006] 6.根据权利要求1所述的一种用于硅片清洗的花篮，其特征在于：两个所述基板(1)边缘均固定连接有安装板(18)，所述安装板(18)上开设有安装孔。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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CN202120046509.5U|CN214336688U|2021-01-08|2021-01-08|一种用于硅片清洗的花篮|CN202120046509.5U| CN214336688U|2021-01-08|2021-01-08|一种用于硅片清洗的花篮|