一种硅料烘干设备

专利摘要:
本实用新型提供一种硅料烘干设备，包括烘干槽、微波发生器、真空发生器和硅料固定支架，所述硅料固定支架设于所述烘干槽内部，所述烘干槽设有微波进口，所述微波发生器正对于所述微波进口连接于所述烘干槽外壁，所述烘干槽设有抽真空通道，所述真空发生器与所述抽真空通道气道连接。本实用新型在烘干槽上同时连接有微波发生器和真空发生器，微波发生器通过微波进口，给烘干槽内硅料上的残留水加热，在烘干过程中为残留水提供二次供热，加热速度快且均匀，促进硅料的烘干，真空烘干效果佳。
公开号:CN214333206U
申请号:CN202120298426.5U
申请日:2021-02-02
公开日:2021-10-01
发明作者:不公告发明人
申请人:Guangdong Gaojing Solar Energy Technology Co ltd；Guangdong Jinwan Gaojing Solar Energy Technology Co ltd；Guangdong Zhuhai Xiangzhou Gaojing Solar Energy Technology Co ltd；
IPC主号:F26B5-04

专利说明:
[n0001] 本实用新型属于硅料生产处理技术领域，尤其涉及一种硅料烘干设备。
[n0002] 在晶硅行业，硅料制造过程包括很多步骤，其最后一个步骤往往是硅料烘干，作为清洗环节的最后一道工序，硅料烘干能有效地处理掉硅料表面的脏污、杂质、氧化物、金属离子，所以硅料烘干是决定产品品质的关键步骤，可有效将硅料表面水残留烘干，有利于硅料的高纯，进而促进拉晶端拉出好的产品。
[n0003] 但是现有技术中，加热烘干一般为直接抽真空的形式，通过降低硅料所处环境的真空度，使硅料上的水分烘干，在真空度一定的情况下，硅料本身的温度和水携带的热量决定了硅料表面水分烘干的效果；如果在硅料水分较多的情况抽真空，受到硅料料块大小的限制，其本身携带的热量有限，不足以提供足够的热量使硅料上的水分完全烘干，尤其是100mm以下尺寸硅料带水较多，在抽真空时残留水散热较快，致使真空烘干效果不佳，水残留严重。
[n0004] 本实用新型的目的在于克服上述现有技术存在的不足，提供一种硅料烘干设备，解决了现有技术中硅料水分烘干效果不佳，水残留严重的问题。
[n0005] 本实用新型提供一种硅料烘干设备，包括烘干槽、微波发生器、真空发生器和硅料固定支架，所述硅料固定支架设于所述烘干槽内部，所述烘干槽设有微波进口，所述微波发生器正对于所述微波进口连接于所述烘干槽外壁，所述烘干槽设有抽真空通道，所述真空发生器与所述抽真空通道气道连接。
[n0006] 进一步地，所述微波发生器与所述微波进口外缘之间设有密封连接结构。
[n0007] 进一步地，所述微波进口设于所述烘干槽的侧壁。
[n0008] 进一步地，所述微波发生器数量为四个。
[n0009] 进一步地，硅料固定支架包括连接轴、与烘干槽长宽相适配的金属框架、多个平行设置的金属条，所述连接轴可转动地连接于所述烘干槽的左右壁，所述金属框架固定于所述连接轴，所述金属条的两端与金属框架固定连接，金属条与烘干槽的左右壁平行。
[n0010] 进一步地，所述烘干槽底部设有排污口。
[n0011] 本实用新型的有益效果：
[n0012] 本实用新型提供一种硅料烘干设备，在烘干槽上同时连接有微波发生器和真空发生器，微波发生器通过微波进口，给烘干槽内硅料上的残留水加热，在烘干过程中为残留水提供二次供热，加热速度快且均匀，促进硅料的烘干，真空烘干效果佳。
[n0013] 利用附图对本实用新型作进一步说明，但附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制，对于本领域的普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据以下附图获得其它的附图。
[n0014] 图1是本实施例1的一种硅料烘干设备的俯视半剖视图。
[n0015] 下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[n0016] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[n0017] 实施例1：
[n0018] 参照图1，实施例1提供一种硅料烘干设备，包括烘干槽1、微波发生器2、真空发生器3和硅料固定支架4，所述硅料固定支架4设于所述烘干槽1内部，所述烘干槽1设有微波进口21，所述微波发生器2正对于所述微波进口21连接于所述烘干槽1外壁，所述烘干槽1设有抽真空通道31，所述真空发生器3与所述抽真空通道31气道连接，烘干槽1的顶部设有可拆卸连接的盖板。
[n0019] 需要说明的是，真空发生器3为真空泵，通过烘干槽1上的抽真空通道31与烘干槽1内的烘干腔气道连接，直接调节烘干槽1内的真空度，在抽真空过程中，利用微波发生器2所产生的微波，微波与烘干槽1内的硅料上的残留水内部偶极分子发生高频往复运动，产生内摩擦热，使得残留水温度升高，在不需要借助其他介质的情况下，无需接触式的热传导过程，即可使残留水内外部同时加热、同时升温，加热速度快且均匀，在抽真空过程中给残留水提供二次辅热，促进残留水的蒸发，对于较小尺寸，例如100mm以下尺寸的硅料，烘干效果明显。
[n0020] 作为一种实施方式，所述微波发生器2与所述微波进口21外缘之间设有密封连接结构，保证能量传递过程不会产生泄漏，提高能量利用率。
[n0021] 作为一种实施方式，所述微波发生器2数量为四个，四个微波发生器2成一排地排列，所述微波进口21设于所述烘干槽1的侧壁11，在烘干槽1侧壁11处四个微波发生器2成一排地固定，每个微波发生器2对应地正对微波进口21连接。
[n0022] 作为一种实施方式，硅料固定支架4包括连接轴41、与烘干槽1长宽相适配的金属框架42、多个平行设置的金属条43，所述连接轴41可转动地连接于所述烘干槽1的左右壁，所述金属框架42固定于所述连接轴41，所述金属条43的两端与金属框架42固定连接，金属条43与烘干槽1的左右壁平行，此连接轴41可连接于外界的电机，电机驱动连接轴41进行转动，由于微波发生器2固定在同一侧的壁面上，连接轴41转动，进而带动固定在金属条43上的硅料同步转动，达到均匀加热的效果。
[n0023] 作为一种实施方式，所述烘干槽1底部设有排污口，以便排污。
[n0024] 相对于现有技术，本实用新型提供一种硅料烘干设备，在烘干槽1上同时连接有微波发生器2和真空发生器3，微波发生器2通过微波进口21，给烘干槽1内硅料上的残留水加热，在烘干过程中为残留水提供二次供热，加热速度快且均匀，促进硅料的烘干，真空烘干效果佳。
[n0025] 最后需要强调的是，本实用新型不限于上述实施方式，以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

权利要求:
Claims (6)
[0001] 1.一种硅料烘干设备，其特征在于，包括烘干槽、微波发生器、真空发生器和硅料固定支架，所述硅料固定支架设于所述烘干槽内部，所述烘干槽设有微波进口，所述微波发生器正对于所述微波进口连接于所述烘干槽外壁，所述烘干槽设有抽真空通道，所述真空发生器与所述抽真空通道气道连接。
[0002] 2.如权利要求1所述的一种硅料烘干设备，其特征在于，所述微波发生器与所述微波进口外缘之间设有密封连接结构。
[0003] 3.如权利要求2所述的一种硅料烘干设备，其特征在于，所述微波进口设于所述烘干槽的侧壁。
[0004] 4.如权利要求3所述的一种硅料烘干设备，其特征在于，所述微波发生器数量为四个。
[0005] 5.如权利要求4所述的一种硅料烘干设备，其特征在于，硅料固定支架包括连接轴、与烘干槽长宽相适配的金属框架、多个平行设置的金属条，所述连接轴可转动地连接于所述烘干槽的左右壁，所述金属框架固定于所述连接轴，所述金属条的两端与金属框架固定连接，金属条与烘干槽的左右壁平行。
[0006] 6.如权利要求1至5任一项所述的一种硅料烘干设备，其特征在于，所述烘干槽底部设有排污口。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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CN202120298426.5U|CN214333206U|2021-02-02|2021-02-02|一种硅料烘干设备|CN202120298426.5U| CN214333206U|2021-02-02|2021-02-02|一种硅料烘干设备|